概倫電子(股票代碼:688206.SH)近日正式推出具有自主知識產權的高精度源測量單元(SMU)FS810。作為實現(xiàn)半導體器件電特性表征的基礎模組之一,SMU為臺式源表、半導體參數(shù)分析儀、WAT/WLR等各類測試提供了核心的測試單元,具有廣泛的應用場景和市場潛力。
概倫電子全自研FS810高精度SMU具備200V/1A的最大測試量程,在1個PLC時間內電流測試精度可達30fA,最高電流測試精度可達15fA,在單一模塊內可同時滿足寬量程和高精度的測試需求。FS810的精度、速度等性能指標在晶圓級的實測應用已達到且部分超過當前工業(yè)界的主流應用水平,滿足各類先進工藝節(jié)點的器件研發(fā)和量產測試要求,具備國際市場競爭力。
楊廉峰博士
概倫電子董事、總裁
在廣闊市場需求和技術演進的推動下,概倫電子持續(xù)擴大研發(fā)投入,不斷突破技術壁壘,圍繞工藝與設計協(xié)同優(yōu)化(DTCO)進行技術和產品的戰(zhàn)略布局,此次在半導體測試的基礎模塊SMU的重大突破正是我們一以貫之的成果,有望成為概倫電子又一項具備國際市場競爭力的關鍵核心技術。概倫電子始終致力于以業(yè)界領先的EDA核心技術為基礎,結合在半導體電特性測試領域的解決方案和廣泛應用經驗,提供專業(yè)高效、應用驅動的EDA流程,進一步加強和鞏固市場競爭力。
高精度SMU廣泛應用于半導體、電子、通信、自動化等眾多產業(yè)領域的各類電特性數(shù)據測試設備中,結合已被行業(yè)廣泛應用的低頻噪聲測試、快速短脈沖測試、低漏電矩陣開關等關鍵技術,概倫電子可以為行業(yè)提供業(yè)界領先的半導體電特性測試解決方案和獨有的數(shù)據驅動的EDA流程,全面覆蓋半導體器件的基本電特性、低頻噪聲、可靠性、工藝擾動等,為DFY(Design for Yield)、DFM(Design for Manufacturing)、DFR(Design for Reliability)、DFN(Design for Noise)等DTCO的重要EDA流程提供高效、精準的數(shù)據支撐。
未來,概倫電子將與行業(yè)合作伙伴一起持續(xù)探索技術創(chuàng)新,共同構建從基礎測試模塊到整機測試系統(tǒng),以及軟硬件相結合的完整測試儀器生態(tài)環(huán)境,推動半導體行業(yè)應用的立體化發(fā)展?;贔S810的核心模組,概倫電子和行業(yè)合作伙伴的相關測試產品將于2024年下半年陸續(xù)推向市場。
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原文標題:重新定義國產高精度SMU,概倫電子發(fā)布全自研FS810
文章出處:【微信號:khai-long_tech,微信公眾號:概倫電子Primarius】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
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