廣州增芯12英寸MEMS芯片量產(chǎn)線搬入光刻機，順利進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段

據(jù)傳感器專家網(wǎng)獲悉，3月11日，廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目在廣州增城開發(fā)區(qū)舉行光刻機搬入活動，標志著增芯項目順利進入調(diào)試投產(chǎn)準備階段。

據(jù)悉，增芯項目是省、市重點項目，打造國內(nèi)第一條12英寸智能傳感器（MEMS）及特色工藝生產(chǎn)線，對增城乃至廣州、廣東集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義。增芯項目占地面積達370畝，分兩期建設，此前披露消息顯示，一期批復投資70億元，總投資達370億元。根據(jù)規(guī)劃，將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線，預計2024年6月通線。

據(jù)羊城派報道，據(jù)了解，該項目預計今年6月份將完成首批設備安裝，今年12月底完成第一個有良率的產(chǎn)品下線。廣州增芯科技有限公司總經(jīng)理張亮表示，目前國產(chǎn)裝備在增芯一期項目里的使用占比超過了35%，希望在二期投產(chǎn)的時候能達到一半以上。

增城開發(fā)區(qū)投資促進局消息顯示，2023年9月20日，增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目正式封頂。項目總投資達370億元，分為兩期規(guī)劃，占地面積達370畝，一期達產(chǎn)后預計產(chǎn)能2萬片/月。項目由廣州增芯科技有限公司進行投資，擬建設半導體晶圓制造廠，主要生產(chǎn)12英寸工藝產(chǎn)品，產(chǎn)品應用領域為傳感器、模擬芯片和汽車電子等。

據(jù)廣州日報報道，該項目自2022年底動工起，僅用9個月零6天完成自樁基啟動至主廠房封頂建設，實現(xiàn)了“開工一年裝機”，封頂至今僅5個月多月便迎來了生產(chǎn)線最核心的裝備——光刻機。

審核編輯 黃宇