北成新控丨哈默納科Harmonic執(zhí)行器在半導(dǎo)體CMP設(shè)備中的應(yīng)用

SHA、FHA、RSF系列執(zhí)行器是日本Harmonic公司的一款諧波減速機(jī)和伺服電機(jī)一體化的產(chǎn)品。HMA是大中空直驅(qū)力矩電機(jī)產(chǎn)品。

SHA系列執(zhí)行器有6種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩為3419Nm,減速比范圍11~161，單向定位精度≤30arcsec（1:80以上速比）。

FHA-C系列執(zhí)行器4種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩達(dá)820Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤30arcsec。

RSF系列執(zhí)行器4種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩達(dá)330Nm，減速比范圍50~100，單向定位精度≤90arcsec。

HMA系列直驅(qū)電機(jī)5種尺寸可選，最大輸出轉(zhuǎn)矩33Nm，最高轉(zhuǎn)速6000rpm，中空直徑最大60mm，標(biāo)配絕對(duì)值編碼器單圈17位多圈計(jì)數(shù)16位。

北方某客戶在CMP設(shè)備使用了SHA、RSF、HMA和FHA系列產(chǎn)品：

1、 轉(zhuǎn)臺(tái)：負(fù)載220kg，直徑1600mm，交流伺服電機(jī)+行星減速機(jī)無法滿足安裝空間和精度要求，選用了SHA65A產(chǎn)品，減速比為1:161，輸出轉(zhuǎn)矩為3419Nm，滿足了晶片轉(zhuǎn)臺(tái)大慣量匹配及快速定位需求，中空結(jié)構(gòu)可放置氣管和線纜，扁平機(jī)身降低安裝空間和設(shè)備重心；

2、 磨頭：選用了RSF-32A產(chǎn)品，集成高分辨率編碼器和1:50減速機(jī)，使輸出端轉(zhuǎn)速波動(dòng)小，運(yùn)行平穩(wěn)，提高了研磨精度；

3、 清洗甩干：選用了HMAB12產(chǎn)品，最高輸出轉(zhuǎn)速4800rpm，中空法蘭輸出結(jié)構(gòu)便于晶片吸取，大扭矩高慣量使甩干速度運(yùn)行平穩(wěn)。

4、 FHA-40C產(chǎn)品應(yīng)用于清洗的提拉翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，減速比為1：100，輸出轉(zhuǎn)矩為690Nm，小體積高功率密度降低安裝空間需求。

驅(qū)動(dòng)器選用了Copley公司的XEL-230-18，通過EtherCAT總線接入倍福控制器。

Harmonic執(zhí)行器產(chǎn)品的應(yīng)用，很好的滿足了客戶對(duì)于提高控制精度，高速定位，緊湊安裝空間的需求。

北京北成新控伺服技術(shù)有限公司是集工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品的銷售、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、開發(fā)、服務(wù)于一體的高新技術(shù)公司。自2005年1月成立以來，公司一直秉承著用戶至上，持續(xù)創(chuàng)新，銳意進(jìn)取，穩(wěn)健經(jīng)營的理念，經(jīng)過不斷地發(fā)展，我們不僅能為客戶提供技術(shù)先進(jìn)、品質(zhì)可靠、性能卓越的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品，更可憑借經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，提供專業(yè)的定制化解決方案。 本公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、智能倉儲(chǔ)、生物醫(yī)藥、高端裝備制造等行業(yè)。