據(jù)麥姆斯咨詢報道,II-VI公司的晶圓級衍射光學(xué)業(yè)務(wù)部門基于自有平臺推出了一款高效多功能的超透鏡。II-VI推出的這款超透鏡能夠使消費電子、汽車電子、生命科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用的光學(xué)傳感器(集成VCSEL)小型化。光學(xué)傳感器在各種產(chǎn)品(例如智能手機(jī)、汽車、醫(yī)療診斷設(shè)備和激光加工頭)的嵌入式應(yīng)用不斷增長,推動了對緊湊、可靠且可大規(guī)模制造的更高效微型光學(xué)子系統(tǒng)的需求。
II-VI超透鏡是平面衍射光學(xué)元件(DOE),在單個表面上能夠以極高的效率實現(xiàn)多種光學(xué)功能,并且適用于廣泛的波長范圍。在一種實施例中,這種超透鏡可將來自VCSEL的光準(zhǔn)直,并將其分成由數(shù)千條紅外光束組成的投射在場景上的高度均勻的網(wǎng)格。光學(xué)傳感器參考這些網(wǎng)格以準(zhǔn)確獲取三維場景數(shù)據(jù)。
II-VI的平面DOE基于光刻工藝實現(xiàn)圖案化,能夠提供對透射光的相位控制,而且不受折射光學(xué)元件的限制。微米厚的有源相變層被直接蝕刻到熔融石英玻璃襯底上的化學(xué)惰性電介質(zhì)中。不含有機(jī)物的材料平臺具有出色的可靠性,可以承受惡劣的環(huán)境條件、高光功率和高達(dá)500℃的溫度。
II-VI的DOE制造基于強大的深紫外(DUV)光刻和反應(yīng)離子蝕刻工藝。晶圓級DOE使用與電子IC行業(yè)相同的批量制造方法進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn),其生產(chǎn)規(guī)模達(dá)到每年數(shù)百萬個微光學(xué)器件。
“作為我們多年來一直批量出貨的光通信產(chǎn)品的一部分,基于玻璃的DOE的高可靠性是經(jīng)過實地驗證的?!盜I-VI首席營銷官Sanjai Parthasarathi博士介紹說,“此外,我們的超透鏡可以與我們的VCSEL一起使用,以實現(xiàn)差異化的超緊湊型3D攝像頭,促進(jìn)其在消費電子產(chǎn)品和汽車領(lǐng)域的更廣泛采用。”
應(yīng)用于傳感的II-VI產(chǎn)品組合包括近紅外VCSEL芯片,其芯片類型包括從一個發(fā)射器到數(shù)百個發(fā)射器的多結(jié)設(shè)計。II-VI的VCSEL陣列專為低成本非密封封裝而設(shè)計,通過增加每顆芯片的發(fā)射器數(shù)量從而能夠可靠且經(jīng)濟(jì)高效地擴(kuò)展總發(fā)射功率。II-VI的VCSEL陣列可作為裸芯片提供,或與DOE集成于表面貼裝模組之中。II-VI公司還提供用于提高圖像傳感器陣列信噪比的薄膜濾波片。
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原文標(biāo)題:II-VI推出應(yīng)用于光學(xué)傳感器的高效超透鏡
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