大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)逐步成熟，第三代半導(dǎo)體成亮點(diǎn)

集微網(wǎng)消息，廣東是電子信息產(chǎn)業(yè)大省，粵港澳大灣區(qū)是中國消費(fèi)類電子產(chǎn)品和通信類產(chǎn)品最大的生產(chǎn)基地。

戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)作為制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要載體、抓手和手段，是粵港澳大灣區(qū)建設(shè)中的重點(diǎn)任務(wù)之一。

伴隨粵芯12英寸晶圓項(xiàng)目落地投產(chǎn)，大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游得以串聯(lián)，“大灣區(qū)一日半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)圈”雛形已現(xiàn)，成為廣州發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵著力點(diǎn)。

大灣區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)逐步成熟，第三代半導(dǎo)體成亮點(diǎn)

作為電子信息大省，廣東發(fā)動(dòng)發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)有其先天優(yōu)勢。

據(jù)此前官方數(shù)據(jù)，廣東半導(dǎo)體與集成電路、高端裝備制造、智能機(jī)器人、區(qū)塊鏈與量子信息、前沿新材料、新能源、激光與增材制造、數(shù)字創(chuàng)意、安全應(yīng)急與環(huán)保、精密儀器設(shè)備等十大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群2019年?duì)I業(yè)收入合計(jì)達(dá)1.5萬億元，集聚效應(yīng)初步顯現(xiàn)。

廣東發(fā)展集成電路，聚焦哪些細(xì)分領(lǐng)域？在《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》中，對(duì)于廣東發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)集群有更深一步的闡釋。

“積極發(fā)展第三代半導(dǎo)體芯片，加快推進(jìn)EDA軟件國產(chǎn)化，布局建設(shè)較大規(guī)模特色工藝制程生產(chǎn)線和先進(jìn)工藝制程生產(chǎn)線，積極發(fā)展先進(jìn)封裝測試。以廣州、深圳、珠海等為核心形成兩千億級(jí)芯片設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)集群，做強(qiáng)廣州、深圳特色工藝制造，加快深圳、珠海、東莞等第三代半導(dǎo)體發(fā)展。建成具有國際影響力的半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)?！?/p>

廣州、深圳、珠海以及東莞，正是大灣區(qū)內(nèi)幾座重點(diǎn)城市。

粵港澳大灣區(qū)由香港、澳門兩個(gè)特別行政區(qū)和廣東省廣州、深圳、珠海、佛山、惠州、東莞、中山、江門、肇慶九個(gè)珠三角城市組成，總面積5.6萬平方公里?；浉郯拇鬄硡^(qū)建設(shè)是中國政府實(shí)施的重大區(qū)域發(fā)展戰(zhàn)略。

“十四五”藍(lán)圖上，粵港澳大灣區(qū)未來5年將與北京、上海一道，形成三個(gè)國際科技創(chuàng)新中心，從南到北串成一線，成為輻射帶動(dòng)全國科技發(fā)展和自立自強(qiáng)的骨干支撐。

此前《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》中也指明了未來廣東新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展思路——緊緊抓住建設(shè)粵港澳大灣區(qū)和支持深圳建設(shè)中國特色社會(huì)主義先行示范區(qū)重大機(jī)遇，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)由集聚發(fā)展向集群發(fā)展全面提升。

而在2020年2月發(fā)布的《廣東省加快半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干意見》中也指出，要抓住建設(shè)粵港澳大灣區(qū)國際科技創(chuàng)新中心的有利機(jī)遇，積極發(fā)展一批半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)重大項(xiàng)目。

廣東的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，也早有提及。

《廣東省加快半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的若干意見》中提出，廣東將大力發(fā)展第三代半導(dǎo)體芯片，前瞻布局毫米波芯片、太赫茲芯片等。在材料及關(guān)鍵電子元器件方面，將大力發(fā)展氮化鎵、碳化硅、氧化鋅等第三代半導(dǎo)體材料。

