北京懷柔科學(xué)城老廠房孕育傳感器產(chǎn)業(yè)，在建MEMS傳感器中試生產(chǎn)線

新年伊始，懷柔古剎紅螺寺附近，一座老廠房正加速蝶變。朝陽給一棟棟改造中的廠房鍍上金色，也照亮了五百余位施工人員忙碌的身影。吊車吊起大塊的玻璃、水泥板，施工人員通過直臂車被送至高處，將玻璃、水泥板呈百葉窗狀交替安裝至外墻。曾經(jīng)的福田汽車?yán)吓f廠房在他們的手中悄然變了模樣，外觀看起來時(shí)尚現(xiàn)代，透著大氣和科技感。

這里距離密集落子大科學(xué)裝置、交叉研究平臺等科技設(shè)施的懷柔科學(xué)城核心區(qū)僅10分鐘車程，未來將成為懷柔科學(xué)城產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化示范區(qū)。搬遷騰退的福田戴姆勒汽車?yán)瞎S，是產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化示范區(qū)的首個(gè)項(xiàng)目，改造后產(chǎn)業(yè)空間達(dá)30萬平方米，將依托科學(xué)城優(yōu)勢，重點(diǎn)引入高端儀器裝備和傳感器產(chǎn)業(yè)。目前，由福田工廠營銷樓改造的創(chuàng)新中心已率先投用，三層空間主要吸引高端儀器裝備和傳感器產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)的初創(chuàng)企業(yè)。“園區(qū)改造和‘引鳳’同時(shí)進(jìn)行，已吸引164家企業(yè)注冊，部分企業(yè)已入駐辦公。”負(fù)責(zé)該園區(qū)運(yùn)營的北京懷勝科技服務(wù)有限公司相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹。

還有多棟廠房正加速蛻變。其中，A1棟工程項(xiàng)目近日剛剛獲得北京市發(fā)改委批復(fù)項(xiàng)目資金申請。記者走進(jìn)正在改造的A1廠房，這里曾是過去的涂裝車間，在不改變原建筑結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，廠房已經(jīng)完成加固、翻新，目前正進(jìn)行外墻吊裝施工，吊裝進(jìn)度達(dá)80%?！邦A(yù)計(jì)今年4月，這棟廠房就能基本完成改造，此后將由入駐企業(yè)開展內(nèi)部裝配、設(shè)備安裝等工作?！毕嚓P(guān)負(fù)責(zé)人告訴記者，這棟廠房已被國內(nèi)一家傳感器龍頭企業(yè)相中，將建造微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）傳感器中試生產(chǎn)線。

除了提供用于辦公、實(shí)驗(yàn)和中試生產(chǎn)的產(chǎn)業(yè)空間，園區(qū)的一大亮點(diǎn)是打造了高端儀器裝備和傳感器生產(chǎn)所必須配套的共享動力中心。“生產(chǎn)高端儀器裝備或傳感器，需要動力、純水供應(yīng)、化學(xué)品儲存、大宗氣體、特殊氣體供應(yīng)、廢水處理等配套環(huán)節(jié)。園區(qū)斥資上億元打造了供企業(yè)共享使用的純水處理中心、化學(xué)品儲存庫、大宗氣體站、特殊氣體站、廢水處理站等，并配建管道直通各廠房?！痹诩兯幚碇行膬?nèi)，相關(guān)負(fù)責(zé)人指著正在安裝的純水設(shè)備介紹道：“這些設(shè)備就好像我們家里的凈水器，只不過其過程更復(fù)雜，純凈度要求更高，要通過預(yù)處理、反滲透、再生與后處理等多重工序形成可用于傳感器晶圓加工使用要求的超純水。”

據(jù)悉，整個(gè)項(xiàng)目起步區(qū)大致分為A、B、C、D、E等工程項(xiàng)目，除了E棟廠房外，其他區(qū)域基本都將在今年上半年改造完成，未來將孕育高端儀器裝備和傳感器的“創(chuàng)新之花”。這一項(xiàng)目也成為懷柔科學(xué)城加速建設(shè)，產(chǎn)業(yè)化成果逐步涌現(xiàn)的縮影。

目前，懷柔科學(xué)城正跑步進(jìn)入建設(shè)與運(yùn)行并重階段?？蒲性O(shè)施方面，近期懷柔科學(xué)城又一大科學(xué)裝置——多模態(tài)跨尺度生物醫(yī)學(xué)成像設(shè)施試運(yùn)行，設(shè)施將與周邊科研設(shè)施協(xié)同發(fā)展，組織實(shí)施大科學(xué)計(jì)劃。此外，29個(gè)“十三五”科技設(shè)施平臺建設(shè)運(yùn)行同步加速，6個(gè)“十四五”科技設(shè)施平臺項(xiàng)目獲批立項(xiàng)。去年，懷柔科學(xué)城新增9個(gè)科技設(shè)施平臺項(xiàng)目進(jìn)入科研狀態(tài)，一批科技基礎(chǔ)設(shè)施面向全社會開放共享，5個(gè)第一批交叉研究平臺已累計(jì)對外開放機(jī)時(shí)45萬小時(shí)。在科研成果方面，截至目前，懷柔科學(xué)城服務(wù)院所高校累計(jì)產(chǎn)出重大科技成果200余項(xiàng)。

審核編輯 黃宇