晶焊片粘裝機(jī)
高速高精度解決方案
應(yīng)用介紹
設(shè)備主體機(jī)構(gòu)為龍門雙驅(qū),龍門長度2m、跨度1m,一共配備12個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)控制,其中7個(gè)軸為點(diǎn)到點(diǎn)移動(dòng),另外5個(gè)軸為脈沖控制,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)分為兩端,每端各有2軸,其中1軸橫跨,同步運(yùn)動(dòng)進(jìn)行晶圓搬運(yùn)。
課 題
當(dāng)前的控制周期長,無法進(jìn)行高精度的指令運(yùn)算,導(dǎo)致龍門控制精度難以提升。
當(dāng)前系統(tǒng)由多個(gè)控制器構(gòu)成,難以實(shí)現(xiàn)高度的同步控制。
當(dāng)前控制系統(tǒng)僅支持專用語言,其他功能難以實(shí)現(xiàn);且內(nèi)部處理為黑盒,客戶無法自定義。
解決方案
1高速控制周期實(shí)現(xiàn)更高精度的加工
歐姆龍可編程多軸運(yùn)動(dòng)控制器CK3M/CK5M系列,通過控制周期25μs / 5軸的超高速伺服周期運(yùn)算,能夠以超高速的控制周期進(jìn)行順暢的指令運(yùn)算,實(shí)現(xiàn)理想的軌跡。
只要存在高精度的指令,即可通過追蹤指令,實(shí)現(xiàn)高精度的運(yùn)動(dòng)控制。通過高速接收并補(bǔ)償反饋值,實(shí)現(xiàn)更接近指令值的軌跡控制。
2支持不同接口,實(shí)現(xiàn)理想設(shè)備構(gòu)成
輸入接口支持A/B相信號、正弦波信號、串行數(shù)據(jù)I/F,而控制指令接口也支持模擬指令(DAC)、基于Direct PWM*2的軸控制。該系統(tǒng)可連接高精度的標(biāo)尺、精密的直線電機(jī)、高精度的掃描振鏡等,能自由選擇適合客戶應(yīng)用的設(shè)備構(gòu)成。還能通過各執(zhí)行器之間的高精度同步控制實(shí)現(xiàn)高精度的加工。
3高自由度的開發(fā)實(shí)現(xiàn)各種各樣的應(yīng)用
使用PMAC專用腳本語言,可對客戶自有的復(fù)雜、高級算法進(jìn)行編程。還支持C語言,可輕松實(shí)現(xiàn)非常復(fù)雜的算法和處理控制器內(nèi)的日志文件等普通控制器難以實(shí)現(xiàn)的功能。此外,通過定義子程序,不僅可以自定義標(biāo)準(zhǔn)G代碼,還能實(shí)現(xiàn)具有客戶專屬功能的G代碼。
內(nèi)部處理為白盒,可在客戶端進(jìn)行自定義加工數(shù)據(jù)坐標(biāo)系和執(zhí)行器機(jī)械坐標(biāo)系的關(guān)系,輕松實(shí)現(xiàn)需要復(fù)雜執(zhí)行器機(jī)構(gòu)的應(yīng)用,(例如:機(jī)器人機(jī)構(gòu)和On the Fly激光加工等)。
實(shí)現(xiàn)價(jià)值
龍門速度:2m/s
定位精度:10μs
晶圓搬運(yùn)同步精度:5μs
客戶的心聲
通過25μs / 5軸的超高速伺服周期運(yùn)算,實(shí)現(xiàn)高精度的指令運(yùn)算和高精度的指令追蹤,使設(shè)備達(dá)到更高性能,打造核心競爭力。另外,通過支持不同執(zhí)行器 / 標(biāo)尺的接口和控制模式,可以擺脫外圍設(shè)備的限制,靈活應(yīng)對當(dāng)前多供應(yīng)商的設(shè)備構(gòu)成。對于工程師而言,內(nèi)置PMAC架構(gòu)可進(jìn)行高自由度的開發(fā),通過高自由度的軟件結(jié)構(gòu)輕松構(gòu)建客戶自有算法,并實(shí)現(xiàn)以往難以實(shí)現(xiàn)的應(yīng)用。
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審核編輯:湯梓紅
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原文標(biāo)題:解決方案 | 晶焊片粘裝機(jī)高速高精度解決方案:創(chuàng)新性雙工位搬運(yùn),推動(dòng)晶圓產(chǎn)能核增
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