中國電科展示用于芯片制造的母機，擺脫國外設(shè)備制約

自主可控的“中國芯”是近來備受關(guān)注的話題，它直接關(guān)系到從日常電子產(chǎn)品到國防安全和科技前沿的方方面面。然而要制造出這樣的“中國芯”，到底需要什么呢？中國電子科技集團(tuán)有限公司（中國電科）近日在北京舉辦的集成電路核心裝備展上公布了離子注入機、化學(xué)機械拋光設(shè)備等一系列用于芯片制造的母機。只有將這些擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的芯片制造設(shè)備掌握在自己手里，才能擺脫國外的各種制約。

集成電路芯片及其制造技術(shù)是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設(shè)的戰(zhàn)略性資源。電科裝備離子注入機研發(fā)團(tuán)隊技術(shù)總監(jiān)張叢告訴記者，當(dāng)前自主可控“中國芯”的重要性已受到越來越多的重視，但很多人還沒意識到“中國芯”的制造設(shè)備也需要自主可控。事實上，此前芯片的制造設(shè)備基本被控制在極少數(shù)國外企業(yè)手中，就連英特爾等芯片巨頭的生產(chǎn)線也得仰仗這些上游供應(yīng)商。對于中國芯片制造行業(yè)而言，這些國外企業(yè)不但掌握著對華出口相關(guān)設(shè)備的定價權(quán)，而且還能控制向中國出口設(shè)備的技術(shù)水準(zhǔn)?！叭绻f國外技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到第三代，但只愿意向中國提供第一代的設(shè)備，那我們就沒法用哪怕是第二代的設(shè)備來生產(chǎn)芯片。”此外，由于國外企業(yè)對芯片生產(chǎn)設(shè)備的嚴(yán)格控制，這些先進(jìn)設(shè)備也無法用于航天、軍用等領(lǐng)域的芯片制造上。

這些因素促使我國加快集成電路關(guān)鍵裝備的自主研制和生產(chǎn)能力。張叢介紹說，近年我國掌握第二代芯片制造設(shè)備的技術(shù)后，國外不但大幅降低第一代芯片制造設(shè)備的引進(jìn)價格，而且還批準(zhǔn)了第二代設(shè)備的對華出口。目前電科自主研發(fā)的多臺12英寸離子注入機進(jìn)入北京中芯國際生產(chǎn)線量產(chǎn)，量產(chǎn)工藝覆蓋至28納米。由于半導(dǎo)體行業(yè)是典型的技術(shù)密集型和資金密集型，自主掌握芯片制造設(shè)備的技術(shù)后，無論是繼續(xù)引進(jìn)國外設(shè)備，還是選擇國產(chǎn)設(shè)備，可以說整個行業(yè)都受益匪淺。

張叢也坦承，中國目前在該領(lǐng)域與國際先進(jìn)水平存在相當(dāng)差距，部分重要設(shè)備還需要技術(shù)攻關(guān)。但他認(rèn)為，對于中國而言，掌握自主可控的芯片和芯片制造設(shè)備必不可少，這需要社會給予更多支持。