磁強(qiáng)計(jì)(Magnetic Field Sensor)也稱磁場(chǎng)傳感器(Magnetometer),是一種測(cè)量環(huán)境磁感應(yīng)強(qiáng)度與方向的傳感器。目前主要的 MEMS 磁強(qiáng)計(jì)包括磁阻式磁強(qiáng)計(jì)、磁通門(mén)式磁強(qiáng)計(jì)、霍爾效應(yīng)式磁強(qiáng)計(jì)、隧道效應(yīng)式磁強(qiáng)計(jì)和諧振式洛倫茲力磁強(qiáng)計(jì)等。
磁通門(mén)式磁強(qiáng)計(jì)包含一個(gè)高磁導(dǎo)率的軟磁材料制成的鐵芯。在同時(shí)受到交變和恒定兩種磁場(chǎng)作用情況下,纏繞在鐵芯上的檢測(cè)線圈感生的電壓中含有偶次諧波分量,特別是二次諧波;諧波電壓與磁場(chǎng)強(qiáng)度正相關(guān),所以可以通過(guò)測(cè)量檢測(cè)線圈的諧波電壓來(lái)檢測(cè)磁場(chǎng)強(qiáng)度。
霍爾效應(yīng)式磁強(qiáng)計(jì)是基于霍爾效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量的。將一個(gè)導(dǎo)體置于磁場(chǎng)中并通電,磁場(chǎng)對(duì)導(dǎo)體中的電子會(huì)產(chǎn)生一個(gè)橫向作用力,從而在導(dǎo)體兩端產(chǎn)生電壓差,測(cè)量該電壓差,即可得到待測(cè)磁場(chǎng)的強(qiáng)度?;魻栃?yīng)式磁強(qiáng)計(jì)具有探頭體積小、靈敏度高、線性度好等特點(diǎn)。
磁阻式磁強(qiáng)計(jì)有半導(dǎo)體磁阻式和薄膜磁阻式兩種類型。半導(dǎo)體磁阻式磁強(qiáng)計(jì)是用Insb 或 GaAs 等材料制作而成的測(cè)量磁場(chǎng)大小和方向的傳感器,它是利用半導(dǎo)體材料在磁場(chǎng)作用下電阻發(fā)生變化這一特性工作的。而薄膜磁阻式磁強(qiáng)計(jì)的核心結(jié)構(gòu)是用 NiFe 或 NiCo 合金制作的,利用薄膜磁阻材料的各向異性磁阻效應(yīng)工作。
隧道效應(yīng)式磁強(qiáng)計(jì)具有深腔結(jié)構(gòu),腔內(nèi)有薄膜和硅尖。利用靜電力將薄膜拉至與硅尖 1nm 的距離,在偏置電壓的作用下,薄膜與硅尖之間會(huì)產(chǎn)生微安級(jí)隧道電流。而薄膜上具有線圈結(jié)構(gòu),其中通有交流電,在待測(cè)磁場(chǎng)作用下,線圈中會(huì)產(chǎn)生洛倫茲力使薄膜上下振動(dòng)。當(dāng)薄膜和硅尖之間的距離隨著薄膜的振動(dòng)而變化時(shí),遂穿電流值也將隨之變化,通過(guò)測(cè)量此電流的變化,便能夠獲得外界磁場(chǎng)強(qiáng)度。
諧振式洛倫茲力磁強(qiáng)計(jì)結(jié)構(gòu)上具有激勵(lì)線圈。通入交流電流的激勵(lì)線圈在磁場(chǎng)中受到交變的洛倫茲力作用,從而使結(jié)構(gòu)處于諧振狀態(tài),測(cè)量結(jié)構(gòu)振動(dòng)幅度的大小可以間接獲得外界磁場(chǎng)強(qiáng)度。當(dāng)電流頻率與扭梁的固有振蕩頻率一致時(shí),系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生諧振,此時(shí)輸出振幅達(dá)到最大值,并且與外界磁場(chǎng)強(qiáng)度成比例。多數(shù)的洛倫茲力磁強(qiáng)計(jì)通過(guò)壓阻或電容檢測(cè)方法來(lái)測(cè)量振幅。由于 MEMS 諧振結(jié)構(gòu)具有較高的Q值,因此該磁強(qiáng)計(jì)的靈敏度較高。而且,此類磁強(qiáng)計(jì)不需要磁性材料,加工工藝過(guò)程較為簡(jiǎn)單,成品率相對(duì)較高。
磁場(chǎng)探測(cè)是 MEMS 傳感領(lǐng)域的重要方向之一。近年來(lái),隨著原子磁強(qiáng)計(jì)等新概念的出現(xiàn)和發(fā)展,推動(dòng)著相關(guān) MEMS 磁強(qiáng)計(jì)技術(shù)的不斷進(jìn)步;同時(shí), MEMS微加工方法使得磁強(qiáng)計(jì)的體積大大減小,成本也降低許多,使其具有了更廣闊的應(yīng)用前景。
審核編輯:劉清
-
mems
+關(guān)注
關(guān)注
129文章
3882瀏覽量
190085 -
GaAs
+關(guān)注
關(guān)注
2文章
507瀏覽量
22860 -
諧波電壓
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
19瀏覽量
7629 -
磁強(qiáng)計(jì)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
13瀏覽量
7356 -
磁場(chǎng)傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
41瀏覽量
12004
原文標(biāo)題:MEMS 磁強(qiáng)計(jì),MEMS 磁強(qiáng)計(jì),MEMS Magnetic Field Sensor
文章出處:【微信號(hào):Semi Connect,微信公眾號(hào):Semi Connect】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
評(píng)論