光譜共焦位移傳感器——多層玻璃厚度檢測應(yīng)用方案

隨著大量自動化智能化技術(shù)應(yīng)用遍地開花，自動化設(shè)備朝著更高品質(zhì)、更高效節(jié)能、更環(huán)保低成本的方向發(fā)展。

在3C消費品、半導體的制造過程中，產(chǎn)品通常會包含多層復合材料，需要分別檢測其厚度或有無。海伯森HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器采用同軸測量結(jié)構(gòu)的傳感頭，僅一次測量即可獲得透明物體（玻璃、薄膜、UV膠等）的表面高度及厚度，獲得微米級別的測量精度，解決了普通激光位移傳感器在測量透明材質(zhì)時，容易因上下高度不同而導致位置偏移。

光譜共焦位移檢測技術(shù)是利用光的波長信息測量距離的，由光源射出一束寬光譜的復色光（呈白色），通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應(yīng)一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長，換算獲得距離值。

海伯森HPS-CF系列光譜共焦位移傳感器，是一款精度可達100納米級的非接觸式位移傳感器，可穩(wěn)定測量金屬/陶瓷/鏡面/玻璃/薄膜等各種材料，精度高，而且對被測物體表面的顏色和光潔度也沒有任何特殊要求，無論是什么顏色，無論是哪一種工作形貌（深孔/斜面/弧面等），HPS-CF4000光譜共焦位移傳感器都可以輕松測量。同時，一個控制器最多支持四個傳感頭同步測量，檢測速度快，適應(yīng)于高溫高壓等嚴苛的操作環(huán)境。

光譜共焦位移傳感器搭載的傳感頭有良好的角度特性，可實現(xiàn)鏡面表面±62°的測量角度，漫反射表面最大測量角度可達±88°，且在量程范圍內(nèi)可以測得多層玻璃的多個峰值，從而得到第一片玻璃的厚度、第二片玻璃的厚度、以及兩片玻璃之間的空隙。HPS-CF4000光譜共焦位移傳感器測量速度可達6.3k/s，為了滿足超高速測量場合的要求，海伯森還推出了業(yè)界最快速度的控制器HPS-CF1000，可實現(xiàn)每秒72000次的超高速測量。

審核編輯黃宇