紅外相機(jī)InGaAs在光波導(dǎo)方向的應(yīng)用案例介紹。
案例介紹
推薦相機(jī)
案例:波導(dǎo)耦合
InGaAs相機(jī)
案例:光纖波導(dǎo)耦合對(duì)準(zhǔn)
InGaAs相機(jī)
案例:硅波導(dǎo)損耗分析
InGaAs相機(jī)
案例:波導(dǎo)耦合
關(guān)鍵詞:光纖輸出
使用1550 nm紅外激光光纖輸出后,耦合進(jìn)芯片上的波導(dǎo),光波導(dǎo)上有環(huán)形光柵,一部分激光進(jìn)入環(huán)形光柵,實(shí)驗(yàn)理想的結(jié)果是環(huán)形光柵部分亮度高,同時(shí)波導(dǎo)后端沒(méi)有光,實(shí)驗(yàn)中使用紅外相機(jī)觀察波導(dǎo)上環(huán)形光柵的結(jié)構(gòu)。相機(jī)前端使用了40倍的物鏡,以下圖片為實(shí)驗(yàn)部分結(jié)構(gòu)及環(huán)形光柵圖片。
案例:光纖波導(dǎo)耦合對(duì)準(zhǔn)
關(guān)鍵詞:C12741-03
配套客戶量子電壓與量子霍爾電阻原級(jí)技術(shù)裝備,為硅基微環(huán)光子溫度計(jì)中的光纖波導(dǎo)耦合對(duì)準(zhǔn)用途 通過(guò)紅外圖像,找到間斷三角,進(jìn)而做對(duì)準(zhǔn)。(此圖為C14041-10U拍攝,如用高分辨率版C12741-03效果更佳)
案例:硅波導(dǎo)損耗分析
關(guān)鍵詞:C12741-03
拍攝條件: 曝光時(shí)間1 ms、顯微鏡物鏡Olympus UPlanFLN 40x/0.75
硅光波導(dǎo)的損耗主要來(lái)源于散射,對(duì)通光的硅波導(dǎo)進(jìn)行近場(chǎng)成像可以觀察其散射情況,利用InGaAs紅外相機(jī)良好的線性度,可以通過(guò)讀取圖像灰度得到光在波導(dǎo)不同地方的散射強(qiáng)度,從而計(jì)算出單位長(zhǎng)度的波導(dǎo)損耗。這種方法還可以對(duì)光子芯片進(jìn)行無(wú)損壞分析、查找缺陷等。
審核編輯黃宇
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