激光驅(qū)動(dòng)白光光源（LDLS）基礎(chǔ)知識(shí)以及應(yīng)用介紹

LDLS光源輸出大量深紫外光，200nm以下的深紫外光會(huì)使氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧，同時(shí)臭氧會(huì)吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用時(shí)需要充入純凈氮?dú)?。同時(shí)，充入氮?dú)庖部梢苑乐篃襞荼豢諝庵杏袡C(jī)蒸汽污染。為了保證光學(xué)器件的潔凈，氮?dú)庑枰獫M足6級(jí)潔凈度，充入氮?dú)獾臍鈮盒枰３衷?.14 MPa。

Q：光源對(duì)環(huán)境的要求是什么？高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少？

光源對(duì)環(huán)境的要求：為了防止光源光窗和其他光學(xué)器件的污染，需要將光源在相對(duì)潔凈的環(huán)境中使用。光源需要向外部散發(fā)熱量，需要將光源放置在散熱良好的空間中。

高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少：請(qǐng)參照EQ-99XFC的穩(wěn)定性測(cè)試情況。

Q：光束特性是什么，是準(zhǔn)直光么，發(fā)散角是多少？

EQ-99X是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.47；

EQ-77是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.5；

EQ-400是自由空間輸出的點(diǎn)光源，NA=0.5；

EQ-99XFC是光纖輸出，NA=0.22。

Q：發(fā)光器件是耗材么，后期需要怎么維護(hù)？

我們推薦每9千小時(shí)進(jìn)行一次燈泡更換，燈泡更換需要返廠，更換完成后會(huì)重新老化校準(zhǔn)保留測(cè)試數(shù)據(jù)。

Q：紫外波段使用時(shí)高純度氮?dú)饬髁?slm，消耗量非常大，是否可能封閉燈室減少氮?dú)庥昧浚?/strong>