蘇州·晶芯研討會(huì) - 先進(jìn)半導(dǎo)體制造與封裝大咖齊聚姑蘇

“晶芯研討，精華薈萃！”2022年7月5日，年度首場(chǎng)線下高峰技術(shù)論壇大咖云集，ACT雅時(shí)國(guó)際商訊與蘇州工業(yè)園強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，主辦蘇州·晶芯研討會(huì)之“拓展摩爾定律——先進(jìn)半導(dǎo)體制造與封裝技術(shù)協(xié)同發(fā)展大會(huì)”。我社力邀業(yè)內(nèi)近20位智庫(kù)學(xué)者、企業(yè)專家，齊聚先進(jìn)半導(dǎo)體制造業(yè)重鎮(zhèn)地蘇州，同臺(tái)獻(xiàn)智獻(xiàn)策，近30家知名企業(yè)展示先進(jìn)設(shè)備，19,243人在線觀看圖文直播盛況，更有近500位業(yè)界同仁現(xiàn)場(chǎng)啟動(dòng)思維碰撞，“零距離對(duì)話”半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前沿技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。

△專家、嘉賓合影-現(xiàn)場(chǎng)圖

蘇州，作為首批國(guó)家歷史文化名城，有著古典園林和大運(yùn)河等文化遺跡名揚(yáng)世界，它東傍上海，南接浙江、西抱太湖、北依長(zhǎng)江，是長(zhǎng)三角重要的中心城市之一。蘇州高新產(chǎn)業(yè)特色明顯，在新信息技術(shù)、高端裝備制造、生物醫(yī)藥、納米技術(shù)應(yīng)用和人工智能等產(chǎn)業(yè)方面優(yōu)勢(shì)顯著。蘇州工業(yè)園區(qū)，是中國(guó)和新加坡兩國(guó)政府間的重要合作項(xiàng)目，被譽(yù)為“中國(guó)改革開放的重要窗口”和“國(guó)際合作的成功范例”。自1994年2月成立以來(lái)，堅(jiān)持走經(jīng)濟(jì)國(guó)際化和新型工業(yè)化發(fā)展道路，擇商選資、提升項(xiàng)目層次、優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。園區(qū)已成為國(guó)內(nèi)最大的液晶面板基地、芯片封測(cè)基地、芯片產(chǎn)能居全國(guó)前三。世界知名半導(dǎo)體巨頭如博世、西門子、三星、飛利浦等相繼入駐，園區(qū)一直處于高水平發(fā)展。2021年園區(qū)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)總值3330.3億元。成為全國(guó)開放程度最高、發(fā)展質(zhì)效最好、創(chuàng)新活力最強(qiáng)、營(yíng)商環(huán)境最優(yōu)的區(qū)域之一，在國(guó)家級(jí)經(jīng)開區(qū)綜合考評(píng)中實(shí)現(xiàn)2016~2021年六連冠。躋身科技部建設(shè)世界一流高科技園區(qū)行列。

△蘇州工業(yè)園區(qū)投資促進(jìn)委員會(huì)展區(qū)-現(xiàn)場(chǎng)圖

8:55大會(huì)正式開始，首先由ACT雅時(shí)國(guó)際商訊總裁&《半導(dǎo)體芯科技》出版總監(jiān)麥協(xié)林、 蘇州通富超威半導(dǎo)體有限公司 董事總經(jīng)理曾昭孔、《半導(dǎo)體芯科技》雜志編委、武漢大學(xué)動(dòng)力與機(jī)械學(xué)院院長(zhǎng)、工業(yè)科學(xué)研究院執(zhí)行院長(zhǎng)、微電子學(xué)院副院長(zhǎng) 劉勝分別先后致歡迎辭。中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)封測(cè)分會(huì) 秘書長(zhǎng)徐冬梅致開幕辭。

蘇州工業(yè)園區(qū)投資促進(jìn)委員會(huì)主任 蔣衛(wèi)明致開幕辭后，緊接著蘇州工業(yè)園區(qū)投資促進(jìn)局副局長(zhǎng) 白新宇對(duì)蘇州工業(yè)園區(qū)的情況進(jìn)行了交流推介。

