Cascade高級精細(xì)的工具簡化了超低溫測試
高級精細(xì)的工具簡化了超低溫測試
低溫工具軟件是一種Velox應(yīng)用程序，通過控制真空泵和冷卻液參數(shù)，可在極端環(huán)境中進(jìn)行精確的晶圓上測量。它是為低溫探針臺系統(tǒng)開發(fā)的，可以測試?yán)鋮s紅外傳感器和需要低溫的尖端技術(shù)。它支持輔助功能，如自動重新填充液氮杜瓦瓶和自動交換紅外輻射源（黑體）。
真空 / 超低溫探針臺的圖形界面
過程參數(shù)的實(shí)時顯示
向?qū)Щ牟僮?/p>
半自動化流程工具
審核編輯：符乾江
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