首款MEMS微振鏡實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)！可應(yīng)用于國(guó)產(chǎn)激光雷達(dá)！

據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，中國(guó)&全球最大的純MEMS晶圓代工廠賽微電子，昨日（9月13日）晚間發(fā)布公告，其控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司為某客戶制造的MEMS微振鏡順利完成小批量試生產(chǎn)階段，2023年9月13日，該客戶已與賽萊克斯北京同步簽署采購(gòu)訂單，賽萊克斯北京開始進(jìn)行 MEMS 微振鏡的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。 據(jù)介紹，2022年4月，賽萊克斯北京與某國(guó)際知名激光雷達(dá)廠商及其子公司簽署《戰(zhàn)略合作框架協(xié)議》，開展面向汽車?yán)走_(dá)MEMS微鏡產(chǎn)品的長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作；2023年8月，賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS微振鏡通過(guò)了客戶驗(yàn)證，啟動(dòng)首批MEMS微振鏡8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。2023年9月，此款MEMS微振鏡完成了小批量試生產(chǎn)階段，實(shí)現(xiàn)商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

▲來(lái)源：賽微電子公告 MEMS微鏡（也被稱為“MEMS微振鏡”、“MEMS掃描鏡”）是指采用光學(xué)MEMS技術(shù)制造的，把微光反射鏡與MEMS驅(qū)動(dòng)器集成在一起的光學(xué)MEMS器件。MEMS微鏡的運(yùn)動(dòng)方式包括平動(dòng)和扭轉(zhuǎn)兩種機(jī)械運(yùn)動(dòng)。 近年來(lái)，隨著智能化、電動(dòng)化、網(wǎng)聯(lián)化的加速發(fā)展，汽車傳感器市場(chǎng)持續(xù)擴(kuò)大，且基于MEMS等半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)的先進(jìn)傳感器正在逐步替代部分傳統(tǒng)類型傳感器。以汽車自動(dòng)駕駛功能為例，激光雷達(dá)是其中用到的眾多傳感器之一，按照激光掃描方式可以分為機(jī)械、混合和固態(tài)三種類型。

隨著自動(dòng)駕駛技術(shù)的不斷發(fā)展，小型化、低成本、高精度、固態(tài)化激光雷達(dá)逐漸出現(xiàn)并得到應(yīng)用。MEMS激光雷達(dá)的核心光束操縱元件為MEMS微鏡，可通過(guò)半導(dǎo)體工藝進(jìn)行集成化生產(chǎn)，極大地減少了激光雷達(dá)的體積且降低了成本，在車規(guī)級(jí)批量應(yīng)用中存在優(yōu)勢(shì)。 公司表示，盡管已在多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)MEMS制造技術(shù)的積累和突破，但賽萊克斯北京在整體上仍處于運(yùn)營(yíng)初期，產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個(gè)持續(xù)的過(guò)程，產(chǎn)能擴(kuò)充及產(chǎn)量目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)尚需一定時(shí)間。

審核編輯 黃宇