目前,中國天地衛(wèi)星股份有限公司引進(jìn)英國Senstronics公司研制生產(chǎn)的濺射薄膜壓
力傳感器,為壓力傳感器領(lǐng)域增加新亮點(diǎn)。
英國Senstronics公司近年來推出的濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器,在國際上是領(lǐng)
先的,具有前沿性技術(shù)水準(zhǔn)。它延用了測量壓力的金屬彈型膜片原理,再注入新的離子束濺
射等先進(jìn)工藝手段和微機(jī)械加工方法,制成敏感壓力的橋路電阻,使它具有如下特點(diǎn):
1、不銹鋼類型的彈性膜片材料(17-4PH)耐腐蝕;無隔離膜片,不用灌油充液,體積小,
質(zhì)量輕;
2、沒有PN結(jié)帶來的高、低溫誤差大和工作溫區(qū)小的問題;
3、不受原始貼片方法帶來的蠕變、老化缺陷的影響,測量壓力穩(wěn)定性好。
歸納起來,這種濺射薄膜壓力敏感元件及其壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)為寬的工作溫度范圍(敏感元
件為-40~+200C,整機(jī)為-40~+150C),溫度漂移小0.001%C;測量壓力范圍寬
(0.7MPa~220MPa);體積小(敏感膜片直徑僅為Φ7mm),金屬一體化結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)可靠;測
量精度可達(dá)0.05%(包括非線性、遲滯和重復(fù)性);在-40~+150C工作條件下精度為±
0.25%;高穩(wěn)定性,(1000萬次壓力循環(huán),其漂移量< 0.1%);過裁壓力為1.4~2.2倍。
利用這種壓力敏感元件可制成適用工業(yè)各領(lǐng)域使用的壓力傳感器。特別是它的高可靠性,高
穩(wěn)定性,寬溫度范圍和小體積輕質(zhì)量的特點(diǎn),更適用于航天、航空、坦克、兵器、艦船等軍
事部門,它的批量生產(chǎn)能力,亦適用于大量使用的汽車工業(yè)。它的耐腐蝕性能力,可為石
油、化工行業(yè)測量壓力服務(wù)。
關(guān)于壓力敏感元件、壓力傳感器、壓力敏感電阻
- 傳感器(728527)
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