手持式粒子計數(shù)器在半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的監(jiān)測方案

隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展,芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級,相應(yīng)的產(chǎn)品對半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求也越來越高,因此半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的控制標(biāo)準(zhǔn)也提高了很多。在半導(dǎo)體代工廠中,潔凈室系統(tǒng)為整條生產(chǎn)線提供潔凈的環(huán)境,是硅芯片賴以生產(chǎn)加工最基本的條件。潔凈室,是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi)。因此潔凈室系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)對硅芯片品質(zhì)和良率的影響舉足輕重。

近年來我國半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展迅速，半導(dǎo)體芯片使用了太多以往不曾使用的各種特殊材料氣體，而且其使用量有強(qiáng)勁的上升趨勢。特殊材料氣體所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蝕性等，特別是其毒性一般非常強(qiáng)。其次這些特殊性材料氣體中有許多對人體有害的物質(zhì)，其中易燃易爆的特殊材料氣體例如硅烷泄漏后易引起火災(zāi)爆炸事故的發(fā)生，另外，這些氣體多在潔凈室內(nèi)具有密封性的環(huán)境中使用，一旦發(fā)生泄漏時危險性極大，其損失不可估量。

對于潔凈室內(nèi)某區(qū)域溫濕度異常波動,需要巧妙運(yùn)用在線檢測的數(shù)據(jù),去系統(tǒng)分析任何一次超出控制的異常情況,找到引起溫濕度異常波動的真實(shí)原因,從而找到有效的對策以避免問題的再次發(fā)生。其次潔凈室耗能為一般空調(diào)系統(tǒng)之5~10倍，在國內(nèi)自產(chǎn)能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴(yán)重的情況下，如何提升無塵室空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能技術(shù)，以提升生產(chǎn)力與競爭力，是我們必須面對的課題。

生產(chǎn)環(huán)境中空氣、工藝用純氣和液體的潔凈度及其他空氣參數(shù)（溫／濕度，風(fēng)速，壓差）對半導(dǎo)體，制藥，電子等行業(yè)有著至關(guān)重要的作用。為此針對半導(dǎo)體廠房室內(nèi)環(huán)境監(jiān)測工釆網(wǎng)提供采用手持式粒子計數(shù)器 - Model P611對潔凈廠房的潔凈度進(jìn)行定期的人工巡檢存在一此缺點(diǎn)，為了克服人工檢測的缺點(diǎn)，我們可以采用環(huán)境實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)對潔凈廠房進(jìn)行監(jiān)測。

粒子計數(shù)器P611用于測量流速在0.1 CFM (2.83 LPM) 粒徑為0.3~ 10μm 的粒子。本手持式粒子計數(shù)器僅重1.26 lb (0.57 kg), 設(shè)計人性化且設(shè)置簡單?？稍谄?.5”LCD彩屏к同時顯示6個尺寸通道的數(shù)據(jù)，也可顯示溫度和相對濕度(可選)。P611 能存儲多達(dá) 10,000條的采樣記錄，可在本設(shè)備或通過USB數(shù)據(jù)線在電腦上查看數(shù)據(jù)記錄。 P611符合 ISO 21501-4 ，質(zhì)保2年。P611品質(zhì)優(yōu)良，性能可靠，是專業(yè)人員驗(yàn)證ISO潔凈室(級別5~9)和調(diào)查室內(nèi)空氣質(zhì)量問題的最佳產(chǎn)品解決方案。常用的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)采用粒子計數(shù)器集中監(jiān)測系統(tǒng)、多管式順序采樣監(jiān)測系統(tǒng)和多環(huán)境參數(shù)混合集中監(jiān)測系統(tǒng)三種形式。根據(jù)不同的潔凈廠房要求，在不同的潔凈區(qū)域應(yīng)設(shè)計相應(yīng)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，既滿足監(jiān)測要求又降低采樣的成本。