半導(dǎo)體制造會(huì)被日本斷血嗎？

日本在半導(dǎo)體界一直以設(shè)備和材料笑傲群雄，2019年一則禁令一度扼住韓國(guó)半導(dǎo)體喉嚨，涉及材料包括高純氟化氫、氟聚酰亞胺、感光劑光刻膠，直到幾個(gè)月前，受傷的雙方才握手言和。

高純氟化氫憑什么與光刻膠并列在一起？它是一種濕電子化學(xué)品（Wet Chemicals），與電子氣體相似，作為半導(dǎo)體產(chǎn)品的“血液”，沒(méi)有它，芯片將無(wú)法生產(chǎn)。

關(guān)注濕電子化學(xué)品。在本文中，你將了解到：哪些濕電子化學(xué)品會(huì)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，有什么特殊要求，國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀以及國(guó)內(nèi)發(fā)展的前路。

1/液中貴族，全身都是壁壘、

行業(yè)中，濕電子化學(xué)品有多種稱(chēng)呼，國(guó)際上它被稱(chēng)為工藝化學(xué)品（Process Chemicals），國(guó)內(nèi)則稱(chēng)其為“電子級(jí)試劑”“超凈高純化學(xué)試劑”等。

晶圓制造材料里，14%都花費(fèi)在濕電子化學(xué)品上[1]，用于芯片的清洗、腐蝕及晶圓的清洗等，它決定著最終的成品率、電性能和可靠性。[2] 比如說(shuō)，光刻工藝結(jié)束后，刻蝕工藝就需要使用特定的刻蝕液與薄膜發(fā)生化學(xué)反應(yīng)；刻蝕后，需要通過(guò)剝離液溶解未曝光部分的光刻膠；整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中，難免會(huì)沾染灰塵、顆粒、金屬或離子導(dǎo)電污染物，清洗液便能去除這些雜質(zhì)；金屬化工藝中，銅電鍍液是銅互連工藝不可缺少的化學(xué)品。

除了集成電路，平板顯示、太陽(yáng)能電池也離不開(kāi)濕電子化學(xué)品，由于其自身功能性強(qiáng)、附加值高，擁有傳導(dǎo)到終端整機(jī)產(chǎn)品性能的能力，所以行業(yè)也普遍認(rèn)為濕電子化學(xué)品是撬動(dòng)產(chǎn)業(yè)的重要杠桿。



材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐[3] 嚴(yán)格來(lái)說(shuō)，只要是在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的液體、糊狀物、粘稠物，都算濕電子化學(xué)品，不過(guò)行業(yè)所說(shuō)的濕電子化學(xué)品一般特指超高純?cè)噭?

芯片制造容不下任何一粒沙，濕電子化學(xué)品中的金屬離子和硼、硅、砷、磷、硫、氯及有機(jī)碳等非金屬離子雜質(zhì)也會(huì)直接影響芯片的3D結(jié)構(gòu)。[4]



雜質(zhì)對(duì)集成電路的危害[5] 用在半導(dǎo)體行業(yè)中的濕化學(xué)品號(hào)稱(chēng)化工中的貴族，純度要求是最高的。

在純度方面，全球均執(zhí)行SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，根據(jù)金屬雜質(zhì)、控制粒徑、顆粒數(shù)、IC線(xiàn)寬分為五個(gè)等級(jí)，G5是最高等級(jí)，不同分級(jí)適用于不同應(yīng)用。其中，太陽(yáng)能光伏一般只需G1水平，顯示面板和LED一般為G2~G3水平，半導(dǎo)體則對(duì)應(yīng)G4~G5，技術(shù)壁壘最高。



濕電子化學(xué)品SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)[6] 集成電路用濕電子化學(xué)品品種繁多，按成分和工藝，可分為通用濕化學(xué)品和功能性濕化學(xué)品兩大類(lèi)：

通用濕電子化學(xué)品是制造工藝中被大量使用的液體化學(xué)品，一般為單成份、單功能化學(xué)品，如氫氟酸、硫酸、硝酸、磷酸、鹽酸、過(guò)氧化氫、氫氧化鈉、氫氧化鉀等；

功能濕電子化學(xué)品是滿(mǎn)足制造特殊工藝需求的復(fù)配類(lèi)化學(xué)品，如顯影液、剝離液、蝕刻液、稀釋液、清洗液等，涉及光刻、刻蝕、離子注入、CMP等工藝。[6]

