據(jù)中國臺灣經(jīng)濟日報報道,三星(Samsung)明年可能導入極紫外光(EUV)技術(shù)生產(chǎn)內(nèi)存,美光(Micron)企業(yè)副總裁、中國臺灣美光董事長徐國晉表示,美光不打算跟進,目前并無采用 EUV 計劃。
市調(diào)機構(gòu)集邦科技預計,明年動態(tài)隨機存取存儲器(DRAM)可能跨入 EUV 世代,將由三星搶先導入 EUV 技術(shù),以提升成本結(jié)構(gòu)與生產(chǎn)效率。
據(jù)臺媒指出,徐國晉 7 日接受采訪時表示,美光目前采用浸潤式設備,配合其他制程可以達到一樣的效果,并無采用 EUV 計劃。
原文標題:三星擬采用 EUV 技術(shù)生產(chǎn)內(nèi)存,美光:不打算跟進
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