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鑫晶半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)

中國(guó)半導(dǎo)體論壇 ? 來源:中國(guó)半導(dǎo)體論壇 ? 作者:中國(guó)半導(dǎo)體論壇 ? 2020-10-30 14:03 ? 次閱讀

10月20日,徐州日?qǐng)?bào)報(bào)道,10月16日,省重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目——“徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目”一期工程,經(jīng)過26個(gè)月的緊張施工建設(shè),實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)。

徐州鑫晶半導(dǎo)體科技有限公司董事長(zhǎng)鄭加鎮(zhèn)博士在接受徐報(bào)融媒記者獨(dú)家采訪時(shí)說,鑫晶半導(dǎo)體公司克服了多重艱難險(xiǎn)阻,才實(shí)現(xiàn)了投產(chǎn),成果來之不易,主要得益于四個(gè)方面因素:一是國(guó)際化團(tuán)隊(duì)的組建,目前鑫晶半導(dǎo)體公司建立了涵蓋技術(shù)、運(yùn)營(yíng)、管理和銷售,業(yè)內(nèi)最有經(jīng)驗(yàn)的國(guó)際化團(tuán)隊(duì);二是資金投入有保證,半導(dǎo)體硅片技術(shù)壁壘高、項(xiàng)目資金投入大、回報(bào)期較長(zhǎng),項(xiàng)目建設(shè)以來,需要不斷依靠股東的投入以及金融機(jī)構(gòu)的支持,2018年12月鑫晶半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目獲江蘇省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)專項(xiàng)資金支持,被列為徐州老工業(yè)基地轉(zhuǎn)型升級(jí)的標(biāo)桿項(xiàng)目;三是核心設(shè)備獲得國(guó)際授權(quán),自主設(shè)備研發(fā)布局整個(gè)工藝流程,避免被人“卡脖子”;四是政府部門大力支持,6月29日,14位來自韓國(guó)、日本和德國(guó)專業(yè)進(jìn)行設(shè)備調(diào)試的外籍技術(shù)人員乘坐包機(jī)抵達(dá)徐州,為徐州鑫晶半導(dǎo)體公司引進(jìn)的設(shè)備進(jìn)行安裝調(diào)試。

鑫晶半導(dǎo)體聚焦在28nm、14nm以及更先進(jìn)的10nm芯片制造所需的硅片工藝研發(fā)和制造,目前試生產(chǎn)12英寸硅棒完美晶體良率已經(jīng)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。目前鑫晶半導(dǎo)體一階段10萬片/月的產(chǎn)能全線貫通,徐州基地已經(jīng)建成廠房能夠容納60萬片/月的產(chǎn)能,按照公司規(guī)劃,一階段產(chǎn)品驗(yàn)證全部通過后,2021年上半年開始繼續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)能,預(yù)計(jì)在2023年徐州基地60萬片/月產(chǎn)能可全部投產(chǎn)。公司長(zhǎng)期規(guī)劃是在2025年前后通過自建或者收購等方式達(dá)到150萬片/月產(chǎn)能,發(fā)展目標(biāo)是成為全球前三的半導(dǎo)體硅片企業(yè)。

而就在10月16日同一天,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司舉行“集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目”量產(chǎn)通線儀式。

山東有研半導(dǎo)體材料有限公司是位于北京的有研科技集團(tuán)有限公司的下屬子公司,是有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項(xiàng)目的建設(shè)者。項(xiàng)目總占地面積650畝,總投資80億元,是迄今為止德州投資額最大的集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。目前已入選山東省新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換重大項(xiàng)目庫,并列入2019年度重點(diǎn)項(xiàng)目。項(xiàng)目包括兩個(gè)部分,分別為年產(chǎn)276萬片8英寸集成電路用硅片和年產(chǎn)360萬片12英寸集成電路用大硅片。

項(xiàng)目的落成和通線投產(chǎn)標(biāo)志著有研半導(dǎo)體新的起航,不僅解決了公司多年來產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間受限和水電要素成本偏高的問題,實(shí)現(xiàn)了年產(chǎn)6英寸、8英寸硅片456萬片和12-18英寸硅單晶300噸能力,為后續(xù)12英寸硅片的實(shí)施奠定了良好基礎(chǔ),同時(shí)對(duì)于推動(dòng)德州市高質(zhì)量發(fā)展具有重大的現(xiàn)實(shí)意義和深遠(yuǎn)的歷史意義。

據(jù)悉,二期年產(chǎn)360萬片12英寸硅片項(xiàng)目計(jì)劃明年開工建設(shè),建成投產(chǎn)后,將成為我國(guó)北方最大的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)基地,可有效輻射北京、天津、無錫、石家莊等我國(guó)重要電子信息產(chǎn)業(yè)基地。

半導(dǎo)體硅片是芯片制造的最關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,長(zhǎng)期以來我國(guó)的12英寸大硅片基本依賴進(jìn)口,而以美歐為主的國(guó)家在2019年12月對(duì)《瓦森納協(xié)議》進(jìn)行了新一輪的修訂,部分修訂內(nèi)容針對(duì)用于先進(jìn)制程(如14nm及以下的制程節(jié)點(diǎn))所用的半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)技術(shù)進(jìn)行出口管轄,實(shí)際上就是制約中國(guó)的先進(jìn)芯片制造。

目前,上海新昇、宜興中環(huán)、杭州中欣晶圓、西安奕斯偉、徐州鑫晶、山東有研項(xiàng)目已經(jīng)相繼投產(chǎn),打破了以往12英寸半導(dǎo)體硅片被國(guó)外廠商所壟斷的僵局。雖然目前產(chǎn)品可能仍與信越、SUMCO等廠商存在某些層面上的差距,但隨著國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)化的重視程度提升以及國(guó)內(nèi)芯片制造廠如中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、粵芯等產(chǎn)能的不斷提高,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體大硅片將迎來春天!

原文標(biāo)題:山東有研、徐州鑫晶項(xiàng)目相繼投產(chǎn),國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體大硅片將實(shí)現(xiàn)自主

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