住友精密推出具備PZT薄膜沉積與圖案化能力的MEMS Infinity代工服務(wù)

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，住友精密（Sumitomo Precision Products）是一家全球領(lǐng)先的高精度工業(yè)產(chǎn)品制造商，近期推出旗下MEMS Infinity的代工服務(wù)，擴大在MEMS制造生態(tài)系統(tǒng)中的作用。MEMS Infinity是一家150毫米和200毫米MEMS晶圓代工廠，通過原型設(shè)計和大規(guī)模生產(chǎn)，滿足客戶對MEMS概念設(shè)計和評估的不斷增長的需求。

MEMS Infinity位于日本尼崎市（Amagasaki）的工業(yè)和技術(shù)中心，擁有一個20,000平方英尺的潔凈室，可以制造多種MEMS器件，包括靜電式和電磁式傳感器和執(zhí)行器。MEMS Infinity也是該行業(yè)為數(shù)不多的提供PZT薄膜組合的MEMS代工廠之一。PZT薄膜是一種可將電能轉(zhuǎn)換為機械能的壓電材料，反之亦然。PZT薄膜非常適合用于高性能執(zhí)行器、微機械超聲換能器（MUT）和聲學(xué)傳感器等新興技術(shù)。

epi-PZT晶圓

“住友精密是在MEMS行業(yè)三十年的經(jīng)驗基礎(chǔ)上發(fā)展起來的?！弊∮丫芏驴偨?jīng)理Masahiko Tanaka先生說道，”到20世紀(jì)90年代中期，住友精密收購了英國的STS——其制造深反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）設(shè)備。到20世紀(jì)90年代末，住友精密以我們的附屬公司的名義生產(chǎn)和銷售MEMS加速度計，以及后來的高精度MEMS陀螺儀。隨著MEMS Infinity的推出，我們新的MEMS代工服務(wù)將加速高質(zhì)量MEMS器件的商業(yè)化，這些器件符合全球無晶圓廠（Fabless）企業(yè)最嚴(yán)格的要求。”

MEMS傳感器的整體市場不斷增長。預(yù)計到2028年，MEMS市場規(guī)模將達(dá)到200億美元，其中汽車、航空航天、工業(yè)和醫(yī)療等高增長市場約占據(jù)一半市場份額，MEMS Infinity主要為這些高增長市場提供MEMS代工服務(wù)，發(fā)揮自己特別關(guān)鍵的作用：提供專有MEMS技術(shù)平臺以促進創(chuàng)新發(fā)展。

關(guān)于MEMS Infinity

MEMS Infinity擴大了住友精密的MEMS服務(wù)范圍，正在推進面向不同行業(yè)的MEMS傳感器和執(zhí)行器的開發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)。MEMS Infinity擁有20,000平方英尺的潔凈室，擁有150毫米和200毫米MEMS晶圓制造線，其中包括PZT專用的圖案化設(shè)備和高性能外延PZT（epi-PZT）薄膜沉積設(shè)備。MEMS Infinity使用經(jīng)過生產(chǎn)驗證的工具，符合ISO質(zhì)量和環(huán)境可持續(xù)性標(biāo)準(zhǔn)。

審核編輯：劉清