濕電子化學(xué)品的分類(lèi)與具體產(chǎn)品，制表丨果殼硬科技 參考資料丨格林達(dá)招股書(shū)[6]，晶瑞電材2022年報(bào)[7]

具體而言，通用化學(xué)品中硫酸、氫氟酸、硝酸、磷酸、鹽酸、雙氧水、氨水、異丙醇消耗量尤為巨大，功能性化學(xué)品中稀釋液、顯影液、刻蝕液、剝離液、緩沖氧化物蝕刻劑（BOE）、清洗液、電鍍液的消耗量隨工藝復(fù)雜化而增加。

對(duì)芯片來(lái)說(shuō)，制程工藝越先進(jìn)，濕電子化學(xué)品使用量就越大。SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，從28nm到5nm總工藝步驟將由400次增加至1200以上，進(jìn)一步帶動(dòng)濕電子化學(xué)品用量提升。[3]



部分常用電子級(jí)化學(xué)品用途，制表丨果殼硬科技 參考資料丨《微納電子與智能制造》[8]《上海化工》[9]，中金公司[10] 當(dāng)然，不光液體本身要純凈，在包裝、運(yùn)輸及使用過(guò)程中，都要足夠潔凈，可以說(shuō)，濕電子化學(xué)品每個(gè)環(huán)節(jié)都存在技術(shù)壁壘：

原料除雜：原料是制備高純濕電子化學(xué)品的關(guān)鍵，在高效除雜方面，除雜劑的選擇、工藝參數(shù)的完善、除雜體系的優(yōu)化等均需投入；[11]

提純：濕電子化學(xué)品的純化重點(diǎn)不在含量，而在去除有害金屬離子含量和顆粒含量，純化方法主要包括蒸餾和精密分餾、離子交換、分子篩分離、氣體吸收和超凈過(guò)濾5種方法，幾種提純技術(shù)各有所長(zhǎng)；[9]

混配：配比和配方是關(guān)鍵，就像調(diào)配調(diào)料一樣，不僅要經(jīng)驗(yàn)豐富，還要合乎口味偏好，此外，調(diào)配工藝過(guò)程溫度、壓力、流量、配比、排氣量等指標(biāo)都與調(diào)配結(jié)果息息相關(guān)；

副產(chǎn)物應(yīng)用：大多濕電子化學(xué)品生產(chǎn)過(guò)程中都存在大量副產(chǎn)物，比如電子級(jí)氫氟酸除雜過(guò)程中副產(chǎn)的氟硅酸鋇，在經(jīng)過(guò)多次洗滌干燥后可直接外售，因此副產(chǎn)物梯級(jí)利用開(kāi)發(fā)是生產(chǎn)企業(yè)的重點(diǎn)；

檢測(cè)：制造芯片過(guò)程中，濕電子化學(xué)品污染情況決定著企業(yè)的生命線(xiàn)，隨著芯片步入納米級(jí)，對(duì)金屬及非金屬雜質(zhì)含量要求已達(dá)到10-12數(shù)量級(jí)，過(guò)去傳統(tǒng)的GF-AAS、ICP-OES痕量元素檢測(cè)方法已被淘汰，現(xiàn)在常用分析測(cè)試手段是ICP-MS、ICP-MS/MS離子色譜法，目前國(guó)外分析系統(tǒng)包括美國(guó)的ESI、日本的IAS、中國(guó)臺(tái)灣的金兆益，國(guó)內(nèi)則包括中國(guó)杭州譜育科技等；

包裝運(yùn)輸：濕電子化學(xué)品大多屬易燃、易爆、強(qiáng)腐蝕的危險(xiǎn)品，運(yùn)輸過(guò)程中既不能泄露，也不能污染，目前最廣泛使用的包裝材料是高密度聚乙烯（HDPE）、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）、聚四氟乙烯（PTFE），對(duì)于不同化學(xué)品包裝要求也各不相同；

回收：芯片生產(chǎn)中，廢液排放量非常驚人，這些廢液多數(shù)具備生物毒性，且污染環(huán)境，回收不僅具備環(huán)保意義，還能夠減少企業(yè)化學(xué)品消耗量。迄今為止，濕電子化學(xué)品大多用于清洗和干燥，使用后雜質(zhì)含量并不多，且大多雜質(zhì)種類(lèi)已知，定向去除雜質(zhì)便可重復(fù)利用，減少企業(yè)開(kāi)銷(xiāo)。[8]