演講環(huán)節(jié)，13位業(yè)內(nèi)資深專家進(jìn)行了不同主題報(bào)告的精彩分享，我們秉承“溝通技術(shù)·賦能未來(lái)”的傳播使命，晶芯研討會(huì)會(huì)緊密貼合行業(yè)智能化發(fā)展趨勢(shì)，共商先進(jìn)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)與封裝技術(shù)協(xié)同發(fā)展，共同探討先進(jìn)封裝、3D封裝、三維異構(gòu)系統(tǒng)集成、鍍膜工藝等最新技術(shù)和方案，全產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動(dòng)全景呈現(xiàn)前沿產(chǎn)品技術(shù)和創(chuàng)新解決方案，帶來(lái)一場(chǎng)腦力激蕩與視覺享受的盛宴。

首先，芯謀研究 景昕總經(jīng)理，發(fā)表了《新形勢(shì)中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的感想》。他認(rèn)為，2022年，今年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將在一個(gè)更為復(fù)雜的環(huán)境中前行，而這種情況可能仍會(huì)持續(xù)一段時(shí)間。

較為突出的表現(xiàn)在：企業(yè)分裂，同質(zhì)化產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)激烈；人才培養(yǎng)跟不上企業(yè)擴(kuò)增需求；不斷提升的外部政治壓力，打壓中國(guó)高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展；供應(yīng)端自主能力仍顯不足，存在斷供風(fēng)險(xiǎn)；需求端消費(fèi)類市場(chǎng)特別是智能手機(jī)市場(chǎng)下滑明顯；疫情導(dǎo)致的上海靜默近3月，交流業(yè)務(wù)受阻等，當(dāng)疫情疊加產(chǎn)業(yè)下行周期，這些情況就顯得格外扎眼。

諾信電子 何仕棟經(jīng)理在演講報(bào)告中分享了一系列點(diǎn)膠和等離子處理方案，適用于3D封裝中的功耗、性能、芯片面積和成本（PPAC）的優(yōu)化。

全面介紹了先進(jìn)點(diǎn)膠方案如何應(yīng)用于系統(tǒng)基板和封裝(BGA)之間，封裝內(nèi)、基底和中介層(C4)、硅中介層連接小芯片和芯片堆疊(μbumps)。除此之外，何經(jīng)理還分享了許多有關(guān)應(yīng)用于3D封裝設(shè)計(jì)的等離子處理技術(shù)。

隨著晶圓代工制程不斷縮小，摩爾定律逼近極限，先進(jìn)封裝是后摩爾時(shí)代的必然選擇，OSAT企業(yè)、晶圓代工廠、IDM、Fabless公司、EDA工具廠商等都加入了其中，封裝環(huán)節(jié)對(duì)芯片性能的影響進(jìn)一步提高。

華封科技 呂芃浩副總監(jiān)在報(bào)告中講到，先進(jìn)封裝將會(huì)重新定義封裝在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的地位，先進(jìn)封裝以及3D單芯片和異構(gòu)集成將成為下一次微電子革命的關(guān)鍵推動(dòng)力。

盛美半導(dǎo)體 賈照偉總監(jiān)在演講中分析，隨著芯片制造技術(shù)節(jié)點(diǎn)趨近物理極限，高密度扇出等先進(jìn)封裝技術(shù)以另外一種方式持續(xù)延伸摩爾定律。然而，在高密度扇出封裝工藝中遇到很多挑戰(zhàn)。比如超細(xì)線截距的RDL形貌控制，翹曲硅片的處理，以及在較高深寬比的結(jié)構(gòu)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高速電鍍等方面都遇到一些難題。盛美經(jīng)過(guò)幾年技術(shù)開發(fā)，在針對(duì)超細(xì)截距RDL，翹曲晶圓傳輸以及高速電鍍錫銀技術(shù)等方面取得突破。

