微電子院打造兵器MEMS微電子原創(chuàng)技術(shù)策源地

微電子院 打造兵器微電子原創(chuàng)技術(shù)策源地

中國兵器工業(yè)集團華東光電集成器件研究所（微電子院）認真落實集團公司改革創(chuàng)新的工作部署，堅持系統(tǒng)觀念，主動作為、勇于變革、銳意進取、敢為人先，在科技創(chuàng)新方面勇于探索，以MEMS技術(shù)為核心打造兵器微電子原創(chuàng)技術(shù)策源地，爭當現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)鏈“鏈長”，走出一條適合自身發(fā)展的創(chuàng)新之路，為推動落實兵器工業(yè)“四件大事”、形成“四種能力”提供兵器微電子的重要支撐。

通過在微電子領(lǐng)域的自主創(chuàng)新，微電子院實現(xiàn)了兵器微電子軍民融合跨越式發(fā)展，參與某重點工程競標立項數(shù)量行業(yè)排名全國第四;某專用基礎(chǔ)器件領(lǐng)域新增立項數(shù)量排名全國第一;2021年MEMS芯片累計銷售超過3000萬顆，體硅MEMS芯片國內(nèi)出貨量第一;高性能慣性MEMS器件市場占有率達到國內(nèi)第一;MEMS壓力傳感器形成多量程、寬溫區(qū)產(chǎn)品設(shè)計與制造能力,對標德國同類壓力芯片，微電子院目前2MPa、4MPa壓力芯片已得到國內(nèi)流程工業(yè)龍頭企業(yè)的認可，并取得首批訂貨。

光MEMS芯片突破高端光刻機核心光束整形MMA芯片研制技術(shù)，開發(fā)了成套的光通信芯片加工技術(shù)，支撐設(shè)計公司實現(xiàn)光通信領(lǐng)域國產(chǎn)商用化替代，國內(nèi)市場占有率30%，全球市場占有率排名第三;為激光雷達領(lǐng)域龍頭企業(yè)加工的光MEMS微振鏡已完成成套工藝開發(fā)與聯(lián)調(diào)試用,形成微電子院首個車規(guī)級配套產(chǎn)品。

在智慧產(chǎn)業(yè)上,聚集重大裝備和智慧安全電子等領(lǐng)域，分別在航天發(fā)動機、舵機控制、火箭遙測以及燃氣、排水與橋梁等城市生命線安全參數(shù)測量，智慧工廠升級改造等多點發(fā)力,2020年、2021年分別實現(xiàn)銷售收入3000萬元和6600萬元,2022年作有望突破2億元，為系統(tǒng)謀劃傳感器應(yīng)用與智慧產(chǎn)業(yè)延鏈布局打下堅實基礎(chǔ)。

堅持思想領(lǐng)航，明確戰(zhàn)略布局，為科技創(chuàng)新發(fā)展指明方向

一是深入貫徹習近平強軍思想，全面落實國有企業(yè)黨建工作會議精神，堅定履行強軍首責，堅持實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，形成兵器微電子“12345”發(fā)展新思路，即以企業(yè)與員工共同發(fā)展為“一個目標”，以堅定不移開展研發(fā)技術(shù)合作與營銷合作“兩個重點”創(chuàng)新商業(yè)模式，以實現(xiàn)平臺、產(chǎn)業(yè)和員工福利“三個夢”為愿景，做實“管理嚴一點、日子苦一點、發(fā)展快一點、考核狠一點”的“四個要求”，圍繞核心使命，重點推進自主可控工程實施、原創(chuàng)技術(shù)策源地打造等“五項重點工作”。

二是明確了強基固本的兵器微電子技術(shù)發(fā)展新戰(zhàn)略，即：圍繞半導(dǎo)體集成電路、MEMS/MOMES器件與微系統(tǒng)、硅基光電器件與組件等八個專業(yè)領(lǐng)域，發(fā)揮MEMS技術(shù)優(yōu)勢，強化對集團公司電子信息產(chǎn)業(yè)的支撐作用，打造國內(nèi)一流的微納制造平臺和軍民融合的微電子產(chǎn)業(yè)基地。