2/從國(guó)產(chǎn)替代奔小康

集成電路用濕電子化學(xué)品客戶(hù)較專(zhuān)，但也具備一定市場(chǎng)規(guī)模。綜合中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)、TECHCET數(shù)據(jù)，2022年~2025年全球集成電路用濕化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模將從56.90億美元增長(zhǎng)至63.81億美元，受下游芯片需求量減少影響，2023年全球市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)51億美元，同比略微下降，其中，其中中國(guó)總體市場(chǎng)規(guī)模將在2025年增長(zhǎng)至10.27億美元。[3][12] 從關(guān)鍵品類(lèi)化學(xué)來(lái)講，硫酸、過(guò)氧化氫、Cu PERR（蝕刻后清洗劑）、CMP拋光液是2023年全球濕電子化學(xué)品使用量前四，分別占比23%、20%、14%、14%，其次是氨水、磷酸、AI PERR（蝕刻后清洗劑）、氫氟酸、異丙醇、鹽酸、硝酸。



濕電子化學(xué)品細(xì)分產(chǎn)品市場(chǎng)[12] 一代產(chǎn)品，一代材料，濕電子化學(xué)品技術(shù)門(mén)檻高、投入大、更新?lián)Q代快，加之中國(guó)起步比國(guó)外晚幾十年，想在市場(chǎng)上競(jìng)爭(zhēng)并不容易。

目前，歐、美、日、韓大廠(chǎng)商占據(jù)全球濕電子化學(xué)品70%以上市場(chǎng)規(guī)模，格局相對(duì)穩(wěn)定。數(shù)據(jù)顯示，歐美約占全球32%市場(chǎng)份額，日本占29%全球市場(chǎng)份額，中國(guó)大陸則僅占12%。[13]

具體到產(chǎn)品方面，國(guó)產(chǎn)主要集中在太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域的低端產(chǎn)品，技術(shù)門(mén)檻低，競(jìng)爭(zhēng)激烈；中端的平板顯示及半導(dǎo)體產(chǎn)品中韓相互競(jìng)爭(zhēng)；高端產(chǎn)品則由德國(guó)、美國(guó)和日本主導(dǎo)。[14]



2021年全球濕化學(xué)品市場(chǎng)格局（按銷(xiāo)售額計(jì)）[13] 歐美老牌化工企業(yè)產(chǎn)品等級(jí)普遍在G4以上，與半導(dǎo)體芯片制造業(yè)發(fā)展幾乎保持同一步調(diào)，代表企業(yè)包括德國(guó)巴斯夫（Basf）、德國(guó)默克（E.Merck）、美國(guó)亞什蘭（Ashland）、美國(guó)Arch化學(xué)品、美國(guó)霍尼韋爾（Honeywell）、美國(guó)Mallinckradt Baker、美國(guó)Avantor Performance Materials、美國(guó)ATMI等。[15] 日本產(chǎn)業(yè)發(fā)展雖晚于歐美，但發(fā)展速度快，目前工藝技術(shù)水平基本與歐美企業(yè)持平，代表企業(yè)包括關(guān)東化學(xué)、三菱化學(xué)、京都化工、日本合成橡膠、住友化學(xué)、和光純藥工業(yè) (Wako) 、宇部興產(chǎn)（UBE）、Stella-Chemifa等。[5] 韓國(guó)和中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)濕電子化學(xué)品也在高速發(fā)展，其生產(chǎn)技術(shù)和工藝水平已可在高端領(lǐng)域與歐美和日本相競(jìng)爭(zhēng)，代表企業(yè)包括韓國(guó)東友精細(xì)化工、韓國(guó)東進(jìn)世美肯、中國(guó)臺(tái)灣東應(yīng)化、中國(guó)臺(tái)灣聯(lián)仕電子化學(xué)、鑫林科技等。



