白光干涉儀有哪些功能？能做什么？

通過(guò)之前的文章，

相信大家已初步了解白光干涉儀原理和優(yōu)勢(shì)。

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那白光干涉儀能做什么？

今天小優(yōu)博士帶大家了解白光干涉儀的幾個(gè)經(jīng)典用途。

一、超精細(xì)粗糙度測(cè)量

（例1）玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測(cè)量 · 優(yōu)可測(cè)白光干涉儀 NA-500拍攝

二、臺(tái)階高度

（例2）掩模版臺(tái)階高度測(cè)量· 優(yōu)可測(cè) 白光干涉儀 EX-230 拍攝

三、形貌觀察&測(cè)量

（例3-1）菲涅爾膜形貌測(cè)量· 優(yōu)可測(cè) 白光干涉儀 EX230 拍攝

（例3-2）金屬表面研磨后形貌觀察&測(cè)量 · 優(yōu)可測(cè) 白光干涉儀 EX230 拍攝

四、不同條件下實(shí)驗(yàn)形貌比對(duì)&測(cè)量

（例4）化工材料不同濃度液滴后形貌分析· 優(yōu)可測(cè) 白光干涉儀 ER230 拍攝

五、“快速掃描”特性可配合機(jī)械手、

集成自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行在線測(cè)量

審核編輯黃宇