我國(guó)光刻機(jī)技術(shù)處于落后地位，22nm與ASML的7nm有何區(qū)別

（文章來源：百家號(hào)）

芯片制造已經(jīng)被多國(guó)列為核心機(jī)密技術(shù)，華為麒麟芯片7nm技術(shù)的突破，為華為手機(jī)的創(chuàng)新扳回一城，尤其是雙11手機(jī)銷售，可以與蘋果叫板的只有華為了，畢竟華為大部分手機(jī)都是使用自己的芯片，而國(guó)產(chǎn)其它的手機(jī)，比如小米、ov使用的芯片都屬于高通系產(chǎn)品，在美國(guó)貿(mào)易戰(zhàn)之下，華為為國(guó)產(chǎn)芯注入了活力，支持度也是相當(dāng)高的，所以華為手機(jī)目前成了果產(chǎn)當(dāng)之無愧的老大哥了。

由此可見，在芯片的研發(fā)上，誰能先人一步，就會(huì)在手機(jī)市場(chǎng)上叱咤風(fēng)云，正是由于華為的芯片技術(shù)，在手機(jī)上成本上才大為縮減，從而才能讓利于老百姓。使用高通芯片的手機(jī)廠商都在為高通打工，老百姓買手機(jī)的成本也是大為增加。但芯片的制造要依賴于光刻機(jī)，目前我國(guó)光刻機(jī)的技術(shù)研發(fā)還屬于一個(gè)短板。

近期ASML推遲交付給我國(guó)中芯科技7nm的EUV極外紫光光刻機(jī)引來大家的熱議，阿斯麥屬于目前世界頂級(jí)的光刻機(jī)研發(fā)制造廠商，目前的成熟技術(shù)是7nm光刻機(jī)，而且已經(jīng)投入使用，比如三星、臺(tái)積電都在用這款光刻機(jī)生產(chǎn)7nm芯片，而我國(guó)的中芯國(guó)際在去年給阿斯麥公司付款1億多美元購(gòu)買的光刻機(jī)卻遲遲不給供貨，這讓大家的目光再一次聚焦到光刻機(jī)技術(shù)的研發(fā)上了。

要知道阿斯麥光刻機(jī)屬于定點(diǎn)供貨產(chǎn)品，只有加入該研發(fā)聯(lián)盟的股份，才有資格提前享受最先進(jìn)的光刻機(jī)，因?yàn)榘⑺果湹难邪l(fā)上得益于很多芯片巨頭的資金投入，研發(fā)經(jīng)費(fèi)海量，可以廣泛搜羅全球頂級(jí)研發(fā)人員為之服務(wù)，這也是其技術(shù)一路領(lǐng)先別的廠商的原因，甚至很多以前做光刻機(jī)的公司，覺得投入與產(chǎn)出不匹配，都紛紛放棄轉(zhuǎn)而成為阿斯麥的光刻機(jī)投資同盟。

我國(guó)對(duì)于光刻機(jī)的研發(fā)也是出于初級(jí)階段，有上海微電子目前的90nm技術(shù)的光刻機(jī)，還有中芯國(guó)際的光刻機(jī)產(chǎn)品，由于我國(guó)是芯片消耗大國(guó)，但卻不是生產(chǎn)大國(guó)，核心技術(shù)都被國(guó)外公司牢牢把控，導(dǎo)致每年花在芯片上的資金一直居高不下。

去年中科院通過驗(yàn)收的22nm光刻機(jī)是其7年技術(shù)攻關(guān)的結(jié)果，這也是國(guó)產(chǎn)一代機(jī)器，22nm工藝指的是一次曝光成型的，理論上可以通過這個(gè)光刻機(jī)多次曝光生產(chǎn)10nm的芯片，但要趕上荷蘭的7nm還是有非常大的技術(shù)困難。至少還需要4代約20年才能跟上ASML的技術(shù)水平。

荷蘭的光刻技術(shù)采用的是通過縮小光的波長(zhǎng)來減少衍射效應(yīng)帶來的精度損失，隨著精度不斷地提高，工藝難度機(jī)器成本也越來越大，這個(gè)衍射效應(yīng)的存在，導(dǎo)致其精度也存在著上限。我國(guó)研發(fā)光刻機(jī)其實(shí)并沒有走ASML的老路，畢竟中間會(huì)存在技術(shù)壁壘和專利糾紛，我們則是同時(shí)投資不同的技術(shù)，22nm技術(shù)使用的是表面等離子體光刻。

我國(guó)的22nm技術(shù)沒有使用荷蘭的原有技術(shù)，在研發(fā)上也不會(huì)存在衍射效應(yīng)，屬于獨(dú)辟蹊徑，天花板更高，但由于這臺(tái)光刻機(jī)無法做到超高精度對(duì)準(zhǔn)，雖然可以使用光柵、晶體陣列來進(jìn)行制造，但無法用復(fù)雜IC圖案制造，與ASML還有很大的距離。目前這款光刻機(jī)還很粗糙，無法投入商用，但它的原理和上限要高于ASML的光刻機(jī)，只要進(jìn)行不懈的努力，超越國(guó)外的光刻機(jī)也不是難事。
（責(zé)任編輯：fqj）