解決高頻MEMS測試驅(qū)動問題的方案是什么

高頻MEMS驅(qū)動測試在當今科學技術(shù)發(fā)展中應(yīng)用越來越多，在物理學、半導體、光學、電子工程、材料工程、機械工程及生物工程等多種學科和技術(shù)中都有涉及。近日，某科研單位需要實現(xiàn)正弦波驅(qū)動，信號帶寬2MHz，驅(qū)動電壓需要達到150Vpp，目前市面上的標準信號發(fā)生器輸出電壓低、電壓小于10Vpp帶負載能力弱，輸出電流是mA級別。無法解決高壓大功率驅(qū)動問題。

如何解決高頻MEMS測試驅(qū)動問題

高頻MEMS核心器件主要是一種壓電控制器件，主要是利用其壓電效應(yīng)和逆壓電效應(yīng)能夠?qū)崿F(xiàn)機械能與電能的轉(zhuǎn)換,可以通過將壓電控制器件在高頻電信號的激勵下產(chǎn)生高頻振動,激發(fā)出超聲波,可以通過壓電控制器件接收超聲波轉(zhuǎn)換成電信號,從而實現(xiàn)超聲信號轉(zhuǎn)換。

高頻MEMS驅(qū)動方式一般為激振蕩式驅(qū)動，利用方波（或脈沖）振蕩器來激勵發(fā)聲。高頻MEMS主要工作在1MHz以上的頻率上，電壓需要100Vp-p左右，要求大輸出功率，市場上常規(guī)的信號發(fā)生器輸出電壓低，帶負載能力弱，功率放大器和信號發(fā)生器都需要具有高性能和高品質(zhì)的輸出波形：一方面是良好的穩(wěn)定性能，輸出波形失真小，并且信號發(fā)生器還需要能產(chǎn)生多種波形信號；另一方面是良好的動態(tài)性能，調(diào)幅調(diào)頻方便，負載適應(yīng)性好，此外有些測試除了需要信號發(fā)生器提供輸出電壓外，還需要功率輸出。

針對此次測試：Aigtek推出測試方案：信號發(fā)生器+功率放大器，信號發(fā)生器推薦的是泰克的AFG3000系列信號發(fā)生器，功率放大器推薦的是ATA-4315，信號發(fā)生器輸出電壓幅度只有5Vp-p，接上功率放大器，輸出電壓達到了150Vpp，功率最大105W，頻率范圍是DC-3MHz，可放大任意波形，輸出阻抗可調(diào)整，可驅(qū)動各種阻性、容性、感性負載，完全滿足驅(qū)動測試需求，功放輸出信號直接加載到高頻MEMS器件上面，同時使用高分辨率示波器進行整個鏈路信號分析測試。

ATA-4315是一款理想的可放大交、直流信號的單通道高壓功率放大器。最大輸出150Vp-p(±75Vp)電壓，105Wp功率，可以驅(qū)動高壓功率型負載。電壓增益數(shù)控可調(diào)，一鍵保存常用設(shè)置，為您提供了方便簡潔的操作選擇，可與主流的信號發(fā)生器配套使用，實現(xiàn)信號的完美放大。

通道：單通道

電壓：最大輸出電壓150Vp-p（±75Vp）

電流：最大輸出電流?1Arms

帶寬：帶寬（-3dB）高達DC~3MHz

壓擺率：壓擺率?1000V/μs

更多應(yīng)用測試方向：信號發(fā)生器+功率放大器+示波器測試方案還可以應(yīng)用在壓電陶瓷驅(qū)動、傳感器測試、超聲波換能器驅(qū)動和無損檢測、電磁閥和繼電器驅(qū)動、MEMS控制驅(qū)動、無線充電測試等。

fqj