結(jié)終端擴(kuò)展技術(shù)
2012年02月03日 17:23 中電網(wǎng) 作者：辰光 用戶評(píng)論（0）
關(guān)鍵字：高壓器件(5439)JTE(6254)
結(jié)終端擴(kuò)展(JTE)技術(shù)最早由A.K.Temple等人提出，其作用是控制高壓器件的表面電場(chǎng)。最早的JTE為橫向變摻雜技術(shù)將終端區(qū)分為多區(qū)，靠近主結(jié)的JTE區(qū)保持較高的濃度，以減弱主結(jié)電場(chǎng)，最外區(qū)保持較低的濃度，從而降低自身的電場(chǎng)強(qiáng)度，這種工藝難度大而且復(fù)雜，不適用于批量生產(chǎn)。
可采用多區(qū)變化終端窗口設(shè)計(jì)，即越靠近主結(jié)的區(qū)域，環(huán)設(shè)計(jì)較寬;離主結(jié)越遠(yuǎn)，終端環(huán)設(shè)計(jì)越窄。通過(guò)多種實(shí)驗(yàn)優(yōu)化，如800V器件的JTE窗口設(shè)計(jì)分別為4.5μm、4μm、3.5μm、3μm、2.5μm、2μm、1μm。實(shí)踐證明，該結(jié)構(gòu)可以起到分開(kāi)優(yōu)化表面電場(chǎng)和體內(nèi)電場(chǎng)的作用，從而提高擊穿電壓。利用結(jié)終端擴(kuò)展技術(shù)，可以相對(duì)于場(chǎng)限環(huán)減小終端面積，從而降低成本。
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