華林科納半導(dǎo)體最新自研產(chǎn)品----《全自動晶舟轉(zhuǎn)換器》

該設(shè)備用途：硅片在加工運(yùn)輸過程中，需要將硅片從一個花籃內(nèi)，傳送到另一個花籃內(nèi)，提高導(dǎo)片效率，同時(shí)減少人為污染。

我們?nèi)A林科納研發(fā)的全自動晶舟轉(zhuǎn)換器，它是一款用于調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備，主要工作任務(wù)就是對芯片生產(chǎn)線上的晶圓整個制造過程中，對晶圓分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序，而轉(zhuǎn)換器就是將已經(jīng)完成一道工序后的晶圓，通過分類、合并等后，再送到下一道工序中去，通俗點(diǎn)講就是它就像是一條分揀傳送的紐帶，用于提高整個芯片生產(chǎn)線的效率。

因?yàn)榫A非常的脆弱，所以合并，轉(zhuǎn)移過程中，要注意晶圓的完整性，且必須要保持極高的潔凈度，避免在晶圓傳輸過程中因?yàn)槟Σ恋龋尵A表面出現(xiàn)磨損。

設(shè)備組成有降臺和污物吹除機(jī)構(gòu)，輸送臺底部設(shè)有花籃一升降臺和花籃二升降臺，花籃一升降臺的移動端上設(shè)有花籃一，花籃二升降臺的移動端上設(shè)有花籃二，花籃一和花籃二分別位于輸送臺兩端，輸送臺的臺體一端開設(shè)有用于穿過花籃一的穿槽。本設(shè)備通過花籃一升降臺驅(qū)使花籃一進(jìn)行升降，從而可以配合輸送臺，將花籃一內(nèi)的硅片導(dǎo)出。通過花籃二升降臺驅(qū)使花籃二進(jìn)行升降，從而可以配合輸送臺，將輸送過來的硅片全部裝載到花籃二內(nèi)。通過污物吹除機(jī)構(gòu)來清除傳送中的硅片正反兩面的污物。

設(shè)備特征在于：包括平臺、固定架、分體式推桿和推動裝置；平臺包括初始晶舟放置區(qū)和目的晶舟放置區(qū)；
固定架固定在初始晶舟放置區(qū)遠(yuǎn)離目的晶舟放置區(qū)的一端，分體式推桿頂部與固定架頂部可拆卸式連接，分體式推桿底部可拆卸式連接在推動裝置的一端，推動裝置另一端固定在平臺上；
分體式推桿由多個推桿模塊可拆卸式連接組成，最底層的推桿模塊和最頂層的推桿模塊分別與推動裝置和固定架可拆卸式連接，推動裝置能夠致使推桿模塊將晶圓由初始晶舟放置區(qū)推送至目的晶舟放置區(qū)。

該設(shè)備可適用于：

----可應(yīng)用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.

----25、50、100、120片花籃規(guī)格可選.

----雙軌道傳輸設(shè)計(jì),獨(dú)立運(yùn)行，互不干涉.

----25花籃導(dǎo)入至50片花籃；25片花籃導(dǎo)入至100片花籃；50片花籃導(dǎo)入至100片花籃； 100片花籃導(dǎo)入100片花籃; 120片花籃導(dǎo)入100片花籃;

----兼容型：機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有兼容性,單側(cè)可以使用不同種類的花籃規(guī)格。例如:左側(cè)機(jī)械機(jī)構(gòu)同時(shí)兼容25片及100片花籃,右側(cè)同時(shí)兼容50片花籃及100片花籃.

----采用PLC控制,取片/ 插片過程全自動；觸摸屏菜單操作,簡潔明了.

----可選碎片檢測功能、幾何尺寸檢測.

----可選支持MES接口和遠(yuǎn)程診斷功能.

----可選匹配智能工廠AGV接駁口.

為更好的服務(wù)客戶，我們?nèi)A林科納特別成立了監(jiān)理團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)成員擁有多年半導(dǎo)體行業(yè)項(xiàng)目實(shí)施、監(jiān)督、控制、檢查經(jīng)驗(yàn)，可對項(xiàng)目建設(shè)全過程或分階段進(jìn)行專業(yè)化管理與服務(wù)，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量監(jiān)理，降本增效。利用仿真技術(shù)可對未來可能發(fā)生的情況進(jìn)行系統(tǒng)的、科學(xué)的、合理的推算，有效避免造成人力、物力的浪費(fèi)，助科研人員和技術(shù)工作者做出正確的決策，助力工程師應(yīng)對物理機(jī)械設(shè)計(jì)和耐受性制造中遇到的難題。

審核編輯 黃宇