安裝新鍍膜系統(tǒng)或維護(hù)現(xiàn)有系統(tǒng)時(shí), 經(jīng)常會發(fā)生泄漏. 可能是由于連接錯(cuò)誤或忘記密封或密封件有缺陷. 氦質(zhì)譜檢漏儀的正確使用對于發(fā)現(xiàn)鍍膜產(chǎn)線泄漏和日常維護(hù)十分重要.
氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線時(shí)建議考慮以下二點(diǎn)
1. 大漏檢測
真空鍍膜設(shè)備調(diào)試或維護(hù)之后出現(xiàn)的泄漏往往很大, 市場上常見的氦氣檢漏儀最大工作壓力通常在約 6 至 25 mbar 之間. 如果存在大量泄漏, 抽真空時(shí)有可能無法達(dá)到此壓力. 下圖展示的是一臺 Si3N4 氮化硅鍍膜系統(tǒng). 在某次維護(hù)之后, 抽真空時(shí)只能達(dá)到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進(jìn)行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進(jìn)行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點(diǎn).
2. 使用鍍膜系統(tǒng)自帶輔助泵, 協(xié)助抽氣
將氦質(zhì)譜檢漏儀連接到真空鍍膜產(chǎn)線的前級真空線上. 可以快速抽空大量氣體, 提高檢漏節(jié)拍, 并且可以保護(hù)檢漏儀不受熱應(yīng)力的影響, 延長檢漏儀維護(hù)周期, 降低運(yùn)營成本.
氦質(zhì)譜檢漏儀真空鍍膜生產(chǎn)線檢漏方法:
采用真空法檢漏, 設(shè)定真空模式下漏率值, 鍍膜機(jī)不需要停機(jī), 直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀, 在懷疑有漏的地方(管路, 接頭等)噴氦氣, 即可完成檢漏.
上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)
型號 | ASM 340 W | ASM 340 D | ASM 340 I | |
進(jìn)氣口法蘭 | DN25ISO-KF | |||
檢測氣體 | 氫氣和氦氣 | |||
對氦氣4He 的最小檢測漏率 | 真空模式: 1X10-12mbar l/s, 吸槍模式: 5X10-9mbar l/s | |||
檢測模式 | 真空模式 (負(fù)壓) 和吸槍模式 (正壓) | |||
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | |
無校準(zhǔn)啟動時(shí)間 | 約 3 min | |||
響應(yīng)時(shí)間 | <1 s | |||
Interface 接口 | ||||
對氦氣的抽氣速度 | 2.5 l/s | |||
進(jìn)氣口最大壓力 | 25 mbar | 5 mbar | ||
前級泵抽速 | 油泵 15 m3/h | 隔膜泵 3.4 m3/h | 不含前級泵 | |
工作溫度 | 0-45°C (真空模式) | 0-35 °C | 0-40 °C | |
電壓 | 100-110 V AC, 50/60 Hz | 100-240 V AC, 50/60 Hz | 100-240 V AC, 50/60 Hz | |
功耗 | 850 W | 600 W | 350 W | |
重量 | 56 kg | 45 kg | 32 kg | |
尺寸 | 547x350x389 mm |
上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.
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檢漏儀
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