2020年9月，廣東省政府發(fā)布了20個(gè)戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)集群的行動(dòng)計(jì)劃，廣東將設(shè)置首期規(guī)模達(dá)到200億元的半導(dǎo)體及集成電路產(chǎn)業(yè)的投資基金，每年并投入不低于10億元，支持半導(dǎo)體與集成電路領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新，就基于氮化鎵等前沿新材料的第三代半導(dǎo)體和先進(jìn)封裝技術(shù)等方向開展關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，在未來五年打造灣區(qū)芯片半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。

從產(chǎn)業(yè)鏈角度來看，大灣區(qū)高度集中了華為、中興、OPPO、vivo、比亞迪、南車、大疆等一批在全球有重要影響力的終端廠商，為東莞的第三代半導(dǎo)體發(fā)展提供了豐富的下游應(yīng)用場景。

大灣區(qū)如何聚焦第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)？被官方政策重點(diǎn)提及的“深圳、珠海、東莞”三地，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)又如何謀篇布局？

深圳：坪山區(qū)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)

深圳是國內(nèi)第三代半導(dǎo)體發(fā)展排頭兵之一。2019年深圳印發(fā)的《進(jìn)一步推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃（2019－2023年）》中，就重點(diǎn)提及了第三代半導(dǎo)體。該政策中表明，要進(jìn)行第三代半導(dǎo)體培育工程，加快培育第三代半導(dǎo)體。

為了加快第三代半導(dǎo)體發(fā)展步伐，深圳市已相繼成第三代半導(dǎo)體器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、深圳第三代半導(dǎo)體研究院、清華大學(xué)（深圳）研究院第三代半導(dǎo)體材料與器件研發(fā)中心。

深圳第三代半導(dǎo)體研究院于2018年3月底成立，并于當(dāng)年10月正式落戶深圳龍華區(qū)，是深圳市的十大基礎(chǔ)研究機(jī)構(gòu)之一，深圳市政府計(jì)劃五年內(nèi)投入30億以上的資金支持。

南方科技大學(xué)在建校初期2011年左右就開始進(jìn)行第三代半導(dǎo)體研究，在深圳市的統(tǒng)一規(guī)劃部署下，建立了“第三代半導(dǎo)體重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室”，也成立了廣東省GaN器件工程技術(shù)中心，并有總面積1200平米的專用實(shí)驗(yàn)超凈間，以及皮米尺度上的基礎(chǔ)和應(yīng)用研究中心，可用以支持第三代半導(dǎo)體器件的先導(dǎo)研發(fā)。此外，南科大開創(chuàng)的《第三代半導(dǎo)體材料與器件》等相關(guān)課程，面向本科生與研究生開課。

2020年1月，廣東省第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心在深圳龍華區(qū)簽約揭牌。廣東省第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心是以深圳第三代半導(dǎo)體研究院為依托，經(jīng)廣東省科學(xué)技術(shù)廳批復(fù)成立的省級(jí)技術(shù)創(chuàng)新中心。

從地理區(qū)位來看，坪山區(qū)為深圳第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的優(yōu)先發(fā)展區(qū)域。深圳市已經(jīng)在坪山設(shè)立第三代半導(dǎo)體(集成電路)未來產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，集聚區(qū)由位于坪山高新區(qū)西部的核心區(qū)和東北部的拓展區(qū)組成，總規(guī)劃用地面積5.09平方公里?，F(xiàn)已集聚中芯國際、基本半導(dǎo)體等多家集成電路和第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域的核心企業(yè)。

在2018年，坪山專項(xiàng)發(fā)布了《坪山區(qū)關(guān)于促進(jìn)集成電路第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施》，從資金支持、信貸融資、用地保障、用房支持、落戶獎(jiǎng)勵(lì)等多維度給予企業(yè)扶持。

2020年6月，深圳坪山半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目開工。該項(xiàng)目計(jì)劃實(shí)施“工改工”提容，將園區(qū)的企業(yè)集聚在第三代半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)鏈上。

