蝕刻的工藝流程及注意事項

蝕刻（etching）是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻（wet etching）和干蝕刻（dry etching）兩類。它可通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護膜去除，在蝕刻時接觸化學(xué)溶液，達到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。

最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量（Weight Reduction）儀器鑲板，銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工；經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。

工藝流程：

1、來料檢驗當接到客戶需要加工的工件時，首先我們要經(jīng)過檢查，也就是我們目前IQC工序所要做的工作，把接到客戶的加工工件抹干凈，然后進行仔細檢驗，把來料中存在的不良品剔除出來，保證投入的產(chǎn)品是良品。

2、靜電除塵、噴感光油、檢查當來料加工的工件經(jīng)過IQC檢驗合格后，就交給下一道工序：噴感光油，但在噴感光油前一定要進行靜電除塵，因為產(chǎn)品在生產(chǎn)過程和我們抹試的過程中，不同程度上會存在靜電，而靜電是可以吸付灰塵的，所以必須經(jīng)過靜電除塵，把靜電去除后灰塵才不會吸付在產(chǎn)品上面，完成靜電除后就進行下一步工作：噴感光油，噴感受光油的作用主要是為下一道工序感光（爆光）做好準備，將產(chǎn)品前后都噴上感光油，完成噴油工作后，必須對產(chǎn)品進行仔細檢查，檢查的目的是產(chǎn)品在噴油過程中有沒有噴到油、有沒有存留油渣等不良現(xiàn)象出現(xiàn)，當產(chǎn)品檢查OK后就要流入下一個工序：感光（爆光）。

3、感光、顯影 感光（爆光）是將菲林放在已經(jīng)噴了感光油的產(chǎn)品上面，主要的目的是通過爆光讓菲林上的圖案在產(chǎn)品上形成，感光（爆光）過程中要特別注意夾具一定要放好，菲林不能歪斜，否則產(chǎn)品圖案就會出現(xiàn)歪斜現(xiàn)象，從而產(chǎn)生不良品，而菲林也要定期檢查，不能出現(xiàn)折疊現(xiàn)象，否則也會出現(xiàn)不良品。感光（爆光）完成后就要進行下一步工作：顯影；顯影的目的是通過顯影藥水將未爆光的地方?jīng)_走，經(jīng)過爆光的地方固化，形成蝕刻圖案，經(jīng)過顯影后質(zhì)檢員對產(chǎn)品進行檢查，把顯影不到的地方或圖案不良的產(chǎn)品挑選出來，良品則進入下一道工序：封油。

4、封油 所謂封油就是將產(chǎn)品在噴油過程中產(chǎn)品邊緣的位置、噴不到油的地方進行人工補油，補油過程中產(chǎn)品的金屬部位不可有外露現(xiàn)象，否則經(jīng)過蝕刻后將會產(chǎn)生不良品，補油完成后再對產(chǎn)品進行烘干，烘干完成后對產(chǎn)品進行檢查，檢查OK后才可以放入下一道工序：蝕刻。

5、蝕刻、清洗 蝕刻是整個生產(chǎn)流程的關(guān)鍵工序，主要是將產(chǎn)品通過化學(xué)溶液的化學(xué)作用將產(chǎn)品經(jīng)過爆光顯影后外露的不銹鋼部位進行腐蝕，從而形成我們想要的圖案，蝕刻工作完成后對產(chǎn)品進行清洗，將多余的油漆清洗掉，然后經(jīng)過慢拉機等的清洗設(shè)備完成產(chǎn)品的加工過程。

6、出貨檢驗 經(jīng)過蝕刻清洗工序完成后的產(chǎn)品即是我們想要的產(chǎn)品，但還要進行FQC最終檢驗，將生產(chǎn)過程中的不良品剔除出來后才可以交成品倉庫安排出貨。

問題注意：

減少側(cè)蝕和突沿，提高蝕刻系數(shù)

側(cè)蝕產(chǎn)生突沿。通常印制板在蝕刻液中的時間越長，（或者使用老式的左右搖擺蝕刻機）側(cè)蝕越嚴重。側(cè)蝕嚴重影響印制導(dǎo)線的精度，嚴重側(cè)蝕將使制作精細導(dǎo)線成為不可能。當側(cè)蝕和突沿降低時，蝕刻系數(shù)就升高，高的蝕刻系數(shù)表示有保持細導(dǎo)線的能力，使蝕刻后的導(dǎo)線接近原圖尺寸。電鍍蝕刻抗蝕劑無論是錫－鉛合金，錫，錫－鎳合金或鎳，突沿過度都會造成導(dǎo)線短路。因為突沿容易斷裂下來，在導(dǎo)線的兩點之間形成電的橋接。

提高板子與板子之間蝕刻速率的一致性

在連續(xù)的板子蝕刻中，蝕刻速率越一致，越能獲得均勻蝕刻的板子。要達到這一要求，必須保證蝕刻液在蝕刻的全過程始終保持在最佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補償，蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對各種溶液參數(shù)能自動控制的工藝和設(shè)備。通過控制溶銅量，PH值，溶液的濃度，溫度，溶液流量的均勻性（噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動）等來實現(xiàn)。

提高整個板子表面蝕刻速率的均勻性

板子上下兩面以及板面上各個部位的蝕刻均勻性是由板子表面受到蝕刻劑流量的均勻性決定的。

蝕刻過程中，上下板面的蝕刻速率往往不一致。一般來說，下板面的蝕刻速率高于上板面。因為上板面有溶液的堆積，減弱了蝕刻反應(yīng)的進行?？梢酝ㄟ^調(diào)整上下噴嘴的噴啉壓力來解決上下板面蝕刻不均的現(xiàn)象。蝕刻印制板的一個普遍問題是在相同時間里使全部板面都蝕刻干凈是很難做到的，板子邊緣比板子中心部位蝕刻的快。采用噴淋系統(tǒng)并使噴嘴擺動是一個有效的措施。更進一步的改善可以通過使板中心和板邊緣處的噴淋壓力不同，板前沿和板后端間歇蝕刻的辦法，達到整個板面的蝕刻均勻性。

提高安全處理和蝕刻薄銅箔及薄層壓板的能力

在蝕刻多層板內(nèi)層這樣的薄層壓板時，板子容易卷繞在滾輪和傳送輪上而造成廢品。所以，蝕刻內(nèi)層板的設(shè)備必須保證能平穩(wěn)的，可靠地處理薄的層壓板。許多設(shè)備制造商在蝕刻機上附加齒輪或滾輪來防止這類現(xiàn)象的發(fā)生。更好的方法是采用附加的左右搖擺的聚四氟乙烯涂包線作為薄層壓板傳送的支撐物。對于薄銅箔（例如1/2或1/4盎司）的蝕刻，必須保證不被擦傷或劃傷。薄銅箔經(jīng)不住像蝕刻1盎司銅箔時的機械上的弊端，有時較劇烈的振顫都有可能劃傷銅箔。

減少污染的問題

銅對水的污染是印制電路生產(chǎn)中普遍存在的問題，氨堿蝕刻液的使用更加重了這個問題。因為銅與氨絡(luò)合，不容易用離子交換法或堿沉淀法除去。所以，采用第二次噴淋操作的方法，用無銅的添加液來漂洗板子，大大地減少銅的排出量。然后，再用空氣刀在水漂洗之前將板面上多余的溶液除去，從而減輕了水對銅和蝕刻的鹽類的漂洗負擔。

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