國(guó)際濕電子化學(xué)品代表企業(yè)[6] 我國(guó)濕電子化學(xué)品已取得一定突破，在通用化學(xué)品上初步形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，但在超高純凈試劑上，無(wú)論是質(zhì)量，還是數(shù)量都難以滿(mǎn)足電子工業(yè)需求。2019年中國(guó)大陸企業(yè)在超凈高純化學(xué)品市場(chǎng)供應(yīng)上僅占中國(guó)市場(chǎng)的9%。[16] 數(shù)據(jù)顯示，2022年我國(guó)濕電子化學(xué)品整體需求量增長(zhǎng)至261.69萬(wàn)噸，去年則為213.52萬(wàn)噸，預(yù)計(jì)2023年需求量將達(dá)到307.03萬(wàn)噸。其中集成電路、顯示面板、光伏行業(yè)需求分別為96.59萬(wàn)噸、116.6萬(wàn)噸、93.84萬(wàn)噸。預(yù)計(jì)至2025年，國(guó)內(nèi)需求總量可增加至370萬(wàn)噸，其中集成電路、顯示面板、光伏行業(yè)需求量分別為106.94萬(wàn)噸、149.5萬(wàn)噸、113.12萬(wàn)噸。[7] 需求量與市場(chǎng)并非對(duì)等，越高端的產(chǎn)品價(jià)值才越高。2021年，中國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)規(guī)模為137.8億元，其中集成電路、顯示面板、光伏行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模分別為52億元、62億元和17億元，占比分別為40%、47%和13%，預(yù)計(jì)2022年~2028年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)?？蓮?63.9億元增長(zhǎng)至301.7億元。[7]



我國(guó)三大應(yīng)用市場(chǎng)對(duì)濕電子化學(xué)品需求規(guī)模情況[13] 目前，我國(guó)濕電子化學(xué)品領(lǐng)域整體國(guó)產(chǎn)化率約為35%，集成電路用濕電子化學(xué)品國(guó)產(chǎn)化率約為23%。其中，高端半導(dǎo)體所需氫氟酸國(guó)產(chǎn)率約為30%、硝酸國(guó)產(chǎn)率約為50%、鹽酸國(guó)產(chǎn)率約為20%、硫酸國(guó)產(chǎn)率約為10%、氨水國(guó)產(chǎn)率約為40%、過(guò)氧化氫國(guó)產(chǎn)率約為70%[11]，NMP、四甲基氫氧化銨等產(chǎn)品在高端領(lǐng)域的應(yīng)用則仍是空白。[17] 話(huà)雖如此，我國(guó)進(jìn)步非常迅速，目前已實(shí)現(xiàn)集成電路、平板顯示、太陽(yáng)能電池全線(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代，換句話(huà)說(shuō)就是每個(gè)領(lǐng)域都至少有產(chǎn)品可用。

迄今為止，國(guó)內(nèi)從事濕化學(xué)品研究生產(chǎn)的企業(yè)已有40多家，并分為濕電子化學(xué)品專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商、電子材料平臺(tái)型企業(yè)和大型化工企業(yè)三類(lèi)[18]。包括江陰江化微、江陰潤(rùn)瑪電子、江蘇艾森、浙江凱盛氟、晶瑞電子、杭州格林達(dá)、湖北興福電子、中巨芯科技、多氟多、安集微、上海新陽(yáng)、滄州信聯(lián)、無(wú)錫三開(kāi)、鎮(zhèn)江潤(rùn)晶等，客戶(hù)不乏臺(tái)積電、中芯國(guó)際、長(zhǎng)電科技、華潤(rùn)微、士蘭微等先進(jìn)代工廠(chǎng)、封裝廠(chǎng)、IDM公司。

具體而言，電子級(jí)硝酸、氫氟酸和磷酸等已取得較大突破，已進(jìn)入國(guó)際供應(yīng)鏈，電子級(jí)硫酸、鹽酸、氨水和雙氧水等在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)部分批量應(yīng)用[16]。比如說(shuō)，江化微的電子級(jí)氫氟酸/硫酸/硝酸、湖北興福的電子級(jí)磷酸/硫酸/硅刻蝕液/鋁刻蝕液、晶瑞電材和蘇州晶瑞的電子級(jí)雙氧水、上海新陽(yáng)的電子級(jí)硫酸/銅電鍍液/銅刻蝕后清洗液、安集微的銅拋光后清洗液已在8英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)批量應(yīng)用，12英寸28nm以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)晶圓制造用濕電子化學(xué)品已有少量應(yīng)用，大多處于體系認(rèn)證階段，28nm以下技術(shù)處于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和小試開(kāi)發(fā)階段。[19]



