光學(xué)測量是利用光的性質(zhì)如光的傳播、反射、折射、干涉、衍射等,進行長度、形狀、角度、顏色等精確測量的非接觸式測量技術(shù),在工業(yè)、醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域獲得廣泛的應(yīng)用。隨著技術(shù)的不斷進步與革新,光學(xué)測量技術(shù)在向更高精度、更高效的方向發(fā)展,芯明天納米定位臺以其高精度和快速的響應(yīng)速度特點,在光學(xué)測量技術(shù)中提供納米級精密定位,可使測量結(jié)果更精確。
注:圖片來源于網(wǎng)絡(luò)
P60.X200系列高精度一維壓電納米定位臺
P60.X200系列壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動,內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動,可產(chǎn)生一維X軸直線運動,位移可達200μm,分辨率可達2nm,承載可達1.3kg,開環(huán)狀態(tài)下,空載階躍時間可達30ms,可配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。P60.X200系列壓電納米定位臺為一維X向運動平臺,可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。產(chǎn)品外觀如下所示。
產(chǎn)品特點
一維X向運動,行程可達200μm
承載可達1.3kg
分辨率可達2nm
開/閉環(huán)可選,真空版本可選
可組多維使用
產(chǎn)品應(yīng)用
光學(xué)測量
光學(xué)檢測
顯微掃描
激光干涉
生物科技
技術(shù)參數(shù)
型號 | P60.X200S/K |
運動自由度 | X |
驅(qū)動控制 | 1路驅(qū)動,1路傳感/1路驅(qū)動 |
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 160μm |
行程范圍(0~150V) | 200μm |
傳感器類型 | SGS/- |
閉/開環(huán)分辨率 | 7nm/2nm |
閉環(huán)線性度 | 0.02%F.S./- |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.01%F.S./- |
俯仰/偏航/滾動 | <15μrad |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 50ms@20μm、1300g/30ms |
空載諧振頻率 | 370Hz |
帶載諧振頻率@1300g | 120Hz |
靜電容量 | 10.8μF |
工作溫度范圍 | -20~80℃ |
承載能力 | 1300g |
材料 | 不銹鋼、鋁合金 |
重量 | 630g |
配套控制器
E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動P60.X200系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應(yīng)用要求而設(shè)計的單通道控制器,體積小巧,外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3,重量為350g,供電電壓24VDC/1A。機身帶有散熱區(qū)域,可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量,上位機軟件支持二次開發(fā),體積小巧,易于集成。
審核編輯 黃宇
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