三是提出“固本延鏈、資本補充”的產(chǎn)業(yè)發(fā)展新舉措，堅持打造創(chuàng)新鏈、資金鏈、產(chǎn)業(yè)鏈“三鏈”融合協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展體系，做實做強做優(yōu)做大兵器微電子產(chǎn)業(yè)。

堅持自立自強，完善技術(shù)體系，為科技創(chuàng)新發(fā)展夯實基礎(chǔ)

一是培育形成“3+X”核心技術(shù)體系,提升兵器微電子在行業(yè)領(lǐng)域的國家站位?！?”是指MEMS（微機械電子系統(tǒng)技術(shù)）、SCP（半導(dǎo)體特種工藝技術(shù)）、LTCC（低溫共燒陶瓷技術(shù)），“X”是指下一步重點培育的技術(shù)。二是重點構(gòu)建核心器件系統(tǒng)集成自主可控產(chǎn)品體系。微電子院經(jīng)過40多年的技術(shù)積累與產(chǎn)品迭代，基本建成為彈載電子學核心器件提供整體解決方案的能力，圍繞智能化彈藥和能源等子系統(tǒng)需求，研制出制導(dǎo)與信號處理等20個系列100余種貨架產(chǎn)品。三是圍繞兵器需求，重點布局智能芯片、前沿光電、仿生感知與微系統(tǒng)等前沿技術(shù)領(lǐng)域，實現(xiàn)技術(shù)突襲和超越，賦能集團公司新一代裝備跨越發(fā)展，為集團公司高水平科技自立自強，提供兵器微電子重要支撐。

強化正向激勵，推動機制變革，為科技創(chuàng)新發(fā)展增強動力

一是強化增量改革，建立多元化中長期激勵機制。建立了目標導(dǎo)向的市場化“1+N”薪酬激勵體系，以崗位績效工資為1條主線，差異化設(shè)置產(chǎn)品開發(fā)、市場開拓等N個專項績效。二是體系化實施“一事一議”的“一項一策”項目跟投中長期激勵，聚焦核心骨干人才精準施策，目標導(dǎo)向精準發(fā)力，充分激發(fā)員工干事創(chuàng)業(yè)積極性，釋放科技、管理、工藝創(chuàng)新活力。全面保障重大工程、重大任務(wù)和關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)項目激勵有效。

自2019年實施以來，立項87項，核心骨干員工覆蓋1600余人次，已發(fā)放專項績效3100余萬。三是實施基于“超額收益”分享的虛擬股權(quán)激勵，持續(xù)激發(fā)科技人才創(chuàng)新創(chuàng)造活力。在事業(yè)單位體制下，2021年起在兩個部門實施虛擬股權(quán)激勵。將“超額利潤”理念充分融入分紅機制，部門經(jīng)營收入目標基礎(chǔ)增長率不低于15%，按超額收入的一定比例提取分紅。四是推動事業(yè)部制改革，強化業(yè)績和激勵效率優(yōu)先。

對兩個團隊實施事業(yè)部制，按規(guī)模和利潤核算薪酬總額，事業(yè)部自行設(shè)置薪酬體系，按照微電子企業(yè)模式強化考核約束。五是實行風險保證金，強化風險共擔利益共享機制。壓實經(jīng)營管理責任，夯實目標導(dǎo)向。對領(lǐng)導(dǎo)干部實行風險保證金制度，按部門履職責任書，選定關(guān)鍵經(jīng)營指標和紅線指標，對關(guān)鍵經(jīng)營指標按完成率實行硬性考核。

堅持合作共贏，形成資源共享，為科技創(chuàng)新發(fā)展提供保障

一是聚焦主責主業(yè)，不拘一格開放引才。除開展常態(tài)化社會招聘外，成建制引進一個研發(fā)團隊，充分發(fā)揮團隊在專業(yè)研發(fā)與市場開發(fā)方面的優(yōu)勢和微電子院工藝技術(shù)全面的平臺優(yōu)勢，實現(xiàn)合作雙贏。