武漢大學(xué) 郭宇錚教授在報(bào)告中，通過(guò)理論研究、數(shù)值模擬和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證來(lái)實(shí)現(xiàn)器件、封裝和測(cè)試過(guò)程的多尺度多場(chǎng)模擬仿真，定量分析制造過(guò)程中材料、結(jié)構(gòu)和工藝因素對(duì)系統(tǒng)級(jí)封裝和異構(gòu)集成器件行為的影響機(jī)制以及各制造工藝之間的相互關(guān)聯(lián)關(guān)系，從而優(yōu)化系統(tǒng)級(jí)封裝及異構(gòu)制造過(guò)程。研究新的測(cè)試方法、快速可靠性試驗(yàn)方法、簡(jiǎn)化測(cè)試結(jié)構(gòu)、計(jì)算模擬及可靠性機(jī)理，建立系統(tǒng)級(jí)封裝及異構(gòu)集成技術(shù)的可靠性數(shù)據(jù)庫(kù)，并建立系統(tǒng)級(jí)封裝及異構(gòu)集成產(chǎn)品的可靠性測(cè)試新標(biāo)準(zhǔn)。

深圳先進(jìn)電子材料國(guó)際創(chuàng)新研究院 張國(guó)平副院長(zhǎng)在演講中說(shuō)道，隨著摩爾定律發(fā)展放緩，先進(jìn)封裝成為超越摩爾定律、進(jìn)一步提高芯片性能、降低功耗、器件小型化的關(guān)鍵。其中晶圓級(jí)扇出型封裝由于其優(yōu)異的性能，更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，成為了超越摩爾定律的關(guān)鍵發(fā)展路徑。

重點(diǎn)針對(duì)扇出型封裝中的激光響應(yīng)臨時(shí)鍵合/解鍵合材料及其關(guān)鍵工藝研究展開了陳述,其中包括面向紫外激光響應(yīng)的激光釋放材料以及面向全波段激光響應(yīng)的激光釋放材料,以及用于臨時(shí)鍵合粘結(jié)的粘結(jié)層材料。

芯盟科技為一家新型感-存-算一體化芯片技術(shù)公司，憑借其以HITOC技術(shù)為核心的三維單芯片異構(gòu)系統(tǒng)集成能力和豐富的工程量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，引領(lǐng)著該創(chuàng)新行業(yè)的市場(chǎng)潮流。芯盟科技 洪齊元副總裁介紹到三維單芯片異構(gòu)系統(tǒng)集成是芯盟科技的核心業(yè)務(wù)，旨在為客戶在大算力、高帶寬、低功耗等產(chǎn)品領(lǐng)域提供一整套三維異構(gòu)系統(tǒng)集成服務(wù)，提升產(chǎn)品價(jià)值。

后摩爾時(shí)代，隨著先進(jìn)封裝技術(shù)發(fā)展，集成電路產(chǎn)業(yè)對(duì)芯片種類，數(shù)量，高密度，集成度提出了越來(lái)越高的要求。玻璃作為一種古老的材料，其優(yōu)異的光學(xué)性質(zhì)，穩(wěn)定的化學(xué)耐受性，以及可客制化的膨脹系數(shù)，也逐漸受到先進(jìn)封裝技術(shù)的青睞,具有130多年歷史的特種玻璃材料生產(chǎn)商德國(guó)肖特集團(tuán)，根據(jù)全球市場(chǎng)的需求，不斷開發(fā)出各種性能的玻璃材料，制成所需規(guī)格的玻璃晶圓，載板，或打孔產(chǎn)品以滿足當(dāng)前集成電路發(fā)展的需要。

肖特玻璃 達(dá)寧經(jīng)理在演講中，主要介紹肖特目前已具有規(guī)模化量產(chǎn)的玻璃晶圓，載板，TGV，鍵合技術(shù)，并對(duì)影響先進(jìn)封裝制程的玻璃材料性質(zhì)與性能做深入闡述，以助力先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。

眾星微 孫向南副總監(jiān)在線向我們講解了，在先進(jìn)封裝領(lǐng)域，有兩條由應(yīng)用驅(qū)動(dòng)的技術(shù)路徑。一條的主要訴求是提升互聯(lián)密度，從而解決芯片之間的通信帶寬，其代表產(chǎn)品就是基于2.5D/3D高級(jí)封裝的HBM DRAM接口標(biāo)；另一條技術(shù)路徑是chiplet，即在封裝系統(tǒng)里面不再使用少量的大芯片做集成，而是改用數(shù)量更多但是尺寸更小的芯片粒（chiplet）作為基本單位，相比單芯片設(shè)計(jì)，基于chiplet設(shè)計(jì)的芯片，可以進(jìn)一步提升良率，降低成本，同時(shí)性能更強(qiáng)。

