看看MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是如何介紹MEMS的?
東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是以微電子學(xué)科為主題、結(jié)合電子工程系固體電子學(xué)研究室、工程力學(xué)系和機(jī)械工程系相關(guān)課題組，組建了跨學(xué)科的研究結(jié)構(gòu)，于1999年申請(qǐng)建立教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。實(shí)驗(yàn)室2000年6月通過教育部可行性論證、2001年9月通過教育部驗(yàn)收、2002年11月通過教育部評(píng)估。下面看看一份來自該實(shí)驗(yàn)室的課件
審核編輯 黃宇
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