我國(guó)濕電子化學(xué)品廠(chǎng)商不完全統(tǒng)計(jì)，制表丨果殼硬科技 參考資料丨格林達(dá)招股書(shū)[6]，平安證券[20] 近幾年在國(guó)產(chǎn)替代需求與日韓半導(dǎo)體貿(mào)易戰(zhàn)驅(qū)動(dòng)下，我國(guó)濕電子化學(xué)品市場(chǎng)產(chǎn)量不斷增長(zhǎng)。2016年~2022年，產(chǎn)量從24萬(wàn)噸增長(zhǎng)至80萬(wàn)噸，2022年一年便同比增長(zhǎng)23.1%[20]。不止如此，到2025年國(guó)內(nèi)將擁有大量新建產(chǎn)能。



2022年~2025年各企業(yè)濕電子化學(xué)品新增產(chǎn)能規(guī)劃[20]

國(guó)產(chǎn)替代只是現(xiàn)階段邁出的第一步，走向小康仍然要直面問(wèn)題：國(guó)內(nèi)企業(yè)產(chǎn)品相對(duì)單一，缺乏多品種市占率都很高的龍頭企業(yè)；盡管部分企業(yè)已在多品種產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)突破，但拳頭產(chǎn)品依然有限，特別是先進(jìn)制程上差距明顯。

3/想賺錢(qián)，繞著產(chǎn)業(yè)鏈走

想做濕電子化學(xué)品并不容易，想要靠它賺錢(qián)更難。

從國(guó)內(nèi)各家公司財(cái)報(bào)來(lái)看，整體毛利率在20%~50%浮動(dòng)，功能性濕電子化學(xué)品毛利率在30%~60%浮動(dòng)，高端產(chǎn)品可達(dá)到70%，通用濕電子化學(xué)品則在5%~30%浮動(dòng)。

相悖的是，濕電子化學(xué)品技術(shù)門(mén)檻高、研發(fā)投入大、研發(fā)周期長(zhǎng)，因此全球化學(xué)品制造商都在謹(jǐn)慎擴(kuò)張。SIA報(bào)告中便提到，美國(guó)部分芯片工廠(chǎng)濕電子化學(xué)品幾乎每年都會(huì)出現(xiàn)供應(yīng)短缺的情況。[21] 國(guó)際龍頭企業(yè)大多是材料領(lǐng)域的全能手，造的種類(lèi)多了，便可避免周期性風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)能夠形成產(chǎn)業(yè)鏈條和網(wǎng)絡(luò)，最大化原料、中間體、副產(chǎn)物等價(jià)值。這一點(diǎn)可以在專(zhuān)利上窺探一二。

以半導(dǎo)體和濕電子化學(xué)品同時(shí)作為關(guān)鍵詞在智慧芽上搜索，170個(gè)國(guó)家/地區(qū)中共有19421條專(zhuān)利，專(zhuān)利總價(jià)值共13.13億美元。其中，美國(guó)申請(qǐng)量排名第一，占全球濕電子化學(xué)品相關(guān)專(zhuān)利的的35.84%，其次是日本、中國(guó)、韓國(guó)、歐洲，分別占全球總量的19.75%、19.36%、10.59%、7.6%。需要強(qiáng)調(diào)的是，國(guó)內(nèi)缺乏專(zhuān)利出海，而美國(guó)、日本相關(guān)專(zhuān)利出海情況較為良好。



濕電子化學(xué)品技術(shù)來(lái)源國(guó)/地區(qū)排名，圖源丨智慧芽

位于專(zhuān)利前列的企業(yè)大多是超大型的綜合性化工企業(yè)，包括德國(guó)巴斯夫、韓國(guó)LG化學(xué)、日本富士、日本住友化學(xué)、美國(guó)杜邦等。反觀(guān)國(guó)內(nèi)湖北興福、江陰潤(rùn)瑪、江陰江化微等企業(yè)的專(zhuān)利數(shù)量也在不斷趕超國(guó)外企業(yè)。



濕電子化學(xué)品典型申請(qǐng)人分析，圖源丨智慧芽

含氟電子氣體、濕電子化學(xué)品、光刻膠作為半導(dǎo)體三大材料，具備相似的產(chǎn)業(yè)邏輯。

以德國(guó)巴斯夫、德國(guó)林德、德國(guó)默克、日本住友化學(xué)、日本三菱化學(xué)、美國(guó)杜邦6家全球領(lǐng)先企業(yè)布局情況來(lái)看，5家在濕電子化學(xué)品和光刻膠領(lǐng)域有所涉獵，且涵蓋剝離、清洗、顯影、拋光等相關(guān)專(zhuān)利。



