據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,南京宙訊微電子科技有限公司(以下簡稱“宙訊微電子”)近日宣布在國內(nèi)率先量產(chǎn)固體裝配型(SMR)體聲波(BAW)濾波器。
一般而言,聲學(xué)濾波器包括聲表面波(SAW)和BAW濾波器,SAW濾波器大部分情況下能滿足2.7 GHz以下濾波器應(yīng)用需求包括第一代(1G)至第三代(3G)移動通信等標(biāo)準(zhǔn)頻段,以及部分第四代(4G)頻段;而BAW濾波器可處理的頻率高達(dá)10GHz,在頻率高于2.0 GHz的4G頻段和5G頻段,與SAW濾波器技術(shù)相比,BAW濾波器的通帶插損小,選擇性高,應(yīng)用更加廣泛。
根據(jù)聲能反射方式和結(jié)構(gòu)的不同,BAW濾波器可分為薄膜體聲波諧振器(FBAR)及固體裝配型(SMR,又稱為固貼型)體聲波諧振器。為了減少體聲波能量的耗散,提高諧振器的品質(zhì)因數(shù)Q,需要在相鄰介質(zhì)中具有最小能量耗散的隔離結(jié)構(gòu)。FBAR的聲學(xué)隔離是通過諧振結(jié)構(gòu)和襯底之間的空氣腔實(shí)現(xiàn)的,而SMR使用布拉格聲反射層將機(jī)械能限制在諧振結(jié)構(gòu)中,布拉格聲反射層由具有受控厚度的高、低聲阻抗材料交替組成。由于聲阻抗失配,聲波在多層堆疊的每個(gè)界面處的反射阻止了機(jī)械能的泄露。
Fig. 1. (a) FBAR型濾波器 (b) SMR型濾波器
得益于空氣具有最低的聲阻抗,F(xiàn)BAR的聲學(xué)隔離效果更好,品質(zhì)因數(shù)Q更高。與此同時(shí),相比于FBAR型濾波器,SMR型BAW濾波器也具有諸多優(yōu)勢:
a) SMR型濾波器因其結(jié)構(gòu)中有一條導(dǎo)熱通路通向襯底,可通過襯底進(jìn)行散熱,而FBAR濾波器由于諧振器結(jié)構(gòu)里有氣隙,因?yàn)榭諝馐遣涣紵釋?dǎo)體,導(dǎo)熱能力相對較弱,有實(shí)驗(yàn)證實(shí),使用SMR諧振器結(jié)構(gòu)的器件每瓦發(fā)射功率的溫度只上升20℃,而使用FBAR結(jié)構(gòu)時(shí),每瓦發(fā)射功率的溫度則上升70℃,因此,SMR濾波器更能滿足系統(tǒng)在大功率和高溫條件下對插入損耗和帶外衰減的要求。
b) FBAR型濾波器的空氣腔結(jié)構(gòu)使得制造工藝更加復(fù)雜,成本更高。SMR型BAW濾波器因?yàn)槠浔旧頌楣虘B(tài)結(jié)構(gòu),簡化了諸多晶圓制造環(huán)節(jié)和芯片封測步驟。
c) FBAR型濾波器氣腔上方的懸膜結(jié)構(gòu)更加脆弱,往往導(dǎo)致更低的良率和機(jī)械穩(wěn)定性,而SMR型BAW濾波器具有更高的機(jī)械穩(wěn)定性和抗沖擊能力。
d) SMR型BAW濾波器因?yàn)橹C振結(jié)構(gòu)下面第一層為低聲阻抗材料,通常為SiO2,具有正的溫度系數(shù),而諧振器壓電層和電極層通常為負(fù)的溫度系數(shù),所以SMR型BAW濾波器天然具有溫度補(bǔ)償?shù)奶匦?,溫漂系?shù)TCF通常介于0 ~ -15ppm/K, 而FBAR型BAW濾波器溫漂系數(shù)TCF通常為-20 ~ -25ppm/K。
Fig. 2. SMR與FBAR濾波器結(jié)構(gòu)的功率和熱量處理對比
宙訊微電子在聲波濾波器領(lǐng)域積累了十余年的研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),前期開發(fā)的SAW、FBAR、TC-FBAR等系列濾波器產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)廣受好評,并實(shí)現(xiàn)規(guī)模交付。面對當(dāng)前體聲波濾波器領(lǐng)域的新求,公司于近日量產(chǎn)新一代固體裝配型SMR BAW濾波器,該SMR BAW濾波器采用獨(dú)特的布拉格聲反射層設(shè)計(jì),在滿足濾波器性能要求的前提下,工藝更加簡單,良率更高,成本更低;同時(shí)機(jī)械結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)定,散熱能力良好,具有很高的可靠性。
Fig. 3. 宙訊微電子SMR型BAW濾波器芯片版圖
Fig. 4. 宙訊微電子SMR型BAW諧振器測試曲線
Fig. 5. 宙訊微電子SMR型BAW濾波器測試曲線
宙訊微電子在南京于2021年建成了7000㎡ 6 英寸SAW/BAW濾波器晶圓制造線和封測線,擁有光刻機(jī)、勻膠顯影機(jī)、高濃度摻鈧氮化鋁(AlScN)薄膜沉積機(jī)、刻蝕機(jī)等全套晶圓制造設(shè)備和封測設(shè)備,年產(chǎn)10億顆濾波器芯片,產(chǎn)能充足。目前已量產(chǎn)的產(chǎn)品包括SAW濾波器和雙工器,F(xiàn)BAR濾波器和TC-FBAR濾波器。宙訊微電子推出的SMR型BAW濾波器產(chǎn)品,標(biāo)志著公司已實(shí)現(xiàn)所有聲濾波器技術(shù)和工藝的開發(fā)和量產(chǎn),完成了全系列聲濾波器產(chǎn)品的覆蓋。
Fig.6. 宙訊微電子已量產(chǎn)的聲濾波器技術(shù)和產(chǎn)品
Fig. 7. 宙訊微電子南京工廠
Fig. 8. 宙訊微電子凈化車間
隨著宙訊微電子SMR BAW濾波器的發(fā)布,標(biāo)志著宙訊微電子在高性能濾波器領(lǐng)域走到了國際前沿。依托開拓創(chuàng)新的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和成熟穩(wěn)定的工藝平臺,宙訊微電子將給客戶交付更加豐富、更高價(jià)值的FBAR和SMR BAW高性能濾波器產(chǎn)品,將繼續(xù)加大研發(fā)投入,以更多創(chuàng)新產(chǎn)品助力客戶前行,助力行業(yè)發(fā)展。
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:宙訊微電子在國內(nèi)率先量產(chǎn)SMR型BAW濾波器
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