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80毫米大口徑超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡,首次成功拍攝月球表面

MEMS ? 來源:麥姆斯咨詢 ? 2023-03-21 13:50 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,美國賓夕法尼亞州立大學(xué)(Pennsylvania State University)的研究人員開發(fā)了一種超薄、緊湊的超構(gòu)透鏡(metalens)望遠(yuǎn)鏡,相關(guān)研究成果已經(jīng)發(fā)表于Nano Letters期刊。

對(duì)天文學(xué)家而言,望遠(yuǎn)鏡越大,成像能力就越強(qiáng)。賓夕法尼亞州立大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)開發(fā)了一種針對(duì)望遠(yuǎn)鏡應(yīng)用的超構(gòu)透鏡,在確保望遠(yuǎn)鏡強(qiáng)大性能的同時(shí),精簡了傳統(tǒng)望遠(yuǎn)鏡體積較大的透鏡部件,打造了第一臺(tái)超薄、緊湊的超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡,能夠?qū)υ虑虻冗b遠(yuǎn)物體進(jìn)行成像。

超構(gòu)透鏡包含微小的天線狀表面圖案,可以像傳統(tǒng)曲面玻璃透鏡一樣聚焦光線,以放大遠(yuǎn)處的物體,但它們具有平面型優(yōu)勢。盡管之前已經(jīng)開發(fā)出了毫米寬的小型超構(gòu)透鏡,但針對(duì)望遠(yuǎn)鏡等大型光學(xué)系統(tǒng),研究人員將透鏡的尺寸擴(kuò)大到了直徑80毫米。

賓夕法尼亞州立大學(xué)電子工程和計(jì)算機(jī)科學(xué)副教授、通訊作者Xingjie Ni表示:“傳統(tǒng)相機(jī)或望遠(yuǎn)鏡鏡頭的曲面厚度不同,中間凸起,邊緣較薄,這導(dǎo)致鏡頭尺寸較大且笨重。超構(gòu)透鏡采用納米結(jié)構(gòu)而不是曲率來改變光的傳播路徑,這使得它們可以扁平化?!?/p>

Ni繼續(xù)解釋稱,現(xiàn)代智能手機(jī)攝像頭從機(jī)身突出的原因之一,便是鏡頭的厚度需要占用空間。盡管它們外觀看起來是平面的,但這是因?yàn)樗鼈儗⑶嫱哥R隱藏在了玻璃窗口后面。

超構(gòu)透鏡通常使用電子束光刻技術(shù)在透明基板上制造,以形成類似天線的圖案。然而,電子束的掃描過程限制了透鏡的尺寸,因?yàn)槊總€(gè)點(diǎn)的掃描都需要時(shí)間,吞吐量低。

為了制造更大的超構(gòu)透鏡,賓夕法尼亞州立大學(xué)的研究人員采用了一種通常用于制造計(jì)算機(jī)芯片的深紫外(DUV)光刻制造方法。

高通量且高良率

“DUV光刻是一種高通量且高良率的工藝,可以在幾秒鐘內(nèi)構(gòu)建大量的計(jì)算機(jī)芯片?!盢i說,“我們發(fā)現(xiàn)這是一種很好的超構(gòu)透鏡制造方法,可以構(gòu)建更大的圖案尺寸,同時(shí)仍保持微小細(xì)節(jié),從而確保超構(gòu)透鏡的有效工作?!?/p>

研究人員用他們自己的新工藝調(diào)整了制造方法,即旋轉(zhuǎn)晶圓和拼接(stitching)。他們將制作超構(gòu)透鏡的晶圓分成四個(gè)象限,再分成22 mm x 22 mm的區(qū)域。然后,他們利用紐約康奈爾大學(xué)的DUV***,通過投影透鏡將圖案投影到一個(gè)象限上,再通過旋轉(zhuǎn)并重復(fù),直到所有四個(gè)象限都被圖案化。

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使用大口徑超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡拍攝的月球表面圖像

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用大口徑超構(gòu)透鏡拍攝的燭火

“由于超構(gòu)透鏡的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性,包含每個(gè)象限圖案數(shù)據(jù)的掩??梢灾貜?fù)使用,因此該工藝的成本效益很高?!盢i介紹說,“這降低了該方法的制造和環(huán)境成本?!?/p>

隨著超構(gòu)透鏡尺寸的增大,處理圖案所需要的數(shù)字文件變得很大,DUV***需要很長的時(shí)間才能處理。為了解決這個(gè)問題,研究人員使用數(shù)據(jù)近似并通過引用非唯一數(shù)據(jù)來對(duì)文件進(jìn)行壓縮。

通過新的制造方法,研究人員開發(fā)了一臺(tái)單超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡,并拍攝了月球表面的清晰圖像,相比過去的超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡實(shí)現(xiàn)了更高的分辨率和更遠(yuǎn)的成像距離。不過,在將這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用于現(xiàn)代相機(jī)之前,研究人員還需要進(jìn)一步解決色差問題。

論文鏈接:
https://doi.org/10.1021/acs.nanolett.2c03561

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:80毫米大口徑超構(gòu)透鏡望遠(yuǎn)鏡,首次成功拍攝月球表面

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