2021年1月18日，“青銅劍第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地”奠基儀式在深圳坪山舉行，青銅劍第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地是深圳市2020年重大項(xiàng)目，占地8073.79平方米，總建筑面積近5萬平方米，預(yù)計(jì)2022年底完工。青銅劍科技控股的基本半導(dǎo)體也是國內(nèi)第三代半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，專業(yè)從事碳化硅功率器件的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。

東莞：首抓知識(shí)產(chǎn)權(quán)，松山湖第三代半導(dǎo)體積累深厚

被稱為“世界工廠”的東莞，是大灣區(qū)重要節(jié)點(diǎn)。

2015年東莞成立第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)專利聯(lián)盟，并且推出“第三代半導(dǎo)體專利導(dǎo)航與創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái) ”，這是國內(nèi)首個(gè)專門針對(duì)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而設(shè)立的專利服務(wù)平臺(tái)。

在科研力量上，東莞則擁有北京大學(xué)東莞光電研究院。

2012年，北京大學(xué)與東莞市政府共同組建北京大學(xué)東莞光電研究院。2013年，北京大學(xué)東莞光電研究院在松山湖正式奠基。

按照規(guī)劃，北大東莞光電研究院主要以第三代半導(dǎo)體材料與器件技術(shù)的研發(fā)為核心，建設(shè)科技創(chuàng)新、科技成果轉(zhuǎn)化、高科技產(chǎn)業(yè)孵化和人才培養(yǎng)等4大基地和半導(dǎo)體照明技術(shù)、激光器與顯示技術(shù)、電力電子功率器件技術(shù)、太陽能光伏技術(shù)、光電精密儀器設(shè)備和公共檢測服務(wù)6大研發(fā)平臺(tái)。

中鎵半導(dǎo)體、中圖半導(dǎo)體皆是光電研究院孵化的企業(yè)。2019年，中鎵、中圖與北京大學(xué)團(tuán)隊(duì)共同完成的“氮化物半導(dǎo)體大失配異質(zhì)外延技術(shù)”榮獲國家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

中鎵半導(dǎo)體官網(wǎng)介紹，公司已建成國內(nèi)首家專業(yè)的氮化鎵（GaN）襯底材料生產(chǎn)線，制備出厚度達(dá)1100微米的自支撐GaN襯底，并能夠穩(wěn)定生產(chǎn)。

中圖半導(dǎo)體是一家面向藍(lán)寶石上氮化鎵（GaN on Sapphire）半導(dǎo)體技術(shù)的專業(yè)襯底材料供應(yīng)商。起目前主要產(chǎn)品包括2至6英寸圖形化藍(lán)寶石襯底（PSS）、圖形化復(fù)合材料襯底（MMS），主要應(yīng)用于照明、顯示、背光源、Mini/Micro LED、深紫外LED等領(lǐng)域。今年3月，中圖科創(chuàng)板IPO獲受理，募資10億元投建Mini/Micro LED襯底等項(xiàng)目。

作為東莞集成電路產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，松山湖在第三代半導(dǎo)體的布局遠(yuǎn)不止于光電研究院。

早在2016年9月，中國第三代半導(dǎo)體南方基地在東莞松山湖啟動(dòng)，這是國家繼北京順義基地之后在全國設(shè)立的第二個(gè)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)基地。

產(chǎn)業(yè)園以廣東東莞松山湖作為第三代半導(dǎo)體聯(lián)合技術(shù)核心區(qū)，整合周邊地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展空間，圍繞光電產(chǎn)業(yè)、電力電子應(yīng)用產(chǎn)業(yè)、微波射頻應(yīng)用產(chǎn)業(yè)、激光產(chǎn)業(yè)等四大產(chǎn)業(yè)，以消費(fèi)類電子、節(jié)能照明、移動(dòng)通信、電動(dòng)汽車、智能電網(wǎng)、軌道交通、智能制造和新能源等應(yīng)用行業(yè)為主要發(fā)展產(chǎn)業(yè)方向。

