晶瑞股份發(fā)布公告:經(jīng)多方協(xié)商、積極運作,該公司順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機一臺。
該光刻機于 2021 年 1 月 19 日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室,即將組織調(diào)試。此外,這款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻機可用于研發(fā)最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。
IT之家了解到,晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚發(fā)布公告稱,將開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目,擬通過 Singtest Technology PTE. LTD. 進口韓國 SK Hynix 的 ASML 光刻機設備,總價款為 1102.5 萬美元(折合 7508 萬人民幣)。
ASML XT 1900 Gi 型光刻機并非先進工藝光刻機,但也實屬不易,在這關鍵時刻也算意義重大。
以下為官方原文:
責任編輯:PSY
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