訂購EUV光刻機受阻？ 中芯國際和ASML回應了

針對近幾日多家媒體報道的有關ASML公司對中芯國際訂購的EUV光刻機設備有意延遲的推測。二家公司今日均發(fā)表內(nèi)容回應。

ASML回應如下：

關于日經(jīng)新聞（NIKKEI）昨日報導，其標題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導，本公司在此提出澄清。

我司不對任何客戶做comment。對于日經(jīng)新聞報道的關于交貨時程僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，因此，“延遲出貨”僅為媒體推測。對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述，表示抗議。

ASML一向在遵守相關國際法規(guī)的前提下一視同仁地服務全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。因此，關于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的，ASML系遵循法規(guī)行事。

中芯國際也表示：

EUV還在紙面工作階段，未進行相關活動。公司先進工藝研發(fā)進展順利。目前，研發(fā)與生產(chǎn)的連結一切正常?？蛻襞c設備導入正常運作。