什么是薄膜與厚膜？薄膜與厚膜有什么區(qū)別？

本文簡(jiǎn)單介紹了厚膜與薄膜的定義與區(qū)別。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，我們經(jīng)常聽(tīng)到“薄膜制備技術(shù)”，“薄膜區(qū)”，“薄膜工藝”等詞匯，那么有厚膜嗎？答案是：有。

什么是薄膜與厚膜？

薄膜，thin film，一般以nm為單位，是非常薄的膜層。對(duì)于厚膜與薄膜，沒(méi)有非常嚴(yán)格的定義，我將厚度在1000nm（1um）以內(nèi)的膜層歸為薄膜。薄膜由于其相對(duì)較小的厚度和尺寸，通?？梢员灰暈槎S形式的物質(zhì)，只能附著在基材上。

厚膜，thick film，一般以u(píng)m為單位。厚度遠(yuǎn)大于薄膜，大約在幾微米到幾十微米之間。厚膜不完全需要基材，可獨(dú)立制作。

薄膜與厚膜的區(qū)別是什么呢？

應(yīng)用區(qū)別

薄膜主要應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏，光學(xué)，液晶領(lǐng)域中。

而厚膜主要應(yīng)用在無(wú)源電子元件（如電阻器、電容器和電感器），單片機(jī)，傳感器，混合集成電路等領(lǐng)域。

制作工藝區(qū)別

常見(jiàn)的薄膜沉積技術(shù)包括物理氣相沉積（PVD），化學(xué)氣相沉積（CVD），原子層沉積（ALD），外延等。

厚膜常用絲網(wǎng)印刷，噴涂，旋涂，電鍍等方式制作。

精度區(qū)別

由于薄膜層較薄，通常精度和準(zhǔn)確度更高，從而可以更好地控制薄膜的特性。而厚膜元件的精度較低。

成本區(qū)別

厚膜制造工藝簡(jiǎn)單，成本較低，適合更廣泛的應(yīng)用。而薄膜制造需要昂貴的機(jī)臺(tái)與維護(hù)成本。

厚膜的絲網(wǎng)印刷工藝流程？

絲網(wǎng)印刷是制作厚膜電子器件的一種常見(jiàn)工藝，一般流程為：

1，準(zhǔn)備漿料：漿料是厚膜工藝中的關(guān)鍵材料，一般分為5種類型，即導(dǎo)體漿料、電阻漿料、電介質(zhì)漿料、絕緣漿料和封裝漿料。

2，準(zhǔn)備絲網(wǎng)模板

3，印刷：將準(zhǔn)備好的漿料放置在絲網(wǎng)模板上方，使用刮刀或橡膠刮板均勻地將漿料通過(guò)絲網(wǎng)的開(kāi)孔區(qū)域壓印到下方的基底上形成預(yù)定的圖案。

4，干燥和燒結(jié)：印刷完成后，基底需要經(jīng)過(guò)干燥和燒結(jié)過(guò)程。干燥通常在較低溫度下進(jìn)行，以去除漿料中的溶劑。燒結(jié)則在高溫下進(jìn)行，通常在幾百到上千攝氏度之間，以形成結(jié)實(shí)的厚膜結(jié)構(gòu)。

審核編輯：劉清