Agilent B1505A半導(dǎo)體測試儀(功率器件分析儀/曲線追蹤儀)
Agilent B1505A
主要特性與技術(shù)指標(biāo) 一般特性
?基于 PC 的儀器，具有 Windows ? XP Professional 操作系統(tǒng)
?具有旋鈕掃描功能的曲線追蹤模式
?針對 HPSMU、HVSMU、HCSMU 和 MFCMU 模塊的 10 個模塊插槽
?通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進(jìn)行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)
測量能力
?大功率 SMU 的測量范圍是 10 fA 至 1 A 與 2 μV 至 200 V
?強電流 SMU 的測量范圍是 10 pA 至 20 A 與 200 nV 至 40 V
?高電壓 SMU 可在 3000 V 時執(zhí)行次微微安泄漏測量
?多頻率（1 kHz 至 5 MHz）電容測量單元可在高達(dá) 3000 V 直流偏置時測量電容
源能力
?高電壓 SMU 可在 8 mA 時提供 1500 V 的電壓或在4 mA（脈沖或直流）時提供 3000 V 的電壓；脈沖寬度為 500 μs 至 2 s
?強電流 SMU 可在 20 V（脈沖）時提供 20 A 的電流，在 40 V（直流）時提供 1 A 的電流；脈沖寬度為 50 μs 至 1 ms
?高電壓 SMU 可在 8 mA 時提供 1500 V 的電壓或在4 mA（脈沖或直流）時提供 3000 V 的電壓；脈沖寬度為 500 μs 至 2 s
?強電流 SMU 可在 20 V（脈沖）時提供 20 A 的電流，在 40 V（直流）時提供 1 A 的電流；脈沖寬度為 50 μs 至 1 ms
B1505A 產(chǎn)品手冊（2009 年 6 月）： 測試功率器件的綜合測試解決方案
模塊選型指南
模塊 所需插槽數(shù) 主要規(guī)范
B1510A HPSMU 2 高達(dá) 200 V、1 A，10 fA 當(dāng)前分辨率
B1512A HCSMU 2 20 A/20 V（脈沖）；1 A至40 V（直流）
B1513A HVSMU 2 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脈沖和直流）
B1520A MFCMU 1 1 kHz 至 5 MHz，高達(dá) 3000 V 直流偏置，使用偏置 T 型接頭
