使用千兆赫茲脈沖模式的飛秒激光進行玻璃微鉆孔

法國波爾多大學(xué)（University of Bordeaux）強激光與應(yīng)用研究所（CELIA）激光與物質(zhì)相互作用研究小組開發(fā)出一種使用“千兆赫茲脈沖”模式的飛秒激光進行玻璃微鉆孔的新方法。

利用飛秒激光實現(xiàn)在玻璃上鉆微孔

在《極端制造（國際期刊）（International Journal of Extreme Manufacturing）》中描述了這項研究使用Amplitude飛秒激光器，在千兆赫茲脈沖狀態(tài)下工作，以實現(xiàn)一種新的玻璃微加工方法。該方法能夠鉆出幾乎無錐度的細長孔，內(nèi)壁光滑，玻璃中無任何裂紋。

通常，使用標(biāo)準(zhǔn)單飛秒脈沖的激光鉆孔會產(chǎn)生長度非常有限且內(nèi)表面粗糙的錐形孔。

無需化學(xué)蝕刻

這種新的激光與物質(zhì)相互作用機制允許在一個工藝步驟中直接鉆出高深寬比的微孔，而無需任何化學(xué)蝕刻。激光脈沖串參數(shù)的選擇對于實現(xiàn)加工結(jié)構(gòu)的出色質(zhì)量非常重要。

飛秒激光GHz-burst模式可以為新的應(yīng)用鋪平道路，例如在微電子之類的應(yīng)用中，硅中介層可能會被玻璃中介層取代。

飛秒激光以千兆赫茲脈沖而不是重復(fù)的單脈沖運行，能夠與玻璃材料相互作用，結(jié)合兩者優(yōu)點：材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內(nèi)，從而產(chǎn)生高效、可控的累積狀態(tài)，而飛秒激光脈沖出色的微加工質(zhì)量得以保留。由此產(chǎn)生的自上而下的鉆孔可實現(xiàn)細長、無裂紋且內(nèi)壁光滑的孔。

審核編輯：劉清