據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近日,KLA-Tencor(科天)在上海新國(guó)際博覽中心舉辦的中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備、材料、制造和服務(wù)展覽期間舉行了2018年中國(guó)半導(dǎo)體新聞發(fā)布會(huì)。KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營(yíng)銷官Oreste Donzella先生發(fā)表了題為“加速中國(guó)的成功(Accelerating China’s Success)”的主題演講。KLA-Tencor已經(jīng)充分準(zhǔn)備好以工藝控制及良率管理設(shè)備供應(yīng)商身份支持中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。
KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營(yíng)銷官Oreste Donzella
首先,Oreste Donzella介紹當(dāng)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有兩個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn):第一,新的應(yīng)用驅(qū)動(dòng)發(fā)展,例如物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能和自動(dòng)駕駛等;第二,中國(guó)半導(dǎo)體的快速崛起,對(duì)全球半導(dǎo)體的貢獻(xiàn)和影響與日俱增。
“我們很欣喜地看到中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,KLA-Tencor在工藝控制及良率管理方面,全方面幫助和加速中國(guó)的成長(zhǎng)?!監(jiān)reste Donzella表示,“中國(guó)將會(huì)是第一個(gè)5G商用化的國(guó)家,并且也在大力發(fā)展人工智能,因此充滿了半導(dǎo)體機(jī)遇。”
隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展,半導(dǎo)體芯片的工藝步驟越來越多,也更加復(fù)雜化。如采用多重圖形技術(shù)的工藝則為達(dá)到1000多道,而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”,這就對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求。制造過程中任何細(xì)小的錯(cuò)誤都將導(dǎo)致重新流片,而其代價(jià)將會(huì)很大,因此在制造過程中,檢測(cè)和量測(cè)變得越來越重要,越早發(fā)現(xiàn)問題所在,可挽回的損失越大。Oreste Donzella指出:“晶圓廠的設(shè)備支出和過程控制需求達(dá)到歷史高位水平,未來有望實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步增長(zhǎng)!”
晶圓廠設(shè)備支出和過程控制需求處于歷史高位
Oreste Donzella繼續(xù)說道:“大家從下面一幅圖可以看出:為什么半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第二個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn)在中國(guó)?這是因?yàn)橹袊?guó)半導(dǎo)體制造線遍地開花:從東北到華南深圳,從華東上海到中西部重慶、成都和武漢。實(shí)際上,不僅僅是半導(dǎo)體制造線,還包括半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)、封裝和測(cè)試、設(shè)備和材料,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全面布局與發(fā)展!”
中國(guó)半導(dǎo)體制造線迅速擴(kuò)張
隨著近幾年中國(guó)政府對(duì)發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力投資,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)蓬勃發(fā)展的局面。Oreste Donzella表示:“中國(guó)有很多對(duì)于我們很重要的客戶,KLA-Tencor與他們保持密切的合作關(guān)系,為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。因此在2017年取得了很好的業(yè)績(jī)——中國(guó)訂單顯著增長(zhǎng)(幾乎是2016年的3倍)。今后,KLA-Tencor會(huì)持續(xù)投入中國(guó)市場(chǎng),加速中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展?!?/p>
中國(guó)訂單正在顯著增長(zhǎng)
KLA-Tencor產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體工藝的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn),包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等,也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲(chǔ)存。在其它領(lǐng)域,如高亮度LED、MEMS、功率器件等,KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺(tái)。
對(duì)于先進(jìn)工藝,如7nm和5nm等設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn),芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對(duì)誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點(diǎn)的明確起因?qū)⒆兊迷絹碓嚼щy。KLA-Tencor推出了5款圖案成型控制系統(tǒng),主要針對(duì)7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì),以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。
KLA-Tencor產(chǎn)能和能力
Oreste Donzella最后指出,“KLA-Tencor持續(xù)的研發(fā)投入確保了公司從硅片檢測(cè)到線寬量測(cè),以及光罩領(lǐng)域,都在業(yè)界處于領(lǐng)先地位。除了半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備業(yè)務(wù)以外,KLA-Tencor還為客戶提供技術(shù)支持與服務(wù),幫助客戶實(shí)現(xiàn)更大的生產(chǎn)價(jià)值。對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)來說,200毫米晶圓制造線比300毫米晶圓制造線更為渴求。為此,KLA-Tencor在200毫米檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備方面繼續(xù)投入研發(fā)力量,以滿足中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的火熱需求。”
“加速中國(guó)的成功”演講總結(jié)
關(guān)于KLA-Tencor
KLA-Tencor是全球工藝控管與良率管理解決方案的業(yè)界領(lǐng)跑者,與世界各地的客戶合作開發(fā)尖端的檢測(cè)和量測(cè)技術(shù), 并且將這些技術(shù)致力于半導(dǎo)體,LED及其他相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品組合和世界一流的工程師及科學(xué)家團(tuán)隊(duì),近40年來公司持續(xù)為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor的總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯市,同時(shí)在全球各地設(shè)有運(yùn)營(yíng)和服務(wù)中心為客戶竭誠(chéng)服務(wù)。
KLA-Tencor研發(fā)投資及收益($M)
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
334文章
26658瀏覽量
212888 -
5G
+關(guān)注
關(guān)注
1352文章
48264瀏覽量
562543 -
物聯(lián)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
38瀏覽量
4361
原文標(biāo)題:KLA-Tencor加速中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成功
文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
評(píng)論