據(jù)合肥高新集團報道,合肥微納傳感技術有限公司通過科研攻關,自主研發(fā)MEMS紅外溫度傳感器芯片。該芯片可以完成進口替代,是疫情防控利器額溫槍的核心部件。
基于多年傳感器芯片的研究基礎,微納傳感研發(fā)的MEMS紅外溫度傳感器芯片性能指標精度達到0.1℃,抗干擾能力優(yōu)于目前市場主流產(chǎn)品,可以完成進口替代。芯片采用CMOS(互補金屬氧化物半導體)工藝制作,具有高探測率、高穩(wěn)定性、極小溫漂系數(shù),可廣泛應用于耳溫、額溫、安防、微波爐等非接觸測溫場合。
目前,經(jīng)產(chǎn)能擴大,微納傳感的相關傳感器芯片制造、組封裝日產(chǎn)量從1萬顆將提升到日產(chǎn)10萬顆以上,芯片將直接供應至防疫醫(yī)療產(chǎn)品生產(chǎn)單位,能夠有效緩解市場緊張,助力疫情防控工作。
微納傳感自2015年創(chuàng)辦以來一直致力于MEMS氣體、空氣流量、溫度等傳感器芯片的研發(fā)與生產(chǎn),擁有多項涉及MEMS關鍵技術的研究成果和發(fā)明專利。公司建有1000㎡凈化實驗室、200㎡表征實驗室,百級潔凈間(ISO Class 5)500㎡,引進國內外先進加工、制造、表征裝備,建成完備工藝生產(chǎn)線。2019年獲評工信部工業(yè)強基工程傳感器“一條龍”示范企業(yè)。
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