納米位移臺在掃描系統(tǒng)中的應(yīng)用

納米位移臺的工作原理

納米位移臺主要采用超精密運動控制技術(shù)超精密技術(shù)是由光、機、電、控制軟件等多領(lǐng)域技術(shù)集成的運動控制技術(shù)。內(nèi)部由一個或多個壓電陶瓷作為驅(qū)動，其產(chǎn)生單軸或者多軸的運動；通過柔性鉸鏈技術(shù)將壓電陶瓷產(chǎn)生的運動傳遞和放大；經(jīng)超精密電容傳感器將運動信息傳遞給控制系統(tǒng)，再由控制系統(tǒng)對該運動進行修正、補償和控制；在對運動系統(tǒng)進行閉環(huán)控制時，可實現(xiàn)納米、亞納米級別的運動分辨率和運動控制精度。

納米位移臺的典型應(yīng)用

以納米運動平臺為代表的微操控系統(tǒng)日益成為諸多超精密加工/量測裝備等相關(guān)高科技產(chǎn)業(yè)及交叉學(xué)科領(lǐng)域的核心技術(shù)。納米和亞納米尺度表征/檢測和制備方法及高端科學(xué)儀器與裝備的研發(fā)，得到了世界范圍的高度關(guān)注，也是我國戰(zhàn)略層面重點支持的領(lǐng)域之一。掃描探針顯微鏡（SPM）、可溯源計量型掃描電鏡在納米材料，半導(dǎo)體研究和生物組織的微觀檢測工作中發(fā)揮著重要作用。

納米位移臺在掃描探針顯微鏡（SPM）中的應(yīng)用：

帶有柔性鉸鏈納米位移臺具有無機械摩擦、具有納米位移分辨力等優(yōu)點。柔性鉸鏈位移臺利用杠桿放大原理把壓電陶瓷堆的小位移放大數(shù)倍，實現(xiàn)數(shù)十微米以上的移動范圍。柔性鉸鏈位移臺容易集成位移傳感器，這使得在基于柔性鉸鏈位移臺的 SPM 系統(tǒng)中較容易實施非線性校正，閉環(huán)控制等算法研究。利用納米位移臺搭建了掃描探針顯微鏡( SPM) 系統(tǒng)，實現(xiàn)了大范圍掃描成像功能。

納米位移臺在可溯源計量型掃描電鏡中的應(yīng)用：

基于納米位移臺步進掃描方式的可溯源計量型掃描電鏡可直接關(guān)聯(lián)圖像掃描與激光干涉儀的位置測量，實現(xiàn)對樣品納米結(jié)構(gòu)掃描成像的量值溯源，有效避免普通掃描電鏡放大倍率波動和掃描線圈非線性特征在納米尺度測量中產(chǎn)生的誤差，從而實現(xiàn)對結(jié)構(gòu)尺寸的溯源測量。

掃描電鏡成像原理圖

計量型掃描電鏡系統(tǒng)

三英精控專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)納米位移臺，還可根據(jù)不同需求來進行定制，滿足不同應(yīng)用場合。

審核編輯黃宇