新思科技助力,三星5nm、4nm、3nm工藝再加速

近日，全球知名的EDA工具廠商新思科技(Synopsys)宣布，面向三星7LPP（7nm Low Power Plus）和更先進(jìn)工藝的良率學(xué)習(xí)平臺設(shè)計取得了重大突破，這將為三星后續(xù)5nm、4nm、3nm工藝的量產(chǎn)和良品率的提升奠定堅實(shí)基礎(chǔ)。

周所周知，隨著半導(dǎo)體制程工藝的不斷推進(jìn)，晶體管的大小也越來越逼近物理極限，芯片的設(shè)計和生產(chǎn)也變得更加的復(fù)雜，良率的提升也越來越困難。因此要想提高芯片的良率，就需要對各個環(huán)節(jié)進(jìn)行細(xì)致的分析。

為此新思科技打造了量產(chǎn)探索平臺(Yield Explorer)，這是一種復(fù)雜的芯片量產(chǎn)良品率學(xué)習(xí)平臺，可用來分析芯片設(shè)計、晶圓廠生產(chǎn)、產(chǎn)品測試三大方面的數(shù)據(jù)，以便幫助工程師找到缺點(diǎn)、改進(jìn)良品率、提高產(chǎn)能。

根據(jù)此前三星公布的路線圖顯示，三星工藝近期有14nm、10nm、7nm、3nm三個重要節(jié)點(diǎn)，其中14nm會演化出11nm，10nm會演化出8nm，7nm則會演化出6nm、5nm、4nm。

而每種工藝往往又會根據(jù)性能、功耗的不同而分為多個版本，比如14nm分成了14LPE、14LPP、14LPC、14LPU，3nm則分成3GAE、3GAP，預(yù)計會采用全新的材料。

不久前，在三星在韓國舉行的晶圓代工制造論壇上，負(fù)責(zé)晶圓代工業(yè)務(wù)的三星副總裁Jung Eun-seung對外公布了三星在半導(dǎo)體制造工藝上的進(jìn)展。他透露，三星7nm EUV工藝將于2020年1月份量產(chǎn)。此外他還透露三星目前已經(jīng)完成了5nm FinFET工藝的技術(shù)研發(fā)，有望在2020年上半年進(jìn)入量產(chǎn)。4nm則將在今年下半年完成開發(fā)，新思的新平臺將在其中發(fā)揮巨大作用。

再之后的重大節(jié)點(diǎn)就是3nm了，三星此前宣布3nm節(jié)點(diǎn)將使用GAA環(huán)繞柵極晶體管技術(shù)，三星通過使用納米片設(shè)備制造出了MBCFET（Multi-Bridge-Channel FET，多橋-通道場效應(yīng)管），該技術(shù)可以顯著增強(qiáng)晶體管性能，主要取代FinFET晶體管技術(shù)。