陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)3月30日在西安全面啟用。該平臺(tái)具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝,將為光子產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等全流程技術(shù)服務(wù),為光子產(chǎn)業(yè)各類(lèi)創(chuàng)新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化批量供貨的完整鏈條。
該平臺(tái)的啟用,標(biāo)志著陜西向打造具有全球影響力的光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)高地的戰(zhàn)略目標(biāo)又邁出了堅(jiān)實(shí)的一步,將吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西,培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競(jìng)爭(zhēng)力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè),推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)向集群化、規(guī)模化、高產(chǎn)值化發(fā)展。
實(shí)現(xiàn)光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)聚集
記者從陜西光電子先導(dǎo)院了解到,先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)占地30畝,建有中試車(chē)間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)和中試配套設(shè)施,總建筑面積約30000平方米,潔凈廠(chǎng)房3000平方米,一期專(zhuān)業(yè)設(shè)備100余臺(tái)(套),具備以GaAs(砷化鎵)、GaN(氮化鎵)為主線(xiàn),圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺(tái),以技術(shù)服務(wù)與工程代工相結(jié)合的形式,為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等全流程技術(shù)服務(wù)。
同時(shí),先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)__將有效解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長(zhǎng)與制程等關(guān)鍵問(wèn)題__,為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務(wù)。
先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)通過(guò)與創(chuàng)新企業(yè)持續(xù)進(jìn)行聯(lián)合研發(fā),光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝技術(shù)不斷攻克,平臺(tái)軟硬件建設(shè)已不斷完善,將持續(xù)助力光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)聚集。
成功破解光子企業(yè)“兩難”困境
作為“追光計(jì)劃”與“秦創(chuàng)原”成果轉(zhuǎn)化及展示平臺(tái),陜西光電子先導(dǎo)院積極發(fā)揮陜西光子產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”企業(yè)作用,通過(guò)稀缺平臺(tái)資源+專(zhuān)業(yè)技術(shù)服務(wù),為解決實(shí)驗(yàn)室無(wú)法工程化創(chuàng)新成果,而成熟芯片代工廠(chǎng)又難以承接小量創(chuàng)新產(chǎn)品產(chǎn)出的兩難局面,實(shí)現(xiàn)了有效的工程化銜接。
2014年,賽富樂(lè)斯半導(dǎo)體科技有限公司研發(fā)出半極性氮化鎵材料,并耗時(shí)三年走到量產(chǎn)階段。然而,生產(chǎn)所需MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)外延爐設(shè)備一臺(tái)就要耗資上千萬(wàn),一條光電子芯片產(chǎn)線(xiàn)造價(jià)數(shù)以?xún)|計(jì),這對(duì)于這家?guī)缀鯖](méi)有營(yíng)收的初創(chuàng)企業(yè)來(lái)說(shuō)是簡(jiǎn)直是天文數(shù)字。2016年底,陜西光電子先導(dǎo)院主動(dòng)提出讓賽富樂(lè)斯按租用的方式使用設(shè)備,企業(yè)創(chuàng)始人陳辰來(lái)到西安實(shí)地參觀(guān)完生產(chǎn)線(xiàn)后,馬上決定將公司落戶(hù)西安。2017年,賽富樂(lè)斯正式上線(xiàn)4英寸半極性氮化鎵材料,并從 2018年3月開(kāi)始規(guī)模生產(chǎn)及銷(xiāo)售,良率達(dá)到95%以上, 成為全球首家能夠量產(chǎn)工業(yè)級(jí)半極性氮化鎵材料的企業(yè) 。
目前,陜西光電子先導(dǎo)院已培育和聚集了近百家光子產(chǎn)業(yè)企業(yè),入駐光電子領(lǐng)域企業(yè)30余家,其中一半以上為海歸高端創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì),例如耶魯大學(xué)團(tuán)隊(duì)、龔平博士團(tuán)隊(duì)、張文偉博士團(tuán)隊(duì)、程?hào)|博士團(tuán)隊(duì)等,成為光子領(lǐng)域一流的創(chuàng)新生態(tài)和創(chuàng)新高地,在全球光子產(chǎn)業(yè)中與國(guó)外保持同步,初步搶占了光子產(chǎn)業(yè)“窗口期紅利”。
助力陜西搶占“光”先機(jī)
21 世紀(jì)被認(rèn)為是“光子時(shí)代”。當(dāng)前,全球 IT 產(chǎn)業(yè)正處在“從電子到光子”的世代轉(zhuǎn)換過(guò)程中,光子產(chǎn)業(yè)有望成為 21世紀(jì)最具戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性的新興產(chǎn)業(yè)。
陜西在光子產(chǎn)業(yè)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)。一方面,陜西擁有中科院西安光機(jī)所、西電、西工大等一批光子學(xué)科齊全、特色鮮明的大院大所和高校,科研成果豐厚。另一方面,陜西光子產(chǎn)業(yè)集群已初具規(guī)模,初步形成了光子制造、光子信息、光子傳感等產(chǎn)業(yè)集群。同時(shí)陜西在光子技術(shù)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域有著深厚的科研基礎(chǔ),高折射率硅光芯片、微納光波導(dǎo)、光柵耦合器和VCSEL(垂直腔面發(fā)射激光器)激光器、半極性GaN(氮化鎵)光電芯片襯底材料等方面處于行業(yè)領(lǐng)先水平。在世界新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革同我國(guó)轉(zhuǎn)變發(fā)展方式的歷史性交匯關(guān)鍵時(shí)期,為贏得先機(jī),陜西推動(dòng)實(shí)施了“追光計(jì)劃”,搶抓光子產(chǎn)業(yè)高速增長(zhǎng)的戰(zhàn)略機(jī)遇。
2015年10月,陜西省科技廳、西安高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)與中國(guó)科學(xué)院西安光機(jī)所聯(lián)合發(fā)起成立了陜西光電子先導(dǎo)院。陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)作為陜西省2022年重點(diǎn)建設(shè)工程,項(xiàng)目?jī)H用6個(gè)月就完成主體封頂,12個(gè)月完成了機(jī)電工程,14個(gè)月完成核心設(shè)備搬入,16個(gè)月就實(shí)現(xiàn)平臺(tái)的正式啟用,展現(xiàn)了 “追光速度”和“高新效率”。
未來(lái),陜西光電子先導(dǎo)院將立足光子制造、光子材料與芯片、光子傳感三大重點(diǎn)領(lǐng)域,緊密融合秦創(chuàng)原創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)平臺(tái),在加快統(tǒng)籌謀劃“追光計(jì)劃”的過(guò)程中,積極探索光子領(lǐng)域“新型舉國(guó)體制”的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),引領(lǐng)光電行業(yè)發(fā)展,擁抱“光子時(shí)代”。
中國(guó)科學(xué)院西安分院院長(zhǎng)趙衛(wèi)表示: “希望陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)啟用后,能夠吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西,攻關(guān)一批引領(lǐng)未來(lái)的關(guān)鍵核心技術(shù),培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競(jìng)爭(zhēng)力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè),推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步向集群化、規(guī)模化發(fā)展。”
審核編輯 黃宇
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