二是聚焦科技創(chuàng)新，系統(tǒng)推進“人才飛地”建設(shè)。全面建成西安研發(fā)中心和合肥集成電路測試中心。

三是瞄準未來新興產(chǎn)業(yè)，聯(lián)合32家上下游科研機構(gòu)和企業(yè)共建MEMS技術(shù)與產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，保持微電子技術(shù)在國內(nèi)領(lǐng)先地位。

四是大力開展與高校的合作，借腦發(fā)展，解決人才短板。依托兵器微電子與微系統(tǒng)平臺與清華、北大、西安交大等高校建立長期戰(zhàn)略合作，共同策劃第一期創(chuàng)新課題立項26項，并在聯(lián)合培養(yǎng)人才、協(xié)同開展技術(shù)攻關(guān)和科技成果轉(zhuǎn)化等方面進行體系化縱深合作。

五是與地方普通高校建立“2+2”應(yīng)用型產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才培養(yǎng)模式。組建“兵器微電子定制班”，設(shè)置兵器微電子特色教學課程，解決人才資源缺口問題。

堅持系統(tǒng)觀念，落實“四件大事”，為科技創(chuàng)新發(fā)展形成支撐

一是加強兵器微電子原創(chuàng)性引領(lǐng)性技術(shù)攻關(guān)，瞄準國際前沿技術(shù)、顛覆性技術(shù)、戰(zhàn)略新興技術(shù)和關(guān)鍵核心技術(shù)，形成了戰(zhàn)略新興技術(shù)領(lǐng)域50項創(chuàng)新研究課題，涵蓋了兵器微電子硅基MEMS技術(shù)、光電子技術(shù)等九大專業(yè)領(lǐng)域，力爭在2030年實現(xiàn)兵器微電子總體技術(shù)水平處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，主流技術(shù)達到國際先進水平，攻克兵器工業(yè)信息化、智能化裝備核心器件“卡脖子”技術(shù)難題。

二是加快兵器微電子產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)能力建設(shè)，大力發(fā)展MEMS、傳感器及智慧產(chǎn)業(yè)，提升兵器微電子產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平。加速實施6英寸半導(dǎo)體工藝線擴產(chǎn)擴能項目建設(shè)，解決當前產(chǎn)能瓶頸，打造MEMS慣性器件等細分領(lǐng)域的單項冠軍。加速推動MEMS晶圓生產(chǎn)線建設(shè)，確保2024年底初步建成國內(nèi)最先進的微納制造工藝平臺，為裝備信息化、智能化和軍民融合產(chǎn)業(yè)提供支撐。積極拓展傳感器產(chǎn)業(yè)延鏈，牽頭帶動中國（蚌埠）傳感谷建設(shè)，努力打造國內(nèi)產(chǎn)品種類最全和自主可控芯體最多的傳感器產(chǎn)品集聚地。

三是推動兵器產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新，為兵器光電技術(shù)、高端裝備技術(shù)、民爆技術(shù)及汽車電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供微電子支撐。在民爆產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，聯(lián)合特能集團開展“新一代數(shù)碼雷管芯片與控制模塊”的研發(fā)、生產(chǎn)，提升民爆產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈水平；發(fā)揮微電子院MOEMS微振鏡技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢，為車用激光雷達產(chǎn)業(yè)提供核心支撐；把握汽車電子缺芯的窗口期，與兄弟單位開展車用MEMS壓力傳感器合作，形成多品種、全系列國產(chǎn)化替代。

四是瞄準未來人工智能、無人作戰(zhàn)、光電信息等戰(zhàn)略必爭領(lǐng)域需求，著力推動硅基光電子關(guān)鍵技術(shù)突破，搶占未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展先機。硅基光電子技術(shù)是應(yīng)對摩爾定律實效的顛覆性技術(shù)，微電子院充分利用微電子平臺多的優(yōu)勢，突破硅基單光子探測、高性能固態(tài)圖像成像、光電一體化微納集成等關(guān)鍵技術(shù)，形成SiPM探測器、真彩色晝夜兼容成像器件、MOEMS光執(zhí)行器件以及硅光微系統(tǒng)等系列核心產(chǎn)品，支撐兵器新一代光電信息技術(shù)發(fā)展。

來源：中國兵工報、214所、傳感器專家網(wǎng)