領(lǐng)先企業(yè)基于專(zhuān)利的電子化學(xué)品細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)布局對(duì)比[22]

龍頭并非一蹴而就，濕電子化學(xué)品最早應(yīng)用在上世紀(jì)60年代，國(guó)際已經(jīng)過(guò)多輪洗牌和整合。目前全球濕電子化學(xué)品處于穩(wěn)定成長(zhǎng)期，預(yù)計(jì)5~20年后即進(jìn)入成熟期。



基于專(zhuān)利數(shù)據(jù)計(jì)算的技術(shù)成熟度[22]

領(lǐng)先國(guó)家化學(xué)試劑行業(yè)經(jīng)營(yíng)模式發(fā)展主要分三個(gè)階段：第一階段，通過(guò)自主經(jīng)營(yíng)實(shí)現(xiàn)自產(chǎn)自銷(xiāo)；第二階段，向配套設(shè)備、試劑、服務(wù)方向發(fā)展，實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)品線(xiàn)供應(yīng)；第三階段，培育研發(fā)、營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)，行業(yè)開(kāi)始結(jié)盟合作或是重組兼并，迅速提升市場(chǎng)集中度。[23]

越過(guò)第三階段，是巨無(wú)霸們的鯨吞，集中度與日俱增。比如說(shuō)，如2004年巴斯夫收購(gòu)默克電子化學(xué)業(yè)務(wù)[24]，2019年默克完成對(duì)美國(guó)慧盛（Versum Materials）的并購(gòu)。[25] 目前，我國(guó)仍在發(fā)展階段，相比國(guó)際上的百年老店，現(xiàn)階段很難實(shí)現(xiàn)大規(guī)模整合并購(gòu)，所以圍繞產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展可能是一路不錯(cuò)的路。

上游方面，原材料價(jià)格和供應(yīng)是濕電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)的生命線(xiàn)，煉油廠(chǎng)停工會(huì)影響異丙醇、硫酸的成本和可用性，隨著環(huán)保管控趨嚴(yán)，原材料價(jià)格波動(dòng)也影響著產(chǎn)品產(chǎn)量，此外，制造中發(fā)電的天然氣和石油價(jià)格上漲和限制都會(huì)引起化學(xué)品價(jià)格跟漲。

比如說(shuō)，氫氟酸一般由螢石中添加硫酸來(lái)制造，而全世界年產(chǎn)量700萬(wàn)噸的螢石六成產(chǎn)自中國(guó)，導(dǎo)致日本氫氟酸及其主要原料九成以上從中國(guó)進(jìn)口[26]，我國(guó)多氟多、興福電子、濱化股份、中巨芯等企業(yè)均擁有G5級(jí)氫氟酸，不僅打入臺(tái)積電、中芯國(guó)際產(chǎn)業(yè)鏈，也成為日韓半導(dǎo)體貿(mào)易戰(zhàn)中的主要替代品。

中下游方面，濕電子化學(xué)品作為危險(xiǎn)化工品包裝運(yùn)輸成本極高，因此濕電子化學(xué)品生產(chǎn)商大多環(huán)繞芯片制造商建廠(chǎng)。

比如說(shuō)，臺(tái)積電此前宣布計(jì)劃在美國(guó)亞利桑那州建廠(chǎng)，緊接著，其供應(yīng)商LCY便宣布計(jì)劃在亞利桑那州進(jìn)行異丙醇重新包裝和純化，另一家供應(yīng)商長(zhǎng)春化工也跟進(jìn)，計(jì)劃在亞利桑那州生產(chǎn)電子級(jí)過(guò)氧化氫和基于四甲基氫氧化銨的顯影劑、電子級(jí)溶液和電鍍液。[12]

可以說(shuō)，雖然國(guó)內(nèi)濕電子化學(xué)品仍有缺口，但上游原料供應(yīng)充足，為國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)帶來(lái)巨大優(yōu)勢(shì)，剩下的，便是繞著產(chǎn)業(yè)鏈，不斷增加自己的厚度。

隨著納米制程越來(lái)越接近1nm，芯片制造商間工藝差異性越來(lái)越大，濕電子化學(xué)品定制化需求提升，也許這會(huì)成為國(guó)內(nèi)企業(yè)的一次轉(zhuǎn)折點(diǎn)。

審核編輯：劉清