2017年12月，松山湖材料實(shí)驗(yàn)室啟動(dòng)建設(shè)，2019年第三代半導(dǎo)體材料與器件團(tuán)隊(duì)進(jìn)駐松山湖材料實(shí)驗(yàn)室。該團(tuán)隊(duì)以研發(fā)具有優(yōu)異殺菌效果的高功率AlGaN基深紫外UVC-LED為目標(biāo)，涵蓋了上游材料外延與發(fā)光區(qū)量子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)/制備、中游芯片設(shè)計(jì)/制備、下游器件模組封裝等全產(chǎn)業(yè)鏈范圍，建立了一條具有小規(guī)模產(chǎn)業(yè)化能力的中試生產(chǎn)線。

為實(shí)現(xiàn)從產(chǎn)品到商品的轉(zhuǎn)型，第三代半導(dǎo)體材料與器件團(tuán)隊(duì)和實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合成立 “中紫半導(dǎo)體科技（東莞）有限公司”。

2018年6月，廣東省首個(gè)第三代半導(dǎo)體制造業(yè)創(chuàng)新中心“寬禁帶半導(dǎo)體材料、功率器件及應(yīng)用技術(shù)創(chuàng)新中心”在松山湖成立。該創(chuàng)新中心由廣東省科技廳、東莞市政府支持及引導(dǎo)，易事特、中鎵半導(dǎo)體、天域半導(dǎo)體、松山湖控股集團(tuán)、廣東風(fēng)華高科股份有限公司多家行業(yè)內(nèi)知名企業(yè)共同出資發(fā)起設(shè)立。

2019年11月，廣東省第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心東莞基地在松山湖揭牌。

珠海：中國首條8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線

中國工程院院士、浙江大學(xué)微納電子學(xué)院院長吳漢明曾表示，珠海有相當(dāng)好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、土壤肥沃，在產(chǎn)業(yè)鏈里應(yīng)聚焦智能制造和芯片設(shè)計(jì)領(lǐng)域，在大灣區(qū)打造繼長三角和京津冀之后的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的第三個(gè)極點(diǎn)。

珠海第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，聚焦于英諾賽科8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線。

英諾賽科（珠海）科技有限公司是2015年12月由美國英諾賽科集團(tuán)與珠海市高新創(chuàng)投等共同發(fā)起成立的半導(dǎo)體企業(yè)，一期項(xiàng)目坐落于珠海市高新區(qū)，共投資10.9億元。英諾賽科采用IDM模式，集研發(fā)、設(shè)計(jì)、外延生長、芯片制造、測試與失效分析為一體，成功打造硅基氮化鎵全產(chǎn)業(yè)鏈平臺(tái)。

2017年11月9日，英諾賽科自主研發(fā)的中國首條8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線在珠海正式通線投產(chǎn)。目前產(chǎn)線運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定，產(chǎn)品持續(xù)出貨中。

英諾賽科“InnoGaN”氮化鎵功率器件產(chǎn)品出貨已達(dá)數(shù)百萬顆。而低壓氮化鎵產(chǎn)品已取代美國EPC 公司產(chǎn)品，成為中國領(lǐng)先的激光雷達(dá)企業(yè)禾賽科技的供應(yīng)商。

2021年1月21日在珠海舉行的簽約儀式上，英諾賽科科技有限公司和ASML公司達(dá)成批量購買高產(chǎn)能i-line和KrF光刻機(jī)的協(xié)議，用于制造先進(jìn)的硅基氮化鎵功率器件。

英諾賽科將在今年第二季度搬入首批光刻機(jī)，這是第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域首次量產(chǎn)應(yīng)用先進(jìn)的ASML TWINSCAN(雙工件臺(tái))光刻技術(shù)。

2020年《珠海市大力支持集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的意見》中也提出，支持8英寸硅基氮化鎵外延與芯片大規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)線增資擴(kuò)產(chǎn)，迅速形成規(guī)模生產(chǎn)能力，打破阻礙珠海集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。

