來源:《半導(dǎo)體芯科技》雜志
陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺在西安全面啟用。該平臺具備光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝,將為光子產(chǎn)業(yè)項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù),為光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場化批量供貨的完整鏈條。
據(jù)了解,先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺占地30畝,建有中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發(fā)和中試配套設(shè)施,總建筑面積約30000平方米,潔凈廠房3000平方米,一期專業(yè)設(shè)備100余臺(套),具備以GaAs(砷化鎵)、GaN(氮化鎵)為主線,圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺,以技術(shù)服務(wù)與工程代工相結(jié)合的形式,為光子產(chǎn)業(yè)孵化項目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測等全流程技術(shù)服務(wù)。
此外,該創(chuàng)新平臺將有效解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片制造的外延生長與制程等關(guān)鍵問題,為光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計企業(yè)、高校、科研院所提供外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等芯片制造全流程服務(wù)。
光電子先導(dǎo)院稱,該平臺的啟用標(biāo)志著陜西向打造具有全球影響力的光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)高地的戰(zhàn)略目標(biāo)又邁出了堅實的一步,將吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西,培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢和全球競爭力的光子產(chǎn)業(yè)企業(yè),推動光子產(chǎn)業(yè)向集群化、規(guī)?;?、高產(chǎn)值化發(fā)展。目前,陜西光電子先導(dǎo)院已培育和聚集了近百家光子產(chǎn)業(yè)企業(yè),入駐光電子領(lǐng)域企業(yè)30余家。
審核編輯:湯梓紅
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