是德科技發(fā)布3kV高壓晶圓測(cè)試系統(tǒng),專為功率半導(dǎo)體設(shè)計(jì)

是德科技（Keysight Technologies， Inc.）近期發(fā)布了一款名為4881HV的高壓晶圓測(cè)試系統(tǒng)，進(jìn)一步豐富了其半導(dǎo)體測(cè)試產(chǎn)品線。該系統(tǒng)能夠在單次測(cè)試中高效地覆蓋從低壓到高達(dá)3kV的高壓參數(shù)測(cè)試，顯著提升了功率半導(dǎo)體制造商的生產(chǎn)效率。

以往，制造商在測(cè)試晶圓時(shí)，需要分別使用高壓和低壓測(cè)試設(shè)備。然而，隨著市場(chǎng)對(duì)多功能、高性能功率半導(dǎo)體以及新一代半導(dǎo)體器件如碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）的需求快速增長(zhǎng)，客戶急需一種能更準(zhǔn)確、高效地測(cè)試設(shè)備并縮短產(chǎn)品上市時(shí)間的解決方案。

是德科技的這款新測(cè)試系統(tǒng)正是為了解決這些挑戰(zhàn)而設(shè)計(jì)的。它允許功率器件制造商在生產(chǎn)過程中執(zhí)行PCM和WAT操作。這款全新的測(cè)試系統(tǒng)具備以下顯著優(yōu)勢(shì)：

首先，其高壓性能滿足了未來(lái)需求。高壓開關(guān)矩陣（HV-SWM）可支持高達(dá)3kV的測(cè)試要求，并可擴(kuò)展至29個(gè)引腳，同時(shí)與精密的源測(cè)量單元（SMU）實(shí)現(xiàn)無(wú)縫集成。這一特性使得系統(tǒng)能夠在任何引腳上實(shí)現(xiàn)從低電流到亞皮安（pA）級(jí)分辨率，直至3kV高壓的靈活測(cè)試。此外，該系統(tǒng)還支持高壓電容測(cè)量和各種參數(shù)測(cè)試。

其次，一次性測(cè)試提高了生產(chǎn)效率。HV-SWM允許使用單一的測(cè)試系統(tǒng)替代傳統(tǒng)的高壓和低壓測(cè)試系統(tǒng)組合，不僅提高了工作效率，還顯著減少了測(cè)試所需的場(chǎng)地和時(shí)間。同時(shí)，該系統(tǒng)通過與是德科技的SPECS-FA軟件無(wú)縫集成，進(jìn)一步提升了整體生產(chǎn)流程的效率。

最后，該系統(tǒng)具備更高的安全性和可靠性。測(cè)試系統(tǒng)內(nèi)置了保護(hù)電路和機(jī)器控制措施，確保操作人員和設(shè)備在測(cè)試過程中不會(huì)受到高壓浪涌的影響。同時(shí)，該系統(tǒng)還嚴(yán)格遵循包括SEMI S2標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的各項(xiàng)安全法規(guī)，確保使用過程中的安全性與可靠性。

是德科技晶圓測(cè)試解決方案業(yè)務(wù)副總裁兼總經(jīng)理Shinji Terasawa表示：“是德科技在測(cè)試先進(jìn)半導(dǎo)體方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，我們很高興推出這款全新的功率半導(dǎo)體晶圓測(cè)試系統(tǒng)。我們的使命是通過提供前沿的解決方案，不斷滿足半導(dǎo)體行業(yè)快速變化的需求，并引領(lǐng)市場(chǎng)的發(fā)展。這一創(chuàng)新成果體現(xiàn)了我們對(duì)行業(yè)的堅(jiān)定承諾。”