廣州：南沙第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈

除深圳、東莞、珠海以外，廣州第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也是大灣區(qū)上重要一環(huán)，其中，廣州南沙已形成第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。

南沙已形成千億級(jí)汽車產(chǎn)業(yè)、裝備制造產(chǎn)業(yè)、船舶及海洋工程裝備產(chǎn)業(yè)等戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)集群為支柱的現(xiàn)代工業(yè)體系，并在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域形成了多項(xiàng)關(guān)聯(lián)產(chǎn)業(yè)布局。

早在2018年，南沙汽車產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值規(guī)模已突破千億元大關(guān)。廣汽豐田新能源整車項(xiàng)目、恒大新能源汽車產(chǎn)業(yè)園、廣汽蔚來 “三輛整車”將為南沙奠定數(shù)千億規(guī)模的整車制造基礎(chǔ)。核心零部件領(lǐng)域，南沙已引進(jìn)日本電裝、日本卡耐電池、英國Protean電機(jī)、德國Hofer動(dòng)力等一系列關(guān)鍵零部件項(xiàng)目落戶。

在產(chǎn)業(yè)加持下，南沙發(fā)展第三代半導(dǎo)體思路也尤為明確：重點(diǎn)瞄向新能源汽車、充電樁、光伏逆變、軌道交通、能源互聯(lián)網(wǎng)、消費(fèi)電子等方向，全鏈條布局第三代半導(dǎo)體，同時(shí)深化主機(jī)廠商合作，以汽車半導(dǎo)體為切入點(diǎn)帶動(dòng)第三代半導(dǎo)體發(fā)展和應(yīng)用。

2018年9月，廣東芯聚能半導(dǎo)體有限公司簽訂投資協(xié)議落戶廣州南沙，2019年9月，在廣州南沙舉行奠基活動(dòng)。項(xiàng)目總投資達(dá)25億元，第一階段將建設(shè)用于新能源汽車的IGBT和SiC功率器件與模塊生產(chǎn)基地，第二階段將面向新能源汽車和自動(dòng)駕駛的汽車功率模塊、半導(dǎo)體器件和系統(tǒng)產(chǎn)品。

2020年7月8日，南砂晶圓碳化硅單晶材料與晶片生產(chǎn)項(xiàng)目在廣州南沙區(qū)動(dòng)工。該項(xiàng)目總投資9億元，將開展碳化硅單晶材料研發(fā)、中試等工作，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)各類襯底片和外延片共20萬片。

2020年11月，廣州市南沙區(qū)第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心正式揭牌成立。廣東芯聚能半導(dǎo)體有限公司、廣東晶科電子股份有限公司、廣州南砂晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司、恒大新能源汽車（廣東）有限公司、山東大學(xué)新一代半導(dǎo)體材料研究院、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟代表6家首批發(fā)起單位共同簽約。

2020年12月，《廣州南沙新區(qū)（自貿(mào)片區(qū)）促進(jìn)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持辦法》發(fā)布，提出扶持第三代半導(dǎo)體、集成電路等領(lǐng)域。

目前南沙已形成以晶科、愛思威為代表，以聯(lián)晶智能、芯聚能為龍頭的從晶圓生產(chǎn)到芯片設(shè)計(jì)、封裝及應(yīng)用的第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈，正在積極促進(jìn)第三代半導(dǎo)體與新能源汽車產(chǎn)業(yè)的融合創(chuàng)新。

近年來，南沙持續(xù)加強(qiáng)對(duì)第三代半導(dǎo)體的政策支持，出臺(tái)《廣州市南沙區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持辦法》，優(yōu)先支持面向新能源汽車核心部件和人工智能的先進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展，力爭將南沙打造成國內(nèi)重要的第三代半導(dǎo)體應(yīng)用創(chuàng)新示范區(qū)和產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

南沙正完善《南沙第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》，未來，南沙還將構(gòu)建“以新能源汽車應(yīng)用為牽引，半導(dǎo)體照明為龍頭，電力電子為主導(dǎo)”的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展高地。

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