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ADI高校講座系列:微機電系統(tǒng)(2)

EE techvideo ? 來源:EE techvideo ? 2019-08-21 06:05 ? 次閱讀

微機電系統(tǒng)是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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