TUV南德與北方華創(chuàng)聯(lián)合發(fā)布《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》論文

北京2023年3月22日/美通社/ --3月8日，TUV南德意志集團(tuán)（以下簡稱"TUV南德"）大中華區(qū)工業(yè)產(chǎn)品部與北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司（以下簡稱"北方華創(chuàng)"）聯(lián)合發(fā)布的項目論文《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》被權(quán)威行業(yè)期刊《電氣防爆》采納，并錄入中國核心期刊（遴選）數(shù)據(jù)庫。TUV南德大中華區(qū)防爆服務(wù)部高級經(jīng)理Ing. Kristof De Gersem先生作為TUV南德代表參與了論文的審核等工作。

《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》該篇論文旨在判定半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中關(guān)于氫氦和混合氣體的爆炸性風(fēng)險，對芯片生產(chǎn)過程中使用的指定比例的氫氦混合物運用多種理論上的計算和分析，最后設(shè)計出一組實驗裝置來驗證分析結(jié)果，也為半導(dǎo)體氣體惰化過程工藝提供理論和試驗參考。北方華創(chuàng)作為半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，曾在SEMI S2等認(rèn)證項目中與TUV南德有過深入合作。TUV南德作為歐盟ATEX防爆指令的指定機(jī)構(gòu)之一，深耕市場多年，積累了的豐富的經(jīng)驗。此次參與北方華創(chuàng)的氫氦工藝氣體爆炸性課題的研究與實驗設(shè)計，體現(xiàn)了TUV南德本地專家在防爆領(lǐng)域的專業(yè)性。

TUV南德始終認(rèn)為基礎(chǔ)性研究并非只是半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)方的工作，作為全球知名第三方安全認(rèn)證服務(wù)機(jī)構(gòu)也有責(zé)任和義務(wù)為半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展做出應(yīng)有的貢獻(xiàn)。Ing. Kristof De Gersem表示，"TUV南德很榮幸能攜手本土半導(dǎo)體企業(yè)不斷探索，雙方充分發(fā)揮各自在行業(yè)、資源、技術(shù)人員等方面優(yōu)勢，深入進(jìn)取，為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)綿薄之力。"

審核編輯黃宇