利用2.5D/3D封裝技術(shù)來(lái)達(dá)到有效:”異構(gòu)集成(Heterogenous sIntegra tion/HI)”功能近年一直被認(rèn)為是帶動(dòng)“超越摩爾(More-than-Moore)”的發(fā)展方向之一,其中常被論述的”小芯片(Chiplet)”封裝系統(tǒng)最能具體體現(xiàn)通過(guò)先進(jìn)互連技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)異構(gòu)集成的概念,從而引領(lǐng)市場(chǎng)的未來(lái)組件高效能低耗損的發(fā)展方向,異構(gòu)集成涵蓋多種為人熟知的工藝技術(shù)。

香港應(yīng)科院 吳海平經(jīng)理在本演講中,討論了專門針對(duì)互連的工藝挑戰(zhàn),以及針對(duì)不同2.5D/3D封裝方法的相應(yīng)解決方案(包括制造設(shè)備解決方案)。

電子級(jí)氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏、LED等領(lǐng)域，是這些行業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中公認(rèn)的“血液”。金宏氣體 康立忠副總經(jīng)理介紹道，蘇州金宏氣體股份有限公司臥薪嘗膽，堅(jiān)定不移地走自主研發(fā)的路線，目前已在電子級(jí)特氣和電子級(jí)大宗氣體產(chǎn)品上，取得突破性進(jìn)展。公司的電子級(jí)笑氣，氨氣，正硅酸乙酯，電子級(jí)二氧化碳，電子級(jí)大宗氣體等產(chǎn)品已得到國(guó)內(nèi)電子氣體市場(chǎng)認(rèn)可，廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體客戶。為電子級(jí)氣體的國(guó)產(chǎn)替代，走出了堅(jiān)實(shí)地一步。

因新能源車、快充等市場(chǎng)空間巨大，功率器件芯片也是急劇增加，目前越來(lái)越多封裝企業(yè)開始進(jìn)行BGBM工藝整合，為了確保高效的設(shè)備，同時(shí)以最大的產(chǎn)量控制成本，需要專門的工藝解決方案，愛發(fā)科 沈堅(jiān)副總經(jīng)理表示，愛發(fā)科目前在BGBM工藝中提供技術(shù)解決方案，特別對(duì)蒸發(fā)工藝對(duì)于薄片工藝有著深入的研究。
其次5G基站，5G手機(jī)進(jìn)一步普及，射頻芯片需求激增，在射頻芯片里陶瓷封裝中的金錫(AuSn)焊料封裝工藝的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)對(duì)AuSn焊料如何使用蒸發(fā)工藝來(lái)進(jìn)行制作進(jìn)行講解。

當(dāng)前，智能手機(jī)、5G、人工智能和智能硬件等新興領(lǐng)域的不斷發(fā)展，人類社會(huì)已進(jìn)入到智能信息時(shí)代，越來(lái)越依賴于以集成電路為核心的半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展。新時(shí)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展出現(xiàn)了新的時(shí)代特征。

云天半導(dǎo)體 于大全董事長(zhǎng)通過(guò)線上視頻，向在場(chǎng)的聽眾朋友們表達(dá)了誠(chéng)摯歡迎。隨后由云天半導(dǎo)體 阮文彪總監(jiān)發(fā)表了精彩的主題演講，著重論述了新時(shí)期先進(jìn)封裝的最新進(jìn)展，論述硅通孔(TSV)、扇出型封裝(WL-FO)、玻璃通孔（TGV）晶圓級(jí)封裝技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用，進(jìn)一步討論從先進(jìn)封裝跨越到先進(jìn)微系統(tǒng)集成的發(fā)展路徑及發(fā)展趨勢(shì)。

當(dāng)前，新冠肺炎疫情嚴(yán)重影響了國(guó)際半導(dǎo)體制造供應(yīng)鏈，采購(gòu)商都在尋求貿(mào)易伙伴和供應(yīng)商。

