三星一方面在積極向唯一的EUV光刻機(jī)廠商ASML爭(zhēng)取訂單,另外一方面也在增資為EUV產(chǎn)業(yè)鏈輸血。
據(jù)報(bào)道,三星電子周二斥資430億韓元(約合2.5億)買(mǎi)入152萬(wàn)股韓國(guó)FST公司的股票,成為其第三大股東,持股占比6.9%。
FST是一家生產(chǎn)掩模/光罩保護(hù)膜和冷卻器的廠商,保護(hù)膜簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是保障光罩不受灰塵影響,冷卻器則是控制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的溫度。
FST正在研制EUV光罩保護(hù)膜,設(shè)計(jì)目標(biāo)是全尺寸,碳化硅基質(zhì),30nm尺度,透光率90%。
目前,尚未有一家公司大規(guī)模量產(chǎn)EUV光罩保護(hù)膜FST成功后,將對(duì)產(chǎn)業(yè)以及自身收入有著積極影響。
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