TE為半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用提供定制傳感器解決方案

在政策、物聯(lián)網(wǎng)及人工智能技術(shù)的推動(dòng)下，半導(dǎo)體設(shè)備市場在過去十年呈現(xiàn)顯著增長。

越是精密的行業(yè)，越是差之毫厘失之千里，半導(dǎo)體制造需要嚴(yán)格、精密的參數(shù)控制以確保它的穩(wěn)定與可靠。

TE Connectivity（以下簡稱“TE”）為半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用提供定制傳感器解決方案，可以針對客戶的實(shí)際需求和半導(dǎo)體設(shè)備對于精密度和復(fù)雜度的需求，提供定制的、用于半導(dǎo)體設(shè)備的傳感器，從前道工藝、后道工藝到單晶硅片制造精準(zhǔn)把關(guān)。

以下是部分可供定制產(chǎn)品及其應(yīng)用領(lǐng)域，如您有任何定制需求，歡迎點(diǎn)擊“閱讀原文”進(jìn)行咨詢。

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TE傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用

超高純度（UHP）氣體面板

超高純度（UHP）氣體面板專門用于微電子、半導(dǎo)體和光伏組件生產(chǎn)。這些應(yīng)用均需要更高的標(biāo)準(zhǔn)，以確保所輸送的氣體或流體純度。半導(dǎo)體制造尤甚，因?yàn)檫^程中會(huì)產(chǎn)生和使用數(shù)百種氣體和混合物，這對壓力的檢測標(biāo)準(zhǔn)要求很高。

這就需要質(zhì)量流量控制器（MFC）來精密把關(guān)，而壓力傳感器就是MFC的感知關(guān)鍵。

85系列定制型壓力傳感器

提升MFC特種氣體質(zhì)量控制精度，使晶圓生產(chǎn)工藝可控。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

- 小尺寸

- 316L SS，0-100mV輸出

- 提供表壓和絕壓以及溫度補(bǔ)償

超高純度（UHP）定制型壓力傳感器

可檢測每個(gè)氣柜壓力、管道壓力，及混合器出口壓力。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

- 316L 哈氏合金，具有良好的抗腐蝕性和熱穩(wěn)定性

- 電氣拋光，不會(huì)污染破壞生產(chǎn)環(huán)境

02

TE傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用

化學(xué)罐液位檢測

在化學(xué)氣相沉積過程中，精確而可靠地測量液位對半導(dǎo)體晶片制造過程而言非常重要。TE的定制液位檢測傳感器，可提供單個(gè)或多個(gè)具有很高精度的離散點(diǎn)液位，是化學(xué)液體液位檢測的優(yōu)秀解決方案。

定制液位檢測傳感器

緊湊可靠，不受液位影響的超聲波液位檢測傳感器。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

- 316L不銹鋼，帶電拋光

- 超聲波液位檢測，無移動(dòng)部件

- 定制用于高精度的單點(diǎn)、多點(diǎn)液位檢測

- 可用于高達(dá)250PSIG（1724kPa）的高壓容器應(yīng)用

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TE傳感器的半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用

晶圓制程溫度探針

可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的不同工藝，和熔爐中，例如擴(kuò)散爐（垂直/水平爐）、熱加工、化學(xué)氣相沉積法（CVD / LPCVD）。

定制晶圓溫度探頭

具多個(gè)溫度監(jiān)測點(diǎn)的溫度探頭。

產(chǎn)品優(yōu)勢：

- 提供晶圓溫度空間分布

- 驗(yàn)證晶圓溫度控制以進(jìn)行冷注入

原文標(biāo)題：精細(xì)、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)陌雽?dǎo)體制程，有了這些傳感器更得力

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