制作一顆“芯片”需要多少種設(shè)備？陸芯半導(dǎo)體劃片機(jī)

制造芯片

制作芯片的機(jī)器叫什么呢，其實(shí)制作芯片有一個(gè)復(fù)制的生產(chǎn)流程，各個(gè)流程中都有相應(yīng)的設(shè)計(jì)與制造裝備，即使同一流程也有不同的工藝與相應(yīng)的機(jī)器。比如集成電路的設(shè)計(jì)、布線要用到EDA（Electronic design automation 電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化）軟件，這當(dāng)然要用到電腦了，而這僅僅是最初的一步之一。下面介紹偏向生產(chǎn)制造芯片用到的機(jī)器。

1、光刻機(jī)

在加工芯片的過(guò)程中，光刻機(jī)通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過(guò)畫(huà)著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。

2、等離子刻蝕機(jī)

是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。

3、離子注入機(jī)

離子注入機(jī)是高壓小型加速器中的一種。它是由離子源得到所需要的離子，經(jīng)過(guò)加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

4、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)是一種各向異性很強(qiáng)、選擇性高的干法腐蝕技術(shù)。它是在真空系統(tǒng)中利用分子氣體等離子來(lái)進(jìn)行刻蝕的，利用了離子誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，即是利用離子能量來(lái)使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。

5、單晶爐

單晶爐是一種在惰性氣體（氮?dú)狻⒑鉃橹鳎┉h(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

6、晶圓劃片機(jī)

晶圓劃片機(jī)主要功能：把晶圓，切割成小片。

7、晶片減薄機(jī)

通常在集成電路封裝前，需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度。這一工藝過(guò)程稱之為晶片背面減薄工藝，對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。

8、氣相外延爐

氣相外延是一種單晶薄層生長(zhǎng)方法。是化學(xué)氣相沉積的一種特殊方式，其生長(zhǎng)薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù)，而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系。

寫在最后

制造芯片有一個(gè)復(fù)雜的流程，非單一設(shè)備完成。單獨(dú)一個(gè)制作流程，也可能有不同的生產(chǎn)工藝，用到不同的機(jī)器。