本次晶芯展會(huì)不僅提供了豐富的商機(jī)，還有效解決了多家企業(yè)間的供采對(duì)接難題。查看更多展商信息，請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接

小芯看著聽眾們這么專注認(rèn)真的聽會(huì)，還有不少積極做筆記的芯粉，相信未來(lái)之芯，必定會(huì)突破重重挑戰(zhàn)，創(chuàng)造芯機(jī)遇！

這次抽獎(jiǎng)環(huán)節(jié)，我們準(zhǔn)備了精挑細(xì)選的頸部按摩儀、華為運(yùn)動(dòng)手環(huán)、養(yǎng)生壺等等多重好禮，活動(dòng)環(huán)節(jié)還有于大全老師的經(jīng)典著作，會(huì)務(wù)組工作人員帶著十足誠(chéng)意，希望參會(huì)嘉賓、朋友們滿載而歸！

飲水不忘思其源，每一份進(jìn)步與成就的背后，都有一群人默默付出與堅(jiān)守。

晚宴現(xiàn)場(chǎng)高朋滿座，大家齊聚一堂，熱情高漲，度過(guò)了一個(gè)共擁美好記憶的夜晚。

未來(lái)《半導(dǎo)體芯科技》雜志社將在平凡之路上，開啟下一個(gè)新篇章，新征程！從“芯”出發(fā)，筑夢(mèng)未來(lái)！

會(huì)后有很多觀眾們?cè)谠儐?wèn)演講資料，我們正在和講師們積極確認(rèn)中，請(qǐng)隨時(shí)關(guān)注公眾號(hào)或社群最新消息哦~

不忘初心，砥礪前行。本次高峰技術(shù)論壇取得圓滿成功的背后，更要感謝會(huì)議聯(lián)合主辦方：蘇州工業(yè)園區(qū)投資促進(jìn)委員會(huì)、支持單位：香港應(yīng)用技術(shù)研究院、武漢大學(xué)動(dòng)力與機(jī)械學(xué)院、深圳先進(jìn)電子材料國(guó)際與創(chuàng)新研究院、下列贊助商們給予的鼎力支持，讓我們的會(huì)議更加豐富、充實(shí)。

感謝以下企業(yè)、科研院所的大力支持

蘇州工業(yè)園區(qū)投資促進(jìn)委員會(huì)

香港應(yīng)用技術(shù)研究院

武漢大學(xué)動(dòng)力與機(jī)械學(xué)院

深圳先進(jìn)電子材料國(guó)際與創(chuàng)新研究院

廈門云天半導(dǎo)體科技有限公司

芯謀研究院

諾信電子解決方案

華封科技有限公司

肖特玻璃科技(蘇州)有限公司

愛發(fā)科真空技術(shù)(蘇州)有限公司

盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

蘇州金宏氣體股份有限公司

芯盟科技有限公司

無(wú)錫眾星微系統(tǒng)技術(shù)有限公司

Park 原子力顯微鏡

嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司

頎中科技(蘇州)有限公司

深圳市圭華智能科技有限公司

英特維科技(深圳)有限公司

深圳市騰盛精密裝備股份有限公司

勝科納米(蘇州)股份有限公司

華天科技(昆山)電子有限公司

布魯克(北京)科技有限公司

蘇州德龍激光股份有限公司

儒眾智能科技(蘇州)有限公司

華光創(chuàng)科微電子有限公司

天津三英精密儀器股份有限公司

江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司

深圳市山木電子設(shè)備有限公司

蘇州艾斯達(dá)克智能科技有限公司

東電電子(上海)有限公司

天津金海通半導(dǎo)體設(shè)備股份有限公司

蘇州工業(yè)園區(qū)微昕銳電子設(shè)備有限公司

國(guó)可工軟(蘇州)科技有限公司

會(huì)議小彩蛋：下周“半導(dǎo)體芯科技SiSC”視頻號(hào)將陸續(xù)更新本次蘇州會(huì)議現(xiàn)場(chǎng)采訪精華內(nèi)容呦~盡請(qǐng)期待！

